一种碲镉汞外延材料热处理用石英夹具的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及热处理工艺技术，尤其涉及一种碲镉汞外延材料热处理用石英夹具。
【背景技术】
[0002]红外焦平面探测技术具有光谱响应波段宽、可获得更多地面目标信息、能昼夜工作等显著优点，广泛应用于预警探测、毁伤效果评估、气象预报、地热分布调查、火山活动探测、太空天文探测等军事和民事领域中。碲镉汞材料是高性能红外焦平面探测器的核心材料，制备这种材料的技术方法很多，有液相外延法、分子束外延法、金属有机化学气相沉积法等，其中液相外延法是一种非常成熟的工业化应用的技术，也是大多数先进国家都采用的制备方法。使用液相外延法制备的碲镉汞外延材料内位错及缺陷数量较多，通常需经过热处理工艺消除碲镉汞外延材料体内位错及缺陷。由于红外焦平面探测器应用时所需的分辨率越来越大，使得碲镉汞外延材料尺寸也需要不断增大。原始的热处理方式在进行大尺寸碲镉汞外延材料热处理时会由于材料尺寸的增加而导致材料因自重增加而发生材料弯曲形变，最终影响红外焦平面探测器芯片的互连效果，使得互连失效。此外，碲镉汞外延材料在封接过程中会不断与石英管壁碰撞，由于碲镉汞外延材料为软脆材料，碰撞过程中容易产生裂片，导致材料损失，影响红外焦平面探测器芯片的使用。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型要解决的技术问题是，提供一种碲镉汞外延材料热处理用石英夹具，能够解决碲镉汞外延材料在热处理过程中的弯曲变形的问题。
[0004]本实用新型采用的技术方案是，一种碲镉汞外延材料热处理用石英夹具，所述石英夹具为等边三棱柱结构且内部中空，所述石英夹具的三侧壁厚度均匀。
[0005]进一步的，所述石英夹具的内壁尺寸根据碲镉汞外延材料片的尺寸进行设计;所述石英夹具的外壁尺寸根据石英管的内径尺寸进行设计;在热处理过程中，将所述碲镉汞外延材料片放到石英夹具上，再将所述石英夹具放入石英管中。
[0006]进一步的，所述石英夹具的内壁尺寸根据碲镉汞外延材料片的尺寸进行设计具体是指:所述碲镉汞外延材料片的一面与所述石英夹具的任一内壁贴合，所述碲镉汞外延材料片的另一面的两边缘处分别与所述石英夹具的另外两个内壁相接触。
[0007]进一步的，所述石英夹具的外壁尺寸根据石英管的内径尺寸进行设计具体是指:所述石英夹具能够放入所述石英管中，且所述石英夹具的三条侧棱均与所述石英管的内壁相接触。
[0008]采用上述技术方案，本实用新型至少具有下列优点:
[0009]本实用新型所述的碲镉汞外延材料热处理用石英夹具，将碲镉汞外延材料固定在石英夹具中，可以防止在热处理过程中碲镉汞外延材料因自重原因而发生弯曲变形。本实用新型中石英夹具被固定在石英管的内腔中，可以防止在热处理过程中碲镉汞外延材料与石英管壁间的碰撞，从而消除镉汞外延材料在热处理过程中产生的裂片。本实用新型大大降低了大尺寸碲镉汞外延材料在热处理过程中的变形问题，同时也降低了碲镉汞外延材料的裂片几率，提高了热处理工艺的成品率。
【附图说明】
[0010]图1为本实用新型实施例的石英夹具的立体结构示意图；
[0011 ]图2为本实用新型实施例的石英夹具的横截面结构示意图。
【具体实施方式】
[0012]为更进一步阐述本实用新型为达成预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对本实用新型进行详细说明如后。
