一种颗粒状多晶硅流化床加热器的制作方法

文档序号:11348829阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种颗粒状多晶硅流化床加热器,包括导热骨架主体和多个加热器(2),其特征在于:所述的导热骨架主体由多段相互独立的导热骨架(1)组成,导热骨架(1)之间相互间隔包覆于流化床(4)的床体,每个所述加热器(2)设置对应的热电偶(3),每段所述的导热骨架(1)外围分布加热器(2)和热电偶(3),加热器(2)与热电偶(3)通过保温层(5)隔离。

2.根据权利要求1所述的一种颗粒状多晶硅流化床加热器,其特征在于:所述的导热骨架(1)之间的间隔距离相等。

3.根据权利要求2所述的一种颗粒状多晶硅流化床加热器,其特征在于:所述的加热器(2)为电阻加热器。

4.根据权利要求1所述的一种颗粒状多晶硅流化床加热器,其特征在于:所述的加热器(2)和所述的热电偶(3)之间相互间隔依次排列。

5.根据权利要求4所述的一种颗粒状多晶硅流化床加热器,其特征在于:所述分设于每段导热骨架(1)上的热电偶(3)数量和加热器(2)数量都为12个。

6.根据权利要求1所述的一种颗粒状多晶硅流化床加热器,其特征在于:流化床(4)上的硅粉成品料输送是通过连接在流化床(4)上的硅粉进料管线上的硅粉输送喷射器喷射输送。

7.根据权利要求6所述的一种颗粒状多晶硅流化床加热器,其特征在于:所述硅粉输送喷射器与所述硅粉进料管线上设有一可调节流量的电动旋转阀。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1