高强度高导热氮化硅基板的生产方法与流程

文档序号:17847077发布日期:2019-06-11 21:50阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
高强度高导热氮化硅基板的生产方法,具体步骤:一、备料:A、氮化硅基板;B、准备覆盖料;二、压模:首先,在模具中添加覆盖料,其次加入基板料,最后加入覆盖料,压实后形成三明治胚料。三、烧结:把上述成型的三明治胚料放入震荡热压炉的石墨板夹层中,在震荡、加压、氮气保护下进行热夯实烧结;四、机加工:将覆盖料刮去,氮化硅基板胚子经加工磨光即可成为产品。本发明的优点是:1、覆盖料起到了增强薄片基板胚料强度的作用,使其转移操作时不开裂,在烧结的过程中,保护薄片。2、在压模过程中没有使用胶粘剂,节能,使基板密度更高。3、粉胚料是在震荡热压中被强迫的扩散与传质,强度高,提高了导热率。

技术研发人员:肖志才;肖毅
受保护的技术使用者:常德科锐新材料科技有限公司
技术研发日:2019.03.22
技术公布日:2019.06.07
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