一种oled蒸镀用掩膜板框架的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及OLED制造领域，具体涉及一种OLED蒸镀用掩膜板框架。
【背景技术】
[0002]传统的液晶显示器(IXD)工作时用到背光源，外观尺寸较厚。有机电致发光二极管(Organic Light-Emitting D1des，简称0LED)不需要背光源，属于自发光器件，外观轻薄、功耗低、视角宽、屏幕响应快，是满足未来对显示器功能要求的技术。因此，有机发光二极管具有很高的市场潜力。
[0003]在制作有机小分子发光二极管过程中，目前大多采用的技术是真空蒸镀，在OLED器件蒸镀过程中，要用到掩膜板，掩膜板是指在镀膜工艺中，具有一定开口图案，用来实现特定区域镀膜图案的结构。掩膜板焊接在掩膜板框架上，在掩膜板传输和存放过程中，都是通过对掩膜板框架进行操作来实现。
[0004]掩膜板框架支撑OLED掩膜板，掩膜板框架在传输、对位使用过程中，掩膜板框架的底部与存放平台存在接触摩擦，容易产生微粒，影响掩膜板的洁净度，降低镀膜良品率。
【实用新型内容】
[0005]本实用新型提供一种OLED蒸镀用掩膜板框架，所述掩膜板框架的底部与存放平台的摩擦接触面积减少，产生的微粒减少，保证掩膜板的洁净度，提高镀膜良品率。
[0006]为解决上述问题，本实用新型采用的技术方案为:
[0007]一种OLED蒸镀用掩膜板框架，在所述掩膜板框架上焊接有OLED掩膜板，在所述掩膜板框架的底部设置有至少一个掏空部分，所述掏空部分设置为不穿透所述掩膜板框架。
[0008]进一步地，在所述掩膜板框架的底部四周对称设置有至少四个掏空部分。
[0009]本实用新型的有益效果在于:通过在掩膜板框架的底部设置掏空部分，减少其底部与存放平台的摩擦接触面积，减少微粒的产生，保证掩膜板的洁净度，提高镀膜良品率；同时减轻了掩膜板框架的重量，也减小了机械手的承重载荷，提高机械手运转效率，具有较好的生产实用价值。
【附图说明】
[0010]图1-1是本实用新型的OLED蒸镀用掩膜板框架的主视图；
[0011]图1-2是本实用新型的OLED蒸镀用掩膜板框架的侧视图。
【具体实施方式】
[0012]下面结合附图具体阐明本实用新型的实施方式，附图仅供参考和说明使用，不构成对本实用新型专利保护范围的限制。
[0013]如图1-1所示，本实施例提供一种OLED蒸镀用掩膜板框架1，在所述掩膜板框架I上焊接有OLED掩膜板(图中未示出)，在所述掩膜板框架I的底部设置有至少一个掏空部分11，如图1-2所示，所述掏空部分11设置为不穿透所述掩膜板框架I。
[0014]在本实施例中，在所述掩膜板框架I的底部四周对称设置有至少四个掏空部分Ilo如图1-1所示，在本实施例中，在所述掩膜板框架I的底部四周对称设置有十二个掏空部分11，所述掩膜板框架I的底部每条边上设置有三个掏空部分11。
[0015]在所述掩膜板框架I的底部设置掏空部分11后，掩膜板框架的面积及体积都将减小，原理如下:
[0016]S2 = SO-Sl ；
[0017]V2 = VO-Vl ；
[0018]式中，S0、V0为掩膜板框架原有面积及体积，S1、V1为掩膜板框架掏空部分减小的面积及体积，S2、V2为掩膜板框架掏空后的面积及体积。
[0019]在本实施例中，所述掩膜板框架I的底部设置的掏空部分11的形状不限于图1-1、1-2所示形状，圆形、方形等各种掏空方式均可，也不限于图1-2所示的掏空深度。
[0020]如上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种OLED蒸镀用掩膜板框架，在所述掩膜板框架上焊接有OLED掩膜板，其特征在于:在所述掩膜板框架的底部设置有至少一个掏空部分，所述掏空部分设置为不穿透所述掩膜板框架。2.根据权利要求1所述的一种OLED蒸镀用掩膜板框架，其特征在于: 在所述掩膜板框架的底部四周对称设置有至少四个掏空部分。
【专利摘要】本实用新型提供一种OLED蒸镀用掩膜板框架，在所述掩膜板框架上焊接有OLED掩膜板，在所述掩膜板框架的底部设置有至少一个掏空部分，所述掏空部分设置为不穿透所述掩膜板框架。在所述掩膜板框架的底部四周对称设置有至少四个掏空部分。本实用新型通过在掩膜板框架的底部设置掏空部分，减少其底部与存放平台的摩擦接触面积，减少微粒的产生，保证掩膜板的洁净度，提高镀膜良品率；同时减轻了掩膜板框架的重量，也减小了机械手的承重载荷，提高机械手运转效率，具有较好的生产实用价值。
【IPC分类】C23C14/04, H01L51/56, C23C14/24
【公开号】CN204676141
【申请号】CN201420832146
【发明人】王红英, 吴俊雄, 冉应刚, 马得贵, 柯贤军, 苏君海, 黄亚清, 李建华
【申请人】信利（惠州）智能显示有限公司
【公开日】2015年9月30日
【申请日】2014年12月22日