通过等离子体增强化学气相沉积法生长石墨烯纳米带的方法和系统与流程

文档序号:17302844发布日期:2019-04-03 05:20阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种形成石墨烯纳米带的方法,包括:提供基板,所述基板包括铜箔或泡沫镍中的至少一者,并将所述基板置于处理腔室中的减压环境中。所述方法还包括提供甲烷气体和1,2‑二氯苯(1,2‑DCB)气体,使甲烷气体和1,2‑DCB流入所述处理腔室中,并在所述处理腔室中建立1,2‑DCB气体与甲烷气体的分压比。所述分压比在0和3之间。所述方法进一步包括:生成等离子体,之后,将所述基板的至少一部分暴露于甲烷气体、1,2‑DCB气体和等离子体,和将耦合到所述基板的至少一部分的石墨烯纳米带进行生长。

技术研发人员:徐诚志;叶乃裳
受保护的技术使用者:加州理工学院
技术研发日:2018.09.26
技术公布日:2019.04.02
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