一种制备oled器件的掩膜板的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于半导体器件制备技术领域，具体涉及一种制备OLED器件的掩膜板。
【背景技术】
[0002]有机发光二极管(OLED，Organic Light-Emitting D1de)具有自发光的特性，并由于快速响应、广视角、色彩丰富、高亮度、低功耗、耐高温等众多优点而被业界公认为继液晶显示器(IXD，Liquid Crystal Display)之后的第三代显示技术。OLED是通过有机发光材料在电流的驱动下发光来实现显示，其原理是在阳极和阴极之间插入功能层，包括电荷电荷注入层、电荷传输层以及发光层，在电极之间施加适当的电压，器件就能发光。
[0003]OPEN MASK张网(开口的金属掩膜版)蒸镀对应于三基色的空穴注入层或空穴传输层，来调节空穴注入层或空穴传输层来调节微腔，是AMOLED、PM0LED蒸镀中的常用冶具。它包括矩形的金属边框、相互平行的cover(横筋)和相互平行的howling(竖筋)，横筋cover和竖筋howling相互垂直排列形成网格状。由于其制作工艺相对简单，故传统的OPEN MASK张网的金属边框、横筋cover和竖筋howling基本都是一体成型制作的，但是维护成本高，如果在蒸镀过程中有所破损就必须整体报废。
【实用新型内容】
[0004]实用新型目的:本实用新型的目的是为了解决以上现有技术的不足，提供一种制备OLED器件的掩膜板，采用分离式制作OPEN MASK张网，节约维护成本。
[0005]技术方案:本实用新型所述的制备OLED器件的掩膜板，其目的是这样实现的，
[0006]—种制备OLED器件的掩膜板，包括金属边框、若干条横筋和若干条竖筋，所述横筋的厚度与竖筋的厚度相等，所述横筋之间相互平行，所述竖筋之间相互平行，横筋和竖筋相互垂直排列形成网格状连接在金属边框上，其特征在于，所述金属边框的边缘、连接横筋的连接部和连接竖筋的连接部均进行蚀刻形成凹槽，横筋和竖筋设置在凹槽内；在横筋和竖筋连接部的横筋表面和竖筋表面上均进行蚀刻形成相互匹配的凹槽，横筋和竖筋通过匹配的凹槽扣合在一起无缝对接，并且横筋和竖筋的连接部的厚度和横筋或竖筋的厚度相等。
[0007]作为以上技术方案的优化，在横筋和竖筋连接部的横筋表面上蚀刻凹槽的厚度为横筋厚度的一半，在横筋和竖筋连接部的竖筋表面上蚀刻凹槽的厚度为竖筋厚度的一半。
[0008]作为以上技术方案的替代方案，在横筋和竖筋连接部的横筋表面和竖筋表面上的凹槽均为阶梯状。
[0009]有益效果:本实用新型所述的制备OLED器件的掩膜板，通过对金属边框、横筋和竖筋单独生产加工，以拼接的方式组装，降低了OPEN MASK张网制作及加工的要求，使得OPENMASK张网制作的良率提高，张网的难度降低；而且，由于OPEN MASK张网在使用过程中不会造成大面积的损坏，因此，维护时，仅需要跟换受损的横筋和竖筋即可，降低了维护成本。
【附图说明】
[00?0]图1是本实用新型的正面结构不意图；
[0011 ]图2是本实用新型的背面结构示意图；
[0012]图3是本发明中横筋和竖筋的一种连接状态示意图；
[0013]图4是本发明中横筋和竖筋的另一种连接状态示意图；
[0014]图5是本发明中横筋和竖筋的又一种连接状态示意图。
【具体实施方式】
[0015]为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
[0016]参见图1-2所不，一种制备OLED器件的掩膜板，包括金属边框1、若干条横筋2和若干条竖筋3，所述横筋2的厚度与竖筋3的厚度相等，各条横筋2之间相互平行，各条竖筋3之间相互平行，横筋2和竖筋3相互垂直排列形成网格状连接在金属边框上，所述金属边框I的边缘、连接横筋2的连接部A和连接竖筋3的连接部B均进行蚀刻形成凹槽，横筋2和竖筋3设置在凹槽内；在横筋2和竖筋3连接部C的横筋2表面和竖筋3表面上均进行蚀刻形成相互匹配的凹槽，横筋2和竖筋3通过匹配的凹槽扣合在一起无缝对接，并且横筋2和竖筋3的连接部C的厚度和横筋2或竖筋3的厚度相等。
