单晶硅定向凝固引晶模块的制作方法

文档序号:16857212发布日期:2019-02-12 23:28阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了单晶硅定向凝固引晶模块,包括第一坩埚和第二坩埚,所述第二坩埚套设在第一坩埚内,第二坩埚内底部设有籽晶;所述第二坩埚的外径小于第一坩埚的内径,在第一坩埚和第二坩埚之间的环形腔室内设有石墨保温织套,所述石墨保温织套呈轴向两端敞口的筒状结构,石墨保温织套的轴向一端通过连接件固定在环形腔室的顶端、轴向另一端在重力作用下自然垂挂在环形腔室底部。本发明可有效防止液态硅原料在第一坩埚侧壁上成核结晶,利于获得高质量的单晶硅产品。

技术研发人员:羊实;庹开正
受保护的技术使用者:永平县泰达废渣开发利用有限公司
技术研发日:2018.11.19
技术公布日:2019.02.12
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