技术特征：
技术总结
一种旋转提拉称重单元与炉腔分离的晶体提拉炉，包括炉腔和旋转提拉称重单元，旋转提拉称重单元固定于炉腔之外独立的固定装置上。所述固定装置底部设置有减震座。通过调整籽晶杆，使籽晶位于炉腔内坩埚的中心部位，这样在晶体生长之前进行调整以保证籽晶杆的同心度以及籽晶位于坩埚的中心。然后通过旋转并向上提拉籽晶而实现晶体生长。该晶体提拉炉中的旋转提拉称重单元与炉腔分离，不直接固定于炉腔上，而是固定于独立的固定装置上，这种结构非常关键，避免了传统晶体提拉炉由于炉腔热胀冷缩而导致的提拉称重单元不稳定，可以避免炉腔变形造成的籽晶和生长晶体偏离坩埚中心，使晶体生长过程稳定可靠，有利于获得高质量的晶体。
技术研发人员：董春明
受保护的技术使用者：济南金曼顿自动化技术有限公司
技术研发日：2017.08.21
技术公布日：2017.10.27