太阳能电池板生产用三氯氧磷扩散源供应系统的制作方法

文档序号:13164605阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种太阳能电池板生产用三氯氧磷扩散源供应系统,包括氮气源(1)和扩散源瓶(2),其特征在于,所述扩散源瓶(2)包括一个进气管(21)和一个出气管(22),进气管(21)底端距离扩散源瓶(2)的底端不大于5毫米;

所述氮气源(1)通过氮气管(101)与进气软管(501)连通,所述氮气管(101)上设有氮气阀(102),所述进气软管(501)与进气管(21)连通,所述进气管(21)上设有进气阀(211),所述出气管(22)与一个出气软管(502)连通,所述出气管(22)上设有出气阀(221),所述出气软管(502)与一个混合气管(701)连通,该混合气管(701)上设有混合气阀(702);

所述扩散源瓶(2)的底部为向下凸出的半球形或锥形,扩散源瓶(2)底部嵌入底座(24)内,底座(24)的底部为平面;

所述底座(24)的下部有一个重力感应器(3),该重力感应器(3)与一个重量显示报警装置(4)连接。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池板生产用三氯氧磷扩散源供应系统,其特征在于,所述氮气阀(102)、进气软管(501)、扩散源瓶(2)、出气软管(502)、混合气管(701)以及混合气阀(702)均有两个,形成两个独立气路(100);

每个独立气路(100)的混合气管(701)上在混合气阀(702)和出气软管(502)与混合气管(701)接口处之间有一支路气管(801),该支路气管(801)上有一支路气管阀(802),该支路气管(801)的另一端与另一个独立气路(100)连通,连通处在氮气阀(102)和进气软管(501)与氮气管(101)的接口处之间;

两个独立气路(100)的混合气管(701)均与总混合气管(11)连通。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池板生产用三氯氧磷扩散源供应系统,其特征在于,每个独立气路(100)还包括一个旁通管(601),该旁通管(601)与氮气管(101)和混合气管(701)连通,旁通管(601)与氮气管(101)的连通处位于,氮气阀(102)和进气软管(501)与氮气管(101)的连通处之间,旁通管(601)与混合气管(701)的连通处位于,混合气管(701)与支路气管(801)的连通处和混合气管(701)与出气软管(502)的连通处之间,该旁通管(601)上设有旁通阀(602)。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池板生产用三氯氧磷扩散源供应系统,其特征在于,所述扩散源瓶(2)外设有保温层。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池板生产用三氯氧磷扩散源供应系统,其特征在于,所述保温层为保温棉。

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