的特性，利用了废酸中的除乙酸 和水分之外的其它主要成分能转用作憐酸系肥料的情况。利用运种回收技术，能够消除向 工业废弃物处理商委托处理的开支负担，而且能够通过将回收的憐酸系肥料对外销售而得 到大幅的收益，能够无限制地减少来自废液的处理回收设备的废弃物量。
[0070] 上述实施方式的说明中，对于自平板显示器的制造用蚀刻加工设备排出的疲劳液 (混酸废液）进行了说明，但对于自其它半导体设备、电子设备的制造用蚀刻加工设备排出 的疲劳液也是完全同样的。上述实施方式的说明中，对于将憐酸一氨锭的粉末投入到固液 混合反应器1中充分加热后散布疲劳液的情况进行了说明。但是，根据情况，也可W将在料 斗中预先加热了的憐酸一氨锭的粉末和疲劳液几乎同时地投入。另外，上述实施方式的说 明中，对于固定憐酸一氨锭粉末的投入量并加入理论量的疲劳液（混酸废液）的情况进行 了说明，但也可W反过来固定疲劳液（混酸废液）的投入量并投入计算量的憐酸一氨锭的 粉末。
[0071] 上述实施方式的说明中，对于固液混合反应器1为纵型、即中屯、轴朝向垂直方向 的情况进行了说明，但也可W为横型、即揽拌机的轴等沿水平方向配置。例如，也可W多个 叶片围绕水平方向轴旋转，进行揽拌。
[0072] 上述实施方式的说明中，针对用于在固液混合反应器1中投入疲劳液的测量装置 为测量累19的情况进行了说明，但是，例如也可W包含电磁阀或旋塞和重量测量装置，仅 W规定重量胆存在容器中后，送入固液混合反应器1。另外，对于自定量胆料斗18向固液混 合反应器1中投入憐酸一氨锭的粉末的情况进行了说明，但也可W自测量料斗17直接投入 到固液混合反应器1中。
【主权项】
1. 一种处理方法，其特征在于，其为对包含50重量％以上的浓度的磷酸、0. 1~15重 量％的硝酸、和〇. 5~20重量％的乙酸的废液（A)进行处理的方法，测定磷酸的浓度和硝 酸的浓度、或它们的总浓度后，加入根据如此测得的浓度和所述废液的投入量计算出的量 的磷酸一氢铵即磷酸二铵，从而使其与磷酸和硝酸进行反应，利用该反应回收磷酸和硝酸， 并且得到能用作肥料的磷酸二氢铵的粉末（C)。2. 根据权利要求1所述的处理方法，其特征在于，作为磷酸一氢铵使用粉末形态的物 质，所述反应中使用具有加热机构（12)和搅拌混合机构（11)的固液混合反应器（1)，将磷 酸一氢铵的粉末（B)投入到固液混合反应器（1)中并进行加热后，将所述废液（A)散布投 入至磷酸一氢铵的粉末（B)，然后继续加热和搅拌混合，从而得到磷酸二氢铵的粉末（C)。3. 根据权利要求1或2所述的处理方法，其特征在于，将磷酸一氢铵的粉末（B)投入并 加热至55~85°C后，继续该温度范围内的加热和搅拌混合。4. 根据权利要求1或2所述的处理方法，其特征在于，通过进行自反应部位排气的排气 配管（15)排出乙酸和水分。5. 根据权利要求4所述的处理方法，其特征在于，测定通过所述排气配管（15)排出 的排气中的水分蒸气浓度或湿度、或者乙酸蒸气浓度和水分蒸气浓度，所得到的值达到 0. 2~2%的范围内的预先确定的值以下时，判断所述反应完成，停止加热和搅拌混合。6. 根据权利要求2所述的处理方法，其特征在于，投入磷酸一氢铵的粉末（B)时，预先 测量所述计算出的量的磷酸一氢铵的粉末（B)并贮存于定量贮存槽（18)，自该定量贮存槽 (18)向固液混合反应器（1) 一次投入全部量， 投入所述废液（A)时，搅拌混合磷酸一氢铵的粉末（B)，同时随着搅拌混合的进行，供 给所述废液（A)并使其散布。