技术特征:
技术总结
一种形成石墨烯纳米带的方法,包括:提供基板,所述基板包括铜箔或泡沫镍中的至少一者,并将所述基板置于处理腔室中的减压环境中。所述方法还包括提供甲烷气体和1,2‑二氯苯(1,2‑DCB)气体,使甲烷气体和1,2‑DCB流入所述处理腔室中,并在所述处理腔室中建立1,2‑DCB气体与甲烷气体的分压比。所述分压比在0和3之间。所述方法进一步包括:生成等离子体,之后,将所述基板的至少一部分暴露于甲烷气体、1,2‑DCB气体和等离子体,和将耦合到所述基板的至少一部分的石墨烯纳米带进行生长。
技术研发人员:徐诚志;叶乃裳
受保护的技术使用者:加州理工学院
技术研发日:2018.09.26
技术公布日:2019.04.02