一种嵌入到检漏仪中的氦气纯化模块的制作方法

文档序号:12389682阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种嵌入到检漏仪中的氦气纯化模块,所述检漏仪包括检漏模块和氦气纯化模块,所述氦气纯化模块的出气端与检漏模块的进气端通过管道连接,所述氦气纯化模块的进气端与检漏模块的出气端通过管道连接,其特征在于,所述氦气纯化模块包括进气端与检漏模块的出气端连接的第一缓冲罐、进气端与第一缓冲罐的出气端通过第一管道连通的第一纯化装置,所述第一纯化装置的出纯气端根据其排出的氦气纯度选择性地与检漏模块的进气端或者第一缓冲罐的进气端连通。

2.根据权利要求1所述的一种嵌入到检漏仪中的氦气纯化模块,其特征在于,所述第一纯化装置包括至少一个膜分离器。

3.根据权利要求1所述的一种嵌入到检漏仪中的氦气纯化模块,其特征在于,所述第一管道设置有压缩泵,所述压缩泵根据第一缓冲罐内的压力选择性的开启。

4.根据权利要求3所述的一种嵌入到检漏仪中的氦气纯化模块,其特征在于,在所述第一管道上且在气体流向方向上位于压缩泵的后端设置有流量计。

5.根据权利要求3所述的一种嵌入到检漏仪中的氦气纯化模块,其特征在于,在所述第一管道上且在气体流向方向上位于压缩泵的后端设置有净化模块。

6.根据权利要求1-5任一项所述的一种嵌入到检漏仪中的氦气纯化模块,其特征在于,所述第一纯化装置的出纯气端通过第二管道选择性地与漏模块的进气端或者第一缓冲罐的进气端连通,在第二管道上连接有气体纯度检测仪。

7.根据权利要求6所述的一种嵌入到检漏仪中的氦气纯化模块,其特征在于,还包括进气端与第一纯化装置的尾气端相连的第二纯化装置,所述第二纯化装置的出纯气端与第一缓冲罐的进气端连接。

8.根据权利要求7所述的一种嵌入到检漏仪中的氦气纯化模块,其特征在于,所述第二纯化装置包括至少一个膜分离器。

9.根据权利要求7或8所述的一种嵌入到检漏仪中的氦气纯化模块,其特征在于,所述第一纯化装置与第二纯化装置之间的管道上设置有第二缓冲罐。

10.一种检漏仪,其特征在于,包括权利要求1-9任一项所述的氦气纯化模块。

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