技术特征：
技术总结
本发明公开了一种石英陶瓷坩埚的制造方法，包括原料的选取，分别选用纯度为：99.9％普通纯度、99.995％高纯度和99.9999％超高纯度的熔融石英砂作为主要原料，每种纯度的熔融石英砂分别按照不同粒度进行配置；浆料制备，将配好的熔融石英砂均匀混合后加入超纯水和粘结剂，然后在球磨机或搅拌机中充分混合制成料浆；生坯成型，将浆料注入成型喷涂设备，通过调节喷涂压力和喷枪移动速度调节每次喷涂的厚度，通过机械臂在模具内壁上进行循环喷涂，直至达到设定的壁厚，喷涂结束后将坩埚生坯从模具中取出；生坯干燥后烧结，将坩埚生坯放入烧结窑炉中在1100～1200℃下保温2～8小时。该制造方法具有工艺简单、低成本、石英陶瓷坩埚内表面光滑等特点。
技术研发人员：邹亚静
受保护的技术使用者：邹亚静
技术研发日：2017.03.17
技术公布日：2017.08.11