蓝宝石带以及用于生产具有改进的尺寸稳定性的多个蓝宝石带的设备和方法_2

文档序号:9438262阅读:来源:国知局
于 大约203. 2mm、不大于大约152. 4mm、不大于大约127mm、不大于大约101. 6mm、不大于大约 76. 2mm、不大于大约50. 8mm、不大于大约25. 4mm、不大于大约19. 05mm、不大于大约12. 7mm、 或甚至不大于大约6. 35mm。间距为从一个模具端头的中屯、至相邻的模具端头的中屯、测量 值。
[0031] 再次参考图1,垂直热屏蔽层55可W进一步远离倾斜的热反射屏蔽层50布置。在 一些实施例中,EFG设备可W包括竖直热屏蔽层55和倾斜热反射屏蔽层50。在其他实施例 中,可W具有仅倾斜热反射屏蔽层50。
[0032] 在一些实施例中,热反射屏蔽层50可W与水平面具有不小于大约1度、不小于大 约2度、不小于大约3度、不小于大约4度、不小于大约5度、不小于大约10度、不小于大约 15度、不小于大约20度、不小于大约25度、不小于大约30度、不小于大约35度、不小于大 约40度、不小于大约45度、不小于大约50度、不小于大约55度、不小于大约60度、不小于 大约65度、不小于大约70度、不小于大约75度、不小于大约80度或甚至不小于大约85度 的角a。在另外的实施例中,热反射屏蔽层可W与水平面形成不大于大约88度、不大于大 约85度、不大于大约80度、不大于大约75度或甚至不大于大约70度的角a。在更进一步 的实施例中,热反射屏蔽层可W具有本文中说明的最大值和最小值的范围内的任何角a。 [003引热反射屏蔽层50可W由能够控制EFG设备内的热福射流的任何材料构造。在一 些实施例中,热反射屏蔽层50可W由例如为耐烙金属的金属构造。
[0034] 图3示出蓝宝石带100的简图。蓝宝石带100包括长度^宽度W和厚度T。长度 可W大于或等于宽度。长度和宽度可W大于厚度。可W理解,除非另外作出明确声明,否则 对于包括本文中说明的长度、宽度、厚度、厚度变化等等的一个或更多个带的全部尺寸值均 在"初始"带上测量,即在比如为研磨或抛光的精整工序之前测量。此外,可W理解对于包 括本文中说明的长度、宽度、厚度、厚度变化等等的一个或更多个带的全部尺寸值对于全宽 度部分测量。如本文中所使用的,当带达到模具的宽度的95%内的宽度时存在"全宽度"。
[0035] 在一些实施例中,本文中说明的蓝宝石带W及同时生产的蓝宝石带中的甚至至少 六个或更甚至全部可W具有至少大约101. 6mm、至少大约152. 4mm、至少大约203. 2mm或甚 至至少大约304. 8mm的宽度。在此外的实施例中,本文中说明的蓝宝石带W及甚至每一 个同时生产的蓝宝石带可W具有不大于大约2540mm、不大于大约1219. 2mm、不大于大约 914. 4mm、不大于大约762mm、不大于大约609. 6mm或甚至不大于大约457. 2mm的宽度。在更 进一步的实施例中,本文中说明的蓝宝石带W及甚至每个同时生产的蓝宝石带可W具有本 文中说明的最大值和最小值的范围内的任何宽度。
[0036] 在另外的实施例中,本文中说明的蓝宝石带W及同时生产的蓝宝石带中的甚至至 少六个或更甚至全部可W具有至少大约152. 4mm、至少大约304. 8mm、至少大约609. 6mm、至 少大约762mm、至少大约914. 4mm、至少大约1066. 8mm或甚至至少大约1219. 2mm的长度。在 另外的实施例中,本文中说明的蓝宝石带W及同时生产的蓝宝石带中的甚至至少六个或更 甚至全部可W具有不大于大约5080mm、不大于大约3810mm或甚至不大于大约2540mm的长 度。在更进一步的实施例中,本文中说明的蓝宝石带W及同时生产的蓝宝石带中的甚至六 个或更甚至全部可W具有本文中说明的最大值和最小值的范围内的任何长度。
[0037] 在更进一步的实施例中,本文中说明的蓝宝石带W及同时生产的蓝宝石带中的甚 至至少六个或更甚至全部可W具有至少大约0. 1mm、至少大约0. 5mm、至少大约0. 8mm、至少 大约1mm、至少大约1. 3mm、至少大约1. 5mm、至少大约1. 7mm、至少大约2. 0mm或甚至至少大 约2. 3mm的平均厚度。在另外的实施例中,本文中说明的蓝宝石带W及同时生产的蓝宝石 带中的甚至至少六个或更甚至全部可W具有不大于大约100mm、不大于大约75mm、不大于 大约50mm、不大于大约35mm、不大于大约25mm、不大于大约15mm、不大于大约10mm或甚至 不大于大约5mm的平均厚度。此外,本文中说明的蓝宝石带W及同时生产的蓝宝石带中的 甚至六个或更甚至全部可W具有本文中说明的最大值和最小值之间的范围内的任何平均 厚度。如本文中所使用的,"平均厚度"指的是在具有在全宽度部分中测量的每平方英寸测 量值的厚度图中测量的全部厚度的中间平均厚度。特别地,厚度的测量值W及厚度图的产 生可W按照本领域的标准通过超声测量执行。
