一种陶瓷微针晶片及其制备方法与流程

文档序号:11984099阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种具有微针阵列的陶瓷微针晶片,其特征在于,所述陶瓷微针晶片主要含有按重量百分比计的以下组分:

2.根据权利要求1所述的陶瓷微针晶片,其特征在于,所述晶片还含有其他氧化物质,所述其他氧化物质包括Sb205、ZnO和CaO中的一种或几种,优选地,所述其他氧化物质的重量百分比大于0.1%。

3.根据权利要求1所述的陶瓷微针晶片,其特征在于,所述晶片具有表面和底面,所述表面上具有阵列分布的针状突起,所述针状突起的高度为30-500μm,优选地,所述针状突起的高度为50-250μm。

4.根据权利要求1所述的陶瓷微针晶片,其特征在于,所述针状突起为圆锥形,其与所述晶片表面的结合部横截面为圆形,所述圆形的直径50-500μm,优选地,所述直径为90-300μm。

5.根据权利要求1所述的陶瓷微针晶片,其特征在于,所述针状突起为三棱锥形,其与晶片底面的结合部横截面为等边三角形,所述等边三角形的边长100-500μm,优选地,所述等边三角形的边长为150-300μm。

6.根据权利要求1所述的陶瓷微针晶片,其特征在于,所述针状突起的顶部直径为0.5-5μm,顶部的间距大于200μm,优选地,顶部的间距为200-500μm。

7.根据权利要求1所述的陶瓷微针晶片,其特征在于,所述表面和底面的间距大于100μm。

8.权利要求1-6中任意一项所述的陶瓷微针晶片的制备方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:

1)提供母板,对母板进行加工,得到阵列分布的倒置针状凹陷;

2)混合晶片原料,后将原料混合物涂敷在木板表面上;

3)将原料混合物烧结成型,得到晶片;

4)将母板和晶片分离,将晶片切成所需尺寸。

9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述母板为耐高温材质的母板,优选地,所述母板的材料是不锈钢或硅片。

10.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述步骤3)中,烧结温度为900-1200℃。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1