处理磷酸系混酸废液而制造肥料的方法和装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明主要设及对包含高浓度的憐酸、硝酸和乙酸的废液进行处理而使其能作为 肥料利用的方法。特别是设及在制造平板显示器等时将用于制作包含侣或其合金的布线图 案的蚀刻液重复使用后进行处理并再利用的方法。
【背景技术】
[0002] 通常用作平板显示器的液晶显示装置、有机化显示装置包含形成有布线图案的 阵列基板。阵列基板上的布线图案中大多包含由侣或其合金形成的单层膜、或者其与钢等 的层叠膜。侣或其合金具有电阻小、反射率高等特性，因此广泛用于阵列基板上的各种布 线、像素电极的图案等。运种侣系图案的制作通常使用包含50重量％ ^上的憐酸、硝酸和 乙酸的蚀刻液。
[0003] 运种粘度较高的蚀刻液重复使用时，侣、钢溶入其中等一种"疲劳"加剧，因此需要 替换成新的蚀刻液。因此，自该蚀刻加工设备排出的废液分为如下两种：作为疲劳液而定期 更新废弃的包含高浓度憐酸的废酸、附着于玻璃基板并在水洗工序中被清洗掉的稀薄的清 洗废液。该蚀刻液由于包含高浓度的憐酸，因此粘度高，附着于玻璃基板并在水洗工序中被 清洗废弃的量较多，全部使用液体量的约60%~70%作为清洗排水被废弃。但是，剩余的 30~40%作为包含高浓度的憐酸的疲劳液而被分离处理。
[0004] 近年来，伴随生产平板显示器的工厂的大型化，源自上述蚀刻液的疲劳液、清洗废 水量增大，存在其处理开支庞大的问题。包含憐酸的清洗废水主要通过沉淀分离方式进行 处理，但会产生大量的污泥，因此存在污泥的处理开支庞大的问题。 阳0化]所W，近年来提出了回收该废水中的憐酸的技术（例如下述专利文献1~2)。专 利文献1中，将=烷基憐酸醋与芳香族系有机溶剂的混合液作为提取剂，提取乙酸和硝酸， 使憐酸残留在提取残液中。专利文献2中，通过在维持低抑的条件下进行反渗透膜处理， 从而仅浓缩憐酸，使乙酸和硝酸与透过水一起被去除。
[0006] 现有技术文献
[0007] 专利文献1 :日本特开2004-160292 WO引 专利文献2 :国际公开W02009/119684(日本再表2009/119684 ;日本特许 5413192)
【发明内容】
[0009] 发巧要解决的间颗
[0010] 关于专利文献1的方法，需要大量药剂和有机溶剂，为此的费用、环境上产生问 题。另外，关于专利文献2的方法，需要比较大型的设备，认为设备投资会变大。进而，关于 运些方法，憐酸由于W包含杂质的水溶液的形式被回收，因此不能直接用于憐酸系肥料等。 另外，运些方法中，无法将乙酸自硝酸有效地分离，认为难W进行硝酸的再利用。
[0011] 关于日本国内的特大型液晶显示装置的工厂，相关药液供给公司、供水废水处理 公司、和玻璃基板供给公司等形成大工业中屯、，确立了将疲劳液等用配管送回到药液供给 公司并进行再生等处理来再利用的方式。然而，不属于运种方式的单独的大型液晶显示装 置工厂也很多。于是，代表性地，将W 70吨/月~150吨/月运样的量产生的高浓度疲劳 液委托给外部的废液处理公司处理的案例较多。该委托处理开支在现状中也较昂贵，伴随 环保规定等的强化，该委托处理开支存在进一步增加的倾向。
[0012] 本发明是鉴于上述问题而做出的，想要提供能够W低成本对由侣的蚀刻工序等产 生的、包含高浓度的憐酸、硝酸和乙酸的废液进行处理，而且不需要为此投资大型设备的憐 酸系混酸废液的处理方法和处理装置。另外，想要提供能将回收憐酸而得到的产物直接用 作肥料的处理方法和处理装置。 柳1引 用于解决间颗的方案