[0013]本实用新型实施例的一种碲镉汞外延材料热处理用石英夹具，如图1所示，石英夹具I为等边三棱柱结构且内部中空，石英夹具I的三侧壁厚度均匀。
[0014]具体的，如图2所示，在热处理过程中，将一块长方形薄片状的碲镉汞外延材料片2放到石英夹具I上，再将石英夹具I放入石英管3中。
[0015]进一步的，石英夹具I的内壁尺寸根据碲镉汞外延材料片2的尺寸进行设计，具体是指:碲镉汞外延材料片2的一面与石英夹具I的任一内壁贴合，碲镉汞外延材料片2的另一面的两边缘处分别与石英夹具I的另外两个内壁相接触。
[0016]石英夹具I的外壁尺寸根据石英管3的内径尺寸进行设计，具体是指:石英夹具I能够放入石英管3中，且石英夹具I的三条侧棱均与石英管3的内壁接触。
[0017]本实用新型所述的碲镉汞外延材料热处理用石英夹具，将碲镉汞外延材料固定在石英夹具内，可以防止在热处理过程中碲镉汞外延材料因为自重原因而发生弯曲变形。本实用新型中石英夹具被固定在石英管的内腔中，可以防止在热处理过程中碲镉汞外延材料与石英管壁间的碰撞，从而消除镉汞外延材料在热处理过程中产生的裂片。本实用新型大大降低了大尺寸碲镉汞外延材料在热处理过程中的变形问题，同时也降低了碲镉汞外延材料的裂片几率，提高了热处理工艺的成品率。
[0018]通过【具体实施方式】的说明，应当可对本实用新型为达成预定目的所采取的技术手段及功效得以更加深入且具体的了解，然而所附图示仅是提供参考与说明之用，并非用来对本实用新型加以限制。
【主权项】
1.一种碲镉汞外延材料热处理用石英夹具，其特征在于，所述石英夹具为等边三棱柱结构且内部中空，所述石英夹具的三侧壁厚度均匀。2.根据权利要求1所述的碲镉汞外延材料热处理用石英夹具，其特征在于，所述石英夹具的内壁尺寸根据碲镉汞外延材料片的尺寸进行设计;所述石英夹具的外壁尺寸根据石英管的内径尺寸进行设计;在热处理过程中，将所述碲镉汞外延材料片放到石英夹具上，再将所述石英夹具放入石英管中。3.根据权利要求2所述的碲镉汞外延材料热处理用石英夹具，其特征在于，所述石英夹具的内壁尺寸根据碲镉汞外延材料片的尺寸进行设计具体是指:所述碲镉汞外延材料片的一面与所述石英夹具的任一内壁贴合，所述碲镉汞外延材料片的另一面的两边缘处分别与所述石英夹具的另外两个内壁相接触。4.根据权利要求2所述的碲镉汞外延材料热处理用石英夹具，其特征在于，所述石英夹具的外壁尺寸根据石英管的内径尺寸进行设计具体是指:所述石英夹具能够放入所述石英管中，且所述石英夹具的三条侧棱均与所述石英管的内壁相接触。
【专利摘要】本实用新型提出了一种碲镉汞外延材料热处理用石英夹具，所述石英夹具为等边三棱柱结构且内部中空，所述石英夹具的三侧壁厚度均匀。在热处理过程中，将碲镉汞外延材料片放到石英夹具上，再将所述石英夹具放入石英管中。所述石英夹具的内壁尺寸根据碲镉汞外延材料片的尺寸进行设计；所述石英夹具的外壁尺寸根据石英管的内径尺寸进行设计。所述石英夹具，能够解决碲镉汞外延材料在热处理过程中的弯曲变形问题，能够有效的避免碲镉汞外延材料在热处理过程中与石英管壁间的碰撞，消除镉汞外延材料在热处理过程中产生的裂片。
【IPC分类】C30B33/02
【公开号】CN205368544
【申请号】CN201521075087
【发明人】宁提, 赵东生
【申请人】中国电子科技集团公司第十一研究所
【公开日】2016年7月6日
【申请日】2015年12月22日