一种碳化硅加工漏炉报警装置的制作方法

本实用新型涉及报警设备技术领域，具体为一种碳化硅加工漏炉报警装置。

背景技术：

当前，碳化硅晶体生长炉普遍采用双层水冷外壳作为炉壳，内加装隔热屏，隔热屏内放置发热体和钨坩埚，因工作温度高，可达1500-2200摄氏度，普通的材料难以承受这么高的温度，故普遍采用钨钼材料作为晶体生长炉的热场材料，在晶体生长炉内，钨坩埚是盛装原料的容器，普遍采用粉末冶金压制成型，通过烧结达到使用的条件的。虽说此种工艺加工的坩埚性能可靠，但也有一定的使用寿命，并且在晶体生长炉的使用过程中，会有人为的因素导致钨坩埚损坏，甚至开裂，熔融态的氧化铝的泄露甚至会引起烧穿晶体生长炉外壳，接触液态的水后发生爆炸事故，而目前晶体生长炉无论是俄罗斯的炉型还是美国的炉型均缺少必要的漏炉报警装置。传统的真空设备漏炉报警装置有两种较为常用：熔断报警和短路报警。对于碳化硅晶体生长炉来说，氧化铝的温度远远低于坩埚周围热场的温度，熔断报警并不实用；而氧化铝导电性能差，并且受炉内挥发物的影响，短路报警也不是理想的选择。故使用传统的报警方式并不能保证碳化硅晶体生长的安全防护。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种碳化硅加工漏炉报警装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅加工漏炉报警装置，包括底座，所述底座的上侧面两端通过竖直的支撑柱连接有用于支撑漏斗箱的支撑架，所述漏斗箱的内侧安装有网状钨坩埚安装座，所述漏斗箱的底部连通有排料管，所述支撑柱的外侧壁安装有微型鼓风机，所述微型鼓风机通过风管连通于排料管的外侧上部，所述底座的上侧面通过减震装置连接有料桶，所述料桶的内侧壁通过安装架安装有倾斜板，所述倾斜板位于排料管底部管口的正下方，所述倾斜板与安装架的连接处设有压力传感器，所述料桶的外侧壁分别安装有控制器和蜂鸣器，所述压力传感器和蜂鸣器分别与控制器电性连接。

优选的，所述控制器为单片机。

优选的，所述减震装置的数量不少于四个，且减震装置为等距设置。

优选的，所述减震装置包括套筒，所述套筒的内部设有滑杆，所述滑杆的底部通过弹簧连接于套筒的内侧底部，所述套筒的底部和滑杆的顶部分别设有第一安装座和第二安装座。

优选的，所述风管以四十五度夹角向下方向与排料管相连接。

优选的，所述控制器和蜂鸣器与料桶的连接处设有隔热板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该装置通过微型鼓风机向排料管内进行倾斜吹风，使得碳化硅漏料能够加速运动，从而使得在碳化硅漏料较少的情况下压力传感器依然能够准确的感受到压力，从而进行报警，提高了报警的灵敏度，通过减震装置的设置，使得该装置不易受到外界机器运转震动的影响而发生误报警。

附图说明

图1为本实用新型剖视结构示意图；

图2为本实用新型结构示意图；

图3为本实用新型减震装置结构示意图。

图中：1底座、2支撑柱、3支撑架、4漏斗箱、5网状钨坩埚安装座、6排料管、7微型鼓风机、8风管、9减震装置、10料桶、11安装架、12压力传感器、13倾斜板、14隔热板、15控制器、16蜂鸣器、17套筒、18滑杆、19弹簧、20第一安装座、21第二安装座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种碳化硅加工漏炉报警装置，包括底座1，所述底座1的顶部通过支撑柱2连接有支撑架3，所述支撑架3的顶部连接有漏斗箱4，所述漏斗箱4的内侧安装有网状钨坩埚安装座5，所述漏斗箱4的底部连通有排料管6，所述支撑柱2的外侧安装有微型鼓风机7，所述微型鼓风机7通过风管8连通于排料管6的外侧上部，所述底座1的顶部通过减震装置9连接有料桶10，所述料桶10的内部右侧通过安装架11安装有倾斜板13，所述倾斜板13位于排料管6底部管口的正下方，所述倾斜板13与安装架11的连接处设有压力传感器12，所述料桶10的外部右侧分别安装有控制器15和蜂鸣器16，所述压力传感器12和蜂鸣器16分别与控制器15电性连接。

进一步的：所述控制器15为单片机，用于控制蜂鸣器16进行报警。

进一步的：所述减震装置9的数量不少于四个，且减震装置9为等距设置，使得料桶10的减震效果更好。

进一步的：所述减震装置9包括套筒17，所述套筒17的内部设有滑杆18，所述滑杆18的底部通过弹簧19连接于套筒17的内侧底部，所述套筒17的底部和滑杆18的顶部分别设有第一安装座20和第二安装座21，用于对料桶10进行减震。

进一步的：所述风管8以四十五度夹角向下方向与排料管6相连接，防止微型鼓风机7吹出的风将碳化硅漏料向上吹动。

进一步的：所述控制器15和蜂鸣器16与料桶10的连接处设有隔热板14，使得控制器15和蜂鸣器16的工作性能不易受到高温影响。

具体的，使用时，将钨坩埚安装在网状钨坩埚安装座5的顶部，当钨坩埚漏炉时，碳化硅漏料延漏斗箱4的内侧向下滚落进入排料管6内，此时微型鼓风机7能够使得碳化硅漏料在排料管6内加速运动，从而使得碳化硅漏料在撞击倾斜板13时能够产生较大的压力，倾斜板13在受到撞击后会将压力传导至压力传感器12，压力传感器12感受到压力后将信号传输给控制器15，控制器15接受到压力传感器12信号后控制蜂鸣器16进行报警；减震装置9可以减少外部震动对料桶10的影响，从而降低震动对压力传感器12的影响，防止误报警；料桶10可以对大量的碳化硅漏料进行存放，防止漏料四散伤人。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。