一种蓝宝石晶体的生长设备的制作方法

文档序号:12057137阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种蓝宝石晶体的生长设备,其特征在于,包括:

炉体,用于提供蓝宝石晶体的生长环境,

炉盖,盖合于所述炉体上,

坩埚,设于所述炉体内,用于盛放熔体并作为反应容器,

设于所述炉体内,并位于所述坩埚的上方,包括互为对称结构的第一调节板和第二调节板,以及第一推拉杆和第二推拉杆,所述第一调节板和第二调节板相对设置并彼此铰接,所述第一推拉杆的第一端与所述第一调节板铰接,所述第二推拉杆的第一端与所述第二调节板的第一端连接,所述第一推拉杆和第二推拉杆各自的第二端相铰接,所述第一推拉杆和第二推拉杆的铰接轴与穿过所述炉盖并深入所述炉体内的驱动轴相连接,在驱动轴的驱动下,调节所述第一调节板和第二调节板的偏转角度,从而实现对坩埚内固液熔融界面的温度梯度调节。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体的生长设备,其特征在于,所述第一调节板和第二调节板朝向所述坩埚的表面为回转面,所述回转面的母线与回转轴之间的夹角为30°-60°。

3.根据权利要求2所述的蓝宝石晶体的生长设备,其特征在于,所述回转面的回转角度为160°-180°。

4.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体的生长设备,其特征在于,还包括多个加热盘管,多个所述加热盘管分别环绕所述坩埚并自上而下依次排布。

5.根据权利要求4所述的蓝宝石晶体的生长设备,其特征在于,还包括第一电极和第二电极,多个所述散热盘管各自的两端分别与所述第一电极和第二电极连接。

6.根据权利要求5所述的蓝宝石晶体的生长设备,其特征在于,多个所述散热盘管与所述第一电极的连接导线之间分别设有控制开关,并经对应的控制开关控制电流的通断。

7.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体的生长设备,其特征在于,还包括加热盘,所述加热盘设于所述炉体内,用于支撑所述坩埚并对其加热。

8.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体的生长设备,其特征在于,所述第一调节板和第二调节板之间的铰接轴固定于所述炉体上。

9.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体的生长设备,其特征在于,所述第一调节板和第二调节板由钨钼合金制成。

10.根据权利要求1所述的蓝宝石晶体的生长设备,其特征在于,所述炉体的内壁上自内向外依次设有第一辐射层和第一保温层,

所述炉体的底壁上还依次设有第二辐射层和第二保温层,其中,所述第二辐射层朝向所述炉体的内部。

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