通过使硅烷在流化床反应器中热分解而制备多晶硅的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明涉及通过使硅烷在流化床反应器中热分解而制备多晶硅的方法。该方法一般性地涉及使硅烷在反应条件下操作的流化床反应器中热分解，其产生相对于常规制备方法的高生产率。

技术研发人员：S·布萨拉普;P·古普塔;Y·黄
受保护的技术使用者：MEMC电子材料有限公司
技术研发日：2012.09.27
技术公布日：2017.10.17