7. -种处理装置，其特征在于，其为对包含50重量％以上的浓度的磷酸、0. 1~15重 量％的硝酸、和〇. 5~20重量％的乙酸的废液（A)进行处理的装置（10)，所述处理装置具 备：贮藏所述废液的贮藏槽（20)、测定所贮藏的所述废液（A)中的磷酸和硝酸的浓度的浓 度测定装置（27)、具有加热机构（12)和混合搅拌机构（11)的固液混合反应器（1)、测量废 液（A)并将其投入到固液混合反应器（1)中的测量投入装置（19)、投入磷酸一氢铵的粉末 (B)的粉末投入装置（17, 18)、以及控制机构（3)， 控制机构（3)进行如下的操作： 控制浓度测定装置（27)来自动地测定磷酸和硝酸的浓度， 根据如此测得的浓度和将所述废液（A)投入到固液混合反应器（1)中的规定投入量， 计算刚好与磷酸和硝酸反应的磷酸一氢铵即磷酸二铵的理论量， 控制粉末投入装置（17, 18)，以使该理论量的磷酸一氢铵即磷酸二铵的粉末（B)被投 入到固液混合反应器（1)中， 控制加热机构（12)和混合搅拌机构（11)，以使所投入的磷酸一氢铵的粉末（B)被加热 至55~85°C，然后控制测量投入装置（19)，将所述规定投入量的所述废液（A)散布于固液 混合反应器（1)内的磷酸一氢铵的粉末（B)上， 然后控制加热机构（12)和混合搅拌机构（11)，继续55~85°C下的加热和混合搅拌， 直至反应完成。8. 根据权利要求7所述的处理装置，其特征在于，在将来自固液混合反应器（1)内部的 排气送出的排气配管（15)的中途具备测定排气中的水分蒸气浓度或湿度、或者乙酸蒸气 浓度和水分蒸气浓度的排气浓度计（29)， 控制机构（3)在所得到的值达到0. 2~2%的范围内的预先确定的值以下时，判断所述 反应完成，停止加热和搅拌混合。9. 根据权利要求7或8所述的处理装置，其特征在于，具备用于向固液混合反应器（1) 中喷雾投入所述废液（A)的喷嘴（13)。10. 根据权利要求7或8所述的处理装置，其特征在于，粉末投入装置（17, 18)包括： 定量贮存槽（18)、和用于向该定量贮存槽（18)中测量并供给磷酸一氢铵的粉末（B)的测量 供给装置（17)， 控制机构（3)控制测量供给装置（17)，将所述理论量的磷酸一氢铵的粉末（B)预先投 入到定量贮存槽（18)中，然后，控制定量贮存槽（18)的排出机构，将位于定量贮存槽（18) 的内部的粉末（B)的全部量一次投入至固液混合反应器（1)中。
【专利摘要】一种处理磷酸系混酸废液而制造肥料的方法和装置。在对由铝的蚀刻工序等产生的、包含高浓度的磷酸、硝酸和乙酸的混酸废液(疲劳液)进行处理时，测定混酸废液中的磷酸和硝酸的浓度后，加入基于该测定而计算出的量的磷酸一氢铵(磷酸二铵(Diammonium？phosphate)；(NH4)2HPO4)，从而使其与磷酸和硝酸进行反应。由此，回收磷酸和硝酸，并且得到能用作肥料的磷酸二氢铵(ammonium？dihydrogen？phosphate；NH4H2PO4)的粉末。用于此的处理装置具备：具有加热机构和混合搅拌机构的固液混合反应器、测量并投入废液的测量投入装置、粉末投入装置、以及控制机构。
【IPC分类】C05B11/10, C05B11/06
【公开号】CN105294174
【申请号】CN201510388117
【发明人】田中伊佐男, 王晓彦, 阎旭
【申请人】日本爱纳克株式会社
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年7月3日