[0017]图3-5所示为横筋2和竖筋3的几种连接状态示意图，其中，图3为一般连接状态示意，即分别在横筋和竖筋连接部的横筋表面和竖筋表面上分别进行蚀刻，但对于蚀刻的深度和形状没有具体要求，仅需满足横筋2和竖筋3的连接部C的厚度和横筋2或竖筋3的厚度相等即可。图4表示在横筋和竖筋连接部C的横筋2表面和竖筋3表面上分别进行半蚀刻，以满足加工的方便，在蚀刻横筋2和竖筋3时，参数一致。图5表示在横筋2和竖筋3连接部C的横筋2表面和竖筋3表面上分别进行两次蚀刻，使横筋2和竖筋3表面蚀刻的凹槽成相互匹配的阶梯状，以达到横筋2和竖筋3连接更加稳固的目的。
[0018]制备方法如下:
[0019]①分别制备金属边框1、横筋2和竖筋3，参见图1-2所示，并且横筋的厚度和竖筋的厚度相等；
[0020]②根据装配工位，在金属边框和横筋的连接部A、金属边框和竖筋的连接部B的金属边框边缘进行蚀刻，使横筋2连接到金属边框I的连接部A时，金属边框I和横筋2的表面齐平，并且使竖筋3连接到金属边框I的连接部B时，金属边框I和竖筋3的表面齐平;在横筋2和竖筋3连接部C的横筋2表面和竖筋3表面上分别进行蚀刻，使横筋2和竖筋3无缝对接，并且横筋2和竖筋3的连接部C的厚度和横筋2或竖筋3的厚度相等；
[0021]③将金属边框1、横筋2和竖筋3进行装配，形成OPENMASK张网。
[0022]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种制备OLED器件的掩膜板，包括金属边框(I)、若干条横筋(2)和若干条竖筋(3)，所述横筋(2)的厚度与竖筋(3)的厚度相等，所述横筋(2)之间相互平行，所述竖筋(3)之间相互平行，横筋(2)和竖筋(3)相互垂直排列形成网格状连接在金属边框(I)上，其特征在于，所述金属边框(I)的边缘、连接横筋(2)的连接部和连接竖筋(3)的连接部均进行蚀刻形成凹槽，横筋(2)和竖筋(3)设置在凹槽内；在横筋(2)和竖筋(3)连接部的横筋(2)表面和竖筋(3)表面上均进行蚀刻形成相互匹配的凹槽，横筋(2)和竖筋(3)通过匹配的凹槽扣合在一起无缝对接，并且横筋(2)和竖筋(3)的连接部的厚度和横筋(2)或竖筋(3)的厚度相等。2.根据权利要求1所述的制备OLED器件的掩膜板，其特征在于，在横筋(2)和竖筋(3)连接部的横筋(2)表面上蚀刻凹槽的厚度为横筋(2)厚度的一半，在横筋(2)和竖筋(3)连接部的竖筋(3)表面上蚀刻凹槽的厚度为竖筋(3)厚度的一半。3.根据权利要求1所述的制备OLED器件的掩膜板，其特征在于，在横筋(2)和竖筋(3)连接部的横筋(2)表面和竖筋(3)表面上的凹槽均为阶梯状。
【专利摘要】本实用新型属于半导体器件制备技术领域，公开了一种制备OLED器件的掩膜板，包括金属边框、若干条横筋和若干条竖筋，分别在金属边框上、横筋的表面、竖筋的表面根据装配工位进行一定程度的蚀刻形成凹槽用于连接。本实用新型所述的制备OLED器件的掩膜板，通过对金属边框、横筋和竖筋单独生产加工，以拼接的方式组装，降低了OPEN？MASK张网制作及加工的要求，使得OPEN？MASK张网制作的良率提高，张网的难度降低；而且维护时，仅需要跟换受损的横筋和竖筋即可，降低了维护成本。
【IPC分类】C23C14/04, H01L51/56, C23C14/24
【公开号】CN205223335
【申请号】CN201520794814
【发明人】钱超, 杨波, 张洪
【申请人】南京高光半导体材料有限公司
【公开日】2016年5月11日
【申请日】2015年10月14日