一种用于氮化铝晶体生长炉的热场的制作方法

技术特征：

1.一种用于氮化铝晶体生长炉的热场，其特征在于：所述生长炉包括炉体、穿设于所述炉体下部的支撑杆、设于所述炉体中的支撑环，所述热场设于所述炉体中，所述热场包括：

设于所述支撑杆上方的坩埚；

隔热机构，所述隔热机构包括设于所述坩埚上方的第一隔热屏、设于所述坩埚和所述支撑杆之间的第二隔热屏、设于所述支撑环上的第三隔热屏和第四隔热屏，所述第三隔热屏环设于所述坩埚外侧、所述第四隔热屏环设于所述第三隔热屏和所述炉体内壁之间；

设于所述炉体中沿竖直方向依次分布的用于对所述坩埚加热的多段式加热机构。

2.根据权利要求1所述的一种用于氮化铝晶体生长炉的热场，其特征在于：所述多段式加热机构为感应加热机构，所述感应加热机构包括设于所述支撑环上的环设于所述坩埚和所述第三隔热屏之间的发热体、上下分布的上段感应加热线圈和下段感应加热线圈，所述上段感应加热线圈和所述下段感应加热线圈均环设于所述第四隔热屏和所述炉体内壁之间。

3.根据权利要求2所述的一种用于氮化铝晶体生长炉的热场，其特征在于：所述坩埚包括呈圆柱形且开口朝上的本体、盖设于所述本体上方的盖体，所述盖体的高度与所述发热体的高度相同。

4.根据权利要求3所述的一种用于氮化铝晶体生长炉的热场，其特征在于：所述盖体为锥形体，所述本体的内径为60mm，所述本体的高度为110mm，所述盖体的锥形角为60°，所述坩埚的厚度为2mm。

5.根据权利要求2所述的一种用于氮化铝晶体生长炉的热场，其特征在于：所述支撑杆上下活动的设于所述炉体中，所述支撑杆顶部设有用于托起所述坩埚和所述发热体的支撑盘。

6.根据权利要求2所述的一种用于氮化铝晶体生长炉的热场，其特征在于：所述发热体、所述坩埚和所述支撑杆均采用金属钨制成。

7.根据权利要求1所述的一种用于氮化铝晶体生长炉的热场，其特征在于：所述多段式加热机构为电阻加热机构，所述电阻加热机构包括两段或两段以上上下分布的加热电阻，所述加热电阻设于所述坩埚外侧。

8.根据权利要求1所述的一种用于氮化铝晶体生长炉的热场，其特征在于：所述第一隔热屏、所述第二隔热屏、所述第三隔热屏均为钨热屏。

9.根据权利要求8所述的一种用于氮化铝晶体生长炉的热场，其特征在于：所述钨热屏的厚度为0.3mm，所述第二隔热屏有六层，其两两之间的距离为5-7mm；所述第三隔热屏有四层，其两两之间的距离为5-7mm。

10.根据权利要求1所述的一种用于氮化铝晶体生长炉的热场，其特征在于：所述第四隔热屏为氮化硼热屏，所述氮化硼热屏的厚度为1.3mm，所述第四隔热屏有四层，其两两之间的距离为5mm。