[0014] 本发明的处理方法的特征在于，在优选的实施方式中，在对包含50重量％ W上的 浓度的憐酸、0. 1~15重量％的硝酸、和0. 5~20重量％的乙酸的废液（A)进行处理时， 至少针对憐酸和硝酸测定浓度后，加入根据该测定而计算出的量的憐酸一氨锭（憐酸二 锭（Diammonium phosphate);(畑4)2册〇4)，从而使其与憐酸和硝酸进行反应，利用该反应 回收憐酸和硝酸，并且得到能用作肥料的憐酸二氨锭（ammonium dihy化Ogen phosphate; 畑化P〇4)的粉末似。
[0015] 本发明的处理装置（10)的特征在于，其为对包含50重量％ W上的浓度的憐酸、 0. 1~15重量％的硝酸、和0. 5~20重量％的乙酸的废液（A)进行处理的装置（10)，其具 备：胆藏前述废液的胆藏槽（20)、测定所胆藏的前述废液（A)中的憐酸和硝酸的浓度的浓 度测定装置（27)、具有加热机构（12)和混合揽拌机构（11)的固液混合反应器（1)、测量废 液（A)并将其投入到固液混合反应器（1)中的测量投入装置（19)、投入憐酸一氨锭的粉末 度）的粉末投入装置（17, 18)、W及由微型计算机和/或个人计算机等构成的控制机构（3)， 控制机构（3)进行如下的操作：控制浓度测定装置（27)来自动测定憐酸和硝酸的浓度，根 据如此测得的浓度和将前述废液（A)投入到固液混合反应器（1)中的规定投入量计算刚 好与憐酸和硝酸反应的憐酸一氨锭（憐酸二锭）的理论量，控制粉末投入装置（17, 18)，W 使该理论量的憐酸一氨锭（憐酸二锭）的粉末度）被投入到固液混合反应器（1)中，控制 加热机构（12)和混合揽拌机构（11)，W使所投入的憐酸一氨锭的粉末度）被加热至55~ 85°C，然后控制测量投入装置（19)，将前述规定投入量的前述废液（A)散布于固液混合反 应器（1)内的憐酸一氨锭的粉末做上，然后控制加热机构和混合揽拌机构（11)，继 续55~85°C下的加热和混合揽拌，直至反应完成。
[0016] 发巧的效果
[0017] 用于处理的运行成本和设备成本小，能将回收憐酸和硝酸而得到的产物几乎直接 用作肥料。
【附图说明】
[0018] 图1为示出一个实施方式的处理设备的概略结构的方框图。 WW 附图梳巧说巧
[0020] 1…固液混合反应器；10…处理装置；11…揽拌叶片； 阳02U 12…加热套；13…喷嘴；14…排出口；
[0022] 15…排气配管；16…吸引排气机构；17…测量料斗； 阳023] 17A…定量供给螺杆；18…定量胆料斗；
[0024] 18A…振动进给器；19…测量累；
[0025] 20…疲劳液胆藏槽；21~24、26…疲劳液用配管；
[0026] 25…循环累；27…浓度测定装置；28…肥料胆存槽；
[0027]29…排气浓度计；3…控制装置；A…疲劳液（混酸废液）；
[0028] B…憐酸一氨锭（憐酸二锭）的粉末；
[0029] C…憐酸二氨锭的粉末（憐酸系肥料）
【具体实施方式】
[0030] 自用于制造平板显示器等的如上所述的侣的湿式蚀刻工序排出的疲劳液（混酸 废液）通常为除了高浓度的憐酸和硝酸/乙酸之外还含有由蚀刻生成的侣和钢等而不含其 它成分的稳定组成。构成疲劳液（混酸废液）