[0038] 此外,本文中说明的蓝宝石带W及同时生产的蓝宝石带中的甚至至少六个或更甚 至全部可W具有不大于大约2mm、不大于大约1. 8mm、不大于大约1. 6mm、不大于大约1. 4mm、 不大于大约1. 2mm、不大于大约1. 0mm、不大于大约0. 8mm、不大于0. 7mm、不大于0. 6mm、不大 于大约0. 5mm、不大于大约0. 4mm或甚至不大于大约0. 3mm的总厚度偏差OTV)。通过由带 的最大厚度减去带的最小厚度测量总厚度偏差。如本文中所使用的,带的最小厚度和最大 厚度可W通过每平方英寸1次测量间隔的超声测量来确定。在具体的实施例中,TTV可W 为如上所述,如果存在任何空隙的话,空隙中或空隙周围的厚度测量值不包括在TTV的判 断中。换句话说,用于TTV计算目的的最小厚度可W是最小的非零厚度。在运些实施例中, 在厚度图中确定的任何零测量值不被用作用于TTV计算目的的最小厚度。
[0039] 此外,本公开的特别的优点在于同时形成多个蓝宝石的能力,其中外部带、至少六 个带或甚至多个同时生产的蓝宝石带中的全部具有如上所述的总厚度偏差(TTV)。运样的 特征可W通过多个同时形成的蓝宝石带中的每一个的总厚度偏差的差异度进行量化。总厚 度偏差的差异度可W通过W下公式确定:
[0040] VTTV= ((TTVi-TTVavg) /^UTVavg))*100%
[0041] 其中,VTTV表示总厚度偏差的差异度;TTVi表示所关注的蓝宝石带的总厚度偏 差,W及TTVaw表示在一批次中全部同时生产的蓝宝石带的总厚度偏差的中间平均值。再 次,每个总厚度偏差测量值通过从带内的最大厚度值减去最小厚度值来确定。在具体实施 例中,总厚度偏差的差异度可W不大于大约±50%、不大于±40%、不大于±30%、不大于 ±15%、不大于大约±10%、不大于大约±7%、不大于大约±5%、不大于大约±3%或甚 至不大于大约±2%。
[0042]在更进一步的实施例中,本文中说明的蓝宝石带W及甚至至少六个或更甚至所有 同时生产的蓝宝石带可W具有至少大约2. 0mm、至少大约1. 8mm、至少大约1. 6mm、至少大约 1. 4mm、至少大约1. 2mm、至少大约1. 0mm、至少大约0. 8mm、至少大约0. 7mm、至少大约0. 6mm 或甚至至少大约0. 5mm的最大低点厚度(或最小厚度)。在具体的实施例中,本文中说明 的蓝宝石带W及甚至至少六个或更甚至所有同时生产的蓝宝石带可W具有至少大约1. 0mm 的最大低点厚度,W及在甚至更具体的实施例中,具有至少大约0. 5mm的最大低点厚度。最 大低点厚度是在测量区域中整个蓝宝石带上的最低厚度的测量值。最大低点厚度通过用于 厚度的标准技术进行测量,比如卡尺、下落高度仪、微测器或超声。此外,本公开的另一个特 别的优点在于同时形成多个蓝宝石带的能力,其中外部带W及甚至多个蓝宝石带中的全部 均具有如上所述的最大低点厚度。为0的最大低点厚度将表示带中存在空隙。
[0043]在更进一步的实施例中,本文中说明的蓝宝石带,W及甚至每个同时生产的蓝宝 石带可W与平面具有不大于2mm、不大于1. 8mm、不大于1. 6mm、不大于1. 4mm、不大于1. 2mm、 不大于1. 0mm、不大于0. 8mm、不大于0. 7mm、不大于0. 6mm、不大于大约0. 5mm、不大于大约 0. 4mm或甚至不大于大约0. 3mm的标准偏差。与平面的标准偏差是与蓝宝石带中的平面定 向的差异的测量值。与平面的标准偏差可W通过用于厚度的标准技术进行测量,比如卡尺、 下落高度仪、微测器或超声。此外,本公开的另一个特别的优点在于同时形成多个蓝宝石 带的能力,其中外部带W及甚至多个蓝宝石带中的全部均具有如上所述的与平面的标准偏 差。
[0044]本公开的特别的优点在于同时形成多个蓝宝石带的能力,在此多个蓝宝石带中的 每一个,特别是外部带,实质上是无空隙的。如本文中所使用的,"空隙"指的是在带内具有 间隙或孔的单晶体带中的缺陷。此外,如本文中所使用的,"实质上无空隙"指的是在晶体的 宽度上没有间断的蓝宝石的单晶体带,即晶体具有大于0的厚度。在此W前尚未获知如何 同时形成多个蓝宝石带,在此蓝宝石带中的每一个均是实质上无空隙的。例如,如W下在示 例部分更详细地说明的,向传统的EFG设备增加模具W在外部模具上生产具有相当大空隙 和不一致尺寸稳定性的晶体带。在不期望受理论限制的情况下,据信在传统的EFG培植设 备中,外部带上的溫度和热梯度不同于内部带。据信,带之间的不一致的热梯度可W引起特 别是外部带中的总厚度偏差中的比如为空隙和偏差的缺陷。因此,在本文中说明的一些实 施例中,每个同时形成的蓝宝石带可W是实质上无空隙的,并且在具体实施例中,外
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