一种防硅蒸气腐蚀的涂层及其制备方法

文档序号:9210783阅读:458来源:国知局
一种防硅蒸气腐蚀的涂层及其制备方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及防硅蒸气腐蚀领域,具体是一种防硅蒸气腐蚀石墨坩祸的涂层的制备方法。
【背景技术】
[0002]在我国,太阳能光伏行业的发展带动了如单晶硅、多晶硅等多种硅行业的快速发展。目前我国产能已经超过世界总产能的一半以上。这些行业中,普遍涉及到高温环境,所以大多采用进口等静压石墨或是国产三高石墨,需要他们有更高的寿命,其主要原因是光伏行业的价格不断下降,需要各个产业链降低成本,而石墨坩祸是非常重要的一个工装,作为主要耗材,提高石墨坩祸的寿命可以明显降低成本,所以如何提高石墨坩祸的寿命是一个重要议题。为解决这个问题先后开展了大量的研宄工作,CN102586754A提供了一种制备氮化硼涂层的方法,该方法是采用化学气相沉积工艺,以氮气为保护气体,以氨气和气态BCl2S反应气,在石墨坩祸上沉积热解氮化硼涂层,其中,于温度1750?1850°C条件下在基体模具上先沉积0.05?0.1mm的热解氮化硼预涂层,并对该预涂层进行保温处理,然后继续升温到1800?200(TC,再在热解氮化硼涂层上按现有技术参数反应沉积热解氮化硼涂层,形成氮化硼坩祸制品,该方法制备涂层周期长、成本高昂且受设备影响较大,不利于应用推广;CN103084325A公开了一种坩祸及其涂层的方法中,公开的涂层配方包括六方氮化硼和纯水以及粘合剂,粘合剂为硅溶胶或聚乙烯醇,该发明的粘合剂之一硅溶胶承受高温为1500?1600°C,温度过高就会失去粘结性,致使氮化硼涂层脱落失去防护作用,涂层高温性能差,而另一种粘合剂聚乙烯醇吸入、摄入或经皮肤吸收后对身体有害,对眼睛和皮肤有刺激作用。

