用于晶圆/光罩载具的塑胶组合物及应用其的光罩传送盒的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明隶属一种用于半导体载具的塑胶组成物技术，具体而言是指一种应用该塑 胶组合物的晶圆/光罩载具，借以满足半导体产业可在无尘室中使用的低金属离子、低硫 化物、耐磨耗及高洁净等需求，并可降低材料的使用成本。
【背景技术】
[0002] 受到半导体技术不断创新及微细化发展的影响，利用半导体技术制成的晶片被广 泛的应用于各种领域中。受到集成电路微细化及制低成本的影响，晶圆的尺寸越来越大，但 每一晶圆的晶片数越来越多，使晶圆价值不断的提高，因此工艺中晶圆上的任何问题都可 能造成极大的损失。且一般集成电路工艺中的黄光工艺是一种关系到整体良率的重要工 艺，其通常是在一光罩表面涂布有一不透明或半透明的期望图形，供将该期望图形投射到 晶圆光阻层上。因此任何附着于光罩表面的缺陷都有可能被投射到晶圆的光阻层上，而导 致集成电路元件成品的妥善率或甚至无法使用。然而晶圆与光罩在工艺中，或因工艺材料、 或工艺气体、或因零件微粒与油污的剥落、又或因无尘室的环境，使晶圆/光罩的相邻环境 中存在有众多的微粒及气体游离分子等污染物，而这些污染物经积聚或化学变化后，极容 易在晶圆/光罩于储存及运输期间产生微粒【Particles】或雾霾【Haze】等缺陷。
[0003] 而在半导体工艺中，运用自动化物料搬运系统【AutomatedMaterialHandling System，AMHS】，与隔离进出料标准机械接口【StandardMechanicalInterface，SMIF】设 备，来进行晶圆与光罩于不使用期间的维护与运送，不但能取代传统人工搬运、降低无尘 室设备的建置与维护成本，还能提升晶圆与光罩的洁净度，达到超高生产良率，故近年来， AMHS与SMIF已被列为是国际间半导体厂的标准设备规范。
[0004] 根据上述技术概念，除了在曝光使用时，晶圆与光罩在运送过程或保存期间，都必 须放置在一个高洁净度、气密性佳、低气体逸出【Outgassing】与抗静电防护【ESD】的载 具内，如晶舟盒【Cassette】、晶圆传送盒【F0UP】、晶圆运输盒【F0SB】、光罩储存盒【Mask Package】、光罩传送盒【ReticleSMIFPod，RSP】，有效防止晶圆与光罩受到污染，确保高晶 圆与光罩的洁净度与高生产良率。
[0005] 而早期的晶圆与光罩的载具主要采用塑胶材质所制成，其中最常为使用的就是PP 塑料，然而PP材质所制成的晶圆与光罩载具却又最容易因有害气体离子释出，而于晶圆与 光罩表面出现雾霾，甚至因磨擦或碰撞出现尘粒附着等问题。虽然有业者提供以聚醚醚酮 【PEEK】材料为主的载具，希望能利用聚醚醚酮【PEEK】低析出、高耐磨性与绝缘性的特性， 来达到前述低气体逸出与抗静电防护【ESD】的要求，然而聚醚醚酮【PEEK】的材料成本极 高，且成型加工难度较在，在现有晶圆尺寸越来越大的状况下，晶圆与光罩的载具也跟着变 大，如此庞大的材积，除了会增加不良率外，无形间也大幅提高其制造成本，同时聚醚醚酮 【PEEK】更具有不耐冲击、不耐丙酮、不耐浓硫酸等问题，造成后续清洗的困扰。
[0006] 换言之，如何能使用低成本材料，且使其具有抗静电效果佳、低游离子释出、耐磨 耗及高洁净等特性，对于晶圆/光罩载具的应用，是相当重要的课题。
【发明内容】
[0007] 为了解决上述技术问题，本发明提供一种应用于晶圆/光罩载具的塑胶组合物， 其能解决现有晶圆/光罩载具无法同时兼具低成本所造成的不便与困扰。
[0008] 因此，本发明的主要目的在于提供一种应用于晶圆/光罩载具的塑胶组合物，借 能具有较佳的加工成型特性，而能提高产品的良率，且可降低材料使用成本。
[0009] 再者，本发明的又一主要目的在于提供一种塑胶组合物，其可应用于晶圆/光罩 载具，借以能降低晶圆/光罩载具的有害气体离子释出，以减少晶圆/光罩表面的雾霾产 生。
[0010] 又，本发明的次一主要目的在于提供一种应用于晶圆/光罩载具的塑胶组合物， 其能提高晶圆/光罩载具的硬度，以提升其耐磨度与耐冲击性，以满足载具的高洁净度需 求，避免晶圆/光罩受到污染。
[0011] 另，本发明的再一主要目的在于提供一种光罩传送盒结构，借以能具有较佳的消 除静电效果，避免有害物质附着。
[0012] 为此，本发明通过下列的技术手段，来具体实现本发明的各项目的与效能： 本发明提供的应用于晶圆/光罩载具的塑胶组合物，包含一主体材料，且该主体材料 包含聚醚酰亚胺及纳米碳管。
[0013] 优选地，纳米碳管占该主体材料重量的0.8 %~16 %。
[0014] 进一步优选地，纳米碳管占该主体材料重量的2 %~5 %。
[0015] 其中，该纳米碳管为单层纳米碳管或多层纳米碳管其中之一或其组合。
[0016] 本发明提供一种光罩传送盒，包含： 一底座及一壳罩，该壳罩可相对该底座盖合形成一光罩存放空间，该底座具有一支撑 组，以承托光罩，且该壳罩具有一导压组，以限制导正光罩； 其中该底座、该支撑组、该壳罩及该导压组中至少其中之一是由一塑胶组合物所制成， 该塑胶组合物包含一主体材料，该主体材料包含聚醚酰亚胺及纳米碳管。
[0017] 优选地，纳米碳管占该主体材料重量的0. 8 %~16 %。
[0018] 进一步优选地，纳米碳管占该主体材料重量的2 %~5 %。
[0019] 其中，该纳米碳管为单层纳米碳管或多层纳米碳管其中之一或其组合。
[0020] 本发明提供一种晶圆/光罩载具，该晶圆/光罩载具由一塑胶组合物制成，该塑胶 组合物包含聚醚酰亚胺及纳米碳管，其中，纳米碳管占该主体材料重量的〇. 8 %~16 %。
[0021] 优选地，该晶圆/光罩载具可为晶舟盒、晶圆传送盒、晶圆运输盒、光罩储存盒或 光罩传送盒其中之一。
[0022] 借此，通过前述技术手段的展现，使得本发明可利用含纳米碳管的聚醚酰亚胺的 塑胶组合物，组构成晶圆/光罩的载具的塑