技术总结
本实用新型公开了一种用于氮化铝晶体生长炉的热场，生长炉包括炉体、穿设于炉体下部的支撑杆，热场包括设于支撑杆上方的坩埚、隔热机构、设于炉体中沿竖直方向依次分布的用于对坩埚加热的多段式加热机构，隔热机构包括设于坩埚上方的第一隔热屏、设于坩埚和支撑杆之间的第二隔热屏、环设于坩埚外侧的第三隔热屏、环设于第三隔热屏和炉体内壁之间的第四隔热屏。本实用新型一种用于氮化铝晶体生长炉的热场，采用钨和氮化硼材料，有效的避免石墨热场中氧杂质和碳杂质对晶体生长的杂质影响；通过设置多段式加热机构，可以灵活调控坩埚顶端和底端的温度；通过设置活动的支撑杆，不仅方便调控晶体生长的温度梯度，而且可以方便取出坩埚，进而清理炉腔。
技术研发人员：吴亮;曹凯;王智昊;汪佳
受保护的技术使用者：苏州奥趋光电技术有限公司
文档号码：201621054999
技术研发日：2016.09.14
技术公布日：2017.03.01