【发明内容】

[0003]为克服现有技术中存在的成本高、高温性能差和对人体健康不利的不足,本发明提出了一种防硅蒸气腐蚀的涂层及其制备方法。
[0004]本发明由15?35%的六方氮化硼、I?10%的乙醇、I?10%的丙三醇和50?80%的稀释剂,所述的百分比为质量百分比,百分比总量为百分之百。
[0005]所述六方氮化硼,纯度含量多99%;所述乙醇纯度含量多99%;所述丙三醇纯度含量多99% ;所述稀释剂为蒸馏水或去离子水。
[0006]本发明提出的制备所述防硅蒸气腐蚀的涂层的具体步骤是:
[0007]步骤I,比例称量物料;
[0008]步骤2,制备溶液:将称量的稀释剂放入烧杯内,向所述烧杯内加入称量好的乙醇和丙三醇。对所述烧杯加热至30?35°C后搅拌混合均匀;得到混合均匀的溶液。
[0009]步骤3,制备涂料:将称量好的六方氮化硼加入得到的溶液中并搅拌至溶液成为粘度为20?25s的糊状,得到制备好的涂料。
[0010]步骤4,调整溶液的pH值:在得到的涂料中加入NaOH,以调整溶液的pH值,使得溶液的pH = 8?11。
[0011]步骤5,制备涂层:将pH值=8?11的涂料均匀涂刷在清洗干净并烘干的石墨坩祸表面,并置于常温下,使涂刷在该坩祸表面的涂料自然风干,在该坩祸表面形成防硅蒸气腐蚀的涂层。
[0012]制备溶液时和制备涂料时,搅拌器的转速均为200?280r/min,搅拌时间均为4?6min0
[0013]本发明提出的防硅蒸气腐蚀石墨坩祸的涂层在1700°C以上高温硅蒸气气氛下保护石墨坩祸的涂层,使石墨坩祸表面受到很大程度的保护,降低了硅蒸气的腐蚀,也可以在生产单晶硅所用的保温桶、加热器、坩祸等主要石墨工装表面使用;在成本增加不大的情况下,能够使这些石墨工装寿命提高50%?100%,显著延长石墨工装的使用寿命,并具有工艺过程简单和成本低的特点,适宜于推广应用,高温性能好,对人体无危害。
[0014]本发明选用六方氮化硼,六方氮化硼具有白色石墨之称,具有类石墨的层状结构,有良好的润滑性、导热性、电绝缘性和耐化学腐蚀性。化学性质稳定对所有熔融金属呈化学惰性,在氮气压力下熔点为3000°C,在大气压下2500°C升华,在但和氩气中使用熔点为3000°C,在氩气气氛下2700°C仍是稳定的,真空环境中1800°C可以长期使用,长时间超过1800°C会慢慢分解。高温熔融渗硅是在1800°C以下完成的,所以在整个过程中,氮化硼涂层都能很好的防止硅蒸气腐蚀坩祸;选用乙醇、丙三醇为分散剂,有助于氮化硼粉体均匀的分散在稀释剂中;低温时可作为粘结剂,使氮化硼紧紧依附在石墨坩祸表面,乙醇、丙三醇作为有机溶剂,高温时可以发生裂解,与硅蒸气作用生成碳化硅涂层架构,一方面起到保持氮化硼与石墨坩祸的粘接作用,另一方面碳化硅涂层自身也能防止硅蒸气对石墨坩祸的腐蚀;由于六方氮化硼在水中会发生水解形成硼酸,所以调整溶液的pH,阻止硼酸的形成。采用本发明的涂层后,在高温使用过程中石墨坩祸的开裂状态大为好转,开裂比例由原来的90 %降低到5 %左右,延长了石墨坩祸的使用寿命,操作过程中没有有害物质,对操作人员身体没有损害。
【具体实施方式】
[0015]实施例1
[0016]本实施例是一种防硅蒸气腐蚀的涂层,采用六方氮化硼、乙醇、丙三醇以及稀释剂搅拌均匀后配制而成,所述各物料的质量百分比为:六方氮化硼为15%、乙醇为2%、丙三醇为3 %和稀释剂为80 %,稀释剂为蒸馏水或去离子水。本实施例中,所述稀释剂为蒸馏水。
[0017]本实施例还提出了一种制备所述防硅蒸气腐蚀涂层的方法,具体步骤是:
[0018]步骤1,比例称量物料:包括15%的六方氮化硼、2%的乙醇、3%的丙三醇和80%的稀释剂。本实施例中,所述稀释剂为去离子水。
[0019]步骤2,制备溶液:将称量的稀释剂放入烧杯内,向所述烧杯内加入称量好的乙醇和丙三醇。对所述烧杯加热至30?35°C后,采用DJlC增力电动搅拌器进行搅拌混合均匀;搅拌器转速为200?280r/min,搅拌时间4?6min ;得到混合均勾的溶液。本实施例中,烧杯加热温度为30°C,搅拌器转速为200r/min,搅拌时间6min.
[0020]步骤3,制备涂料:将称量好的六方氮化硼加入至得到的溶液中,采用DJlC增力电动搅拌器进行搅拌,所述搅拌器的转速为200?280r/min,并连续搅拌4?6min,直到溶液成为糊状。采用流出杯法检测溶液的粘度,通过涂4-杯法测添加有六方氮化硼的溶液的粘度为20?25s,停止搅拌;得到制备好的涂料。本实施例中,搅拌器的转速为200r/min,并连续搅拌6min ;溶液的粘度为20s。
[0021]步骤4,调整溶液的pH值:在得到的涂料中加入NaOH,以调整溶液的pH值,使得pH=8?11。本实施例中,溶液的pH值=8。
[0022]步骤5,制备涂层:将石墨坩祸清洗干净后烘干,烘干温度为40?140°C ;将pH值=8的涂料均匀涂刷在石墨坩祸表面。将表面涂刷有涂料的坩祸置于常温下,使涂刷在该坩祸表面的涂料自然风干,在该坩祸表面形成防硅蒸气腐蚀的涂层。本实施例中,石墨坩祸的烘干温度为40°C ;
[0023]采用本实施例涂层的石墨坩祸能够防止硅蒸气腐蚀,在高温使用过程中石墨坩祸的开裂状态大为好转,开裂比例由原来的90%降低到5%,延长了石墨坩祸的使用寿命,操作过程中没有有害物质,对操作人员身体没有损害。
[0024]实施例2
[0025]本实施例是一种防硅蒸气腐蚀的涂层,采用六方氮化硼、乙醇、丙三醇以及稀释剂搅拌均匀后配制而成,所述各物料的质量百分比为:六方氮化硼为20%、乙醇为5%、丙三醇为5 %和稀释剂为70 %,稀释剂为蒸馏水或去离子水。本实施例中,所述稀释剂为去离子水。
[0026]本实施例还提出了一种制备所述防硅蒸气腐蚀涂层的方法,具体步骤是:
[0027]步骤1,比例称量物料:包括20%的六方氮化硼、5%的乙醇、5%的丙三醇和70%的稀释剂。
[0028]步骤2,制备溶液:将称量的稀释剂放入烧杯内,向所述烧杯内加入称量好的乙醇和丙三醇。对所述烧杯加热至30?35°C后,采用DJlC增力电动搅拌器进行搅拌混合均匀;搅拌器转速为200?280r/min,搅拌时间4?6min ;得到混合均勾的溶液。本实施例中,烧杯加热温度为32°C,搅拌器转速为220r/min,搅拌时间6min.<
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