一种颗粒状多晶硅流化床加热器的制作方法

文档序号:11348829阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种颗粒状多晶硅流化床加热器,属于流化床技术领域。本实用新型包括导热骨架主体和多个加热器,导热骨架主体由多段相互独立的导热骨架组成,导热骨架之间相互间隔包覆于流化床的床体,每个加热器设置对应的热电偶,每段导热骨架外围分布加热器和热电偶,加热器与热电偶通过保温层隔离,所有热电偶分别连接对应的控制器并通过显示屏将数据集中统一管理。本实用新型将导热骨架主体分成多段,并且通过设置于每段导热骨架上的热电偶和加热器单独控制工作,通过热电偶测量温度并实现统一管理控制,方便管理,从而提高了多晶硅流化床的工作效率和质量,从而为可连续化生产的高纯度颗粒硅奠定了基础。

技术研发人员:王敏
受保护的技术使用者:新昌县儒岙镇衡翔机械厂
文档号码:201621205159
技术研发日:2016.11.08
技术公布日:2017.09.12

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