[0036]实施例2，
[0037]去离子水76重量份；
[0038]表面活性剂19重量份，包括烧基葡萄糖酰胺5重量份、异构醇聚氧乙醚3重量份、醇醚羧酸盐4重量份、烷基二苯醚二磺酸盐4重量份、螯合性表面活性剂3重量份；
[0039]碱3重量份，具体为氢氧化钾3重量份；
[0040]分散剂I重量份，具体为丙烯酸均聚物分散剂I重量份；
[0041]消泡剂I重量份，具体为有机硅改性聚醚消泡剂I重量份。
[0042]此种硅片清洗剂在清洗时，按照配制硅片清洗剂浓度3%的标准，在清洗槽内加入上述硅片清洗剂和去离子水，加热至55摄氏度开始清洗，经实验每千克清洗剂能够清洗3500片左右的硅片。
[0043]实施例3
[0044]去离子水83重量份；
[0045]表面活性剂14重量份，包括烧基葡萄糖酰胺4重量份、异构醇聚氧乙醚2重量份、醇醚羧酸盐3重量份、烷基二苯醚二磺酸盐3重量份、螯合性表面活性剂2重量份；
[0046]碱1.5重量份，具体为氢氧化钾1.5重量份；
[0047]分散剂I重量份，具体为丙烯酸均聚物分散剂I重量份；
[0048]消泡剂0.5重量份，具体为有机硅改性聚醚消泡剂0.5重量份。
[0049]此种硅片清洗剂在清洗时，按照配制硅片清洗剂浓度3%的标准，在清洗槽内加入上述硅片清洗剂和去离子水，加热至55摄氏度开始清洗，经实验每千克清洗剂能够清洗3200片左右的硅片。
[0050]实施例4
[0051 ] 去离子水76重量份；
[0052]表面活性剂18重量份，包括烧基葡萄糖酰胺3重量份、异构醇聚氧乙醚4重量份、醇醚羧酸盐3重量份、烷基二苯醚二磺酸盐3重量份、螯合性表面活性剂5重量份；
[0053]碱3重量份，具体为氢氧化钾3重量份；
[0054]分散剂2重量份，具体为丙烯酸均聚物分散剂2重量份；
[0055]消泡剂I重量份，具体为有机硅改性聚醚消泡剂I重量份。
[0056]此种硅片清洗剂在清洗时，按照配制硅片清洗剂浓度3%的标准，在清洗槽内加入上述硅片清洗剂和去离子水，加热至55摄氏度开始清洗，经实验每千克清洗剂能够清洗4200片左右的硅片。
[0057]本发明还提供一种易降解环保型硅片清洗剂的制备方法，参阅图1，图1是本发明提供的易降解环保型硅片清洗剂的制备方法的流程图。该方法包括:
[0058]步骤Sll:提供10-25重量份的表面活性剂。
[0059]步骤S12:提供1-4重量份的碱。
[0060]步骤S13:提供0.2-2重量份的分散剂。
[0061]步骤S14:提供0.5-2重量份的消泡剂。
[0062]步骤S15:提供70-85重量份的去离子水。
[0063]步骤S21:在室温下搅拌5-7小时，优选为6小时。
[0064]其中，步骤Sll-步骤S15之间的顺序并不做限定，任意一个步骤先进行或者多个步骤同时进行皆可。
[0065]其中，表面活性剂是指加入少量能使其溶液体系的界面状态发生明显变化的物质。具有固定的亲水亲油基团，在溶液的表面能定向排列。表面活性剂的分子结构具有两亲性:一端为亲水基团，另一端为疏水基团；亲水基团常为极性基团，如羧酸、磺酸、硫酸、氨基或胺基及其盐，羟基、酰胺基、醚键等也可作为极性亲水基团；而疏水基团常为非极性烃链，如8个碳原子以上烃链。在本发明中，表面活性剂为烷基葡萄糖酰胺、异构醇聚氧乙烯醚、醇醚羧酸盐和烷基二苯醚二磺酸盐和螯合性表面活性剂的组合。
[0066]其中，烷基葡萄糖酰胺与异构醇聚氧乙醚为非离子表面活性剂，醇醚羧酸盐与烷基二苯醚二磺酸盐为阴离子表面活性剂。烷基二苯醚二磺酸盐能够提供对非离子表面活性剂的增溶，改变了传统硅片清洗剂需要加入有机溶剂进行增溶，避免了在清洗过程中产生的VOC。螯合性表面活性剂优选N-月桂酰基乙二胺三乙酸，具备表面活性剂和螯合剂的双重特点，避免了传统硅片清洗剂需要单独加入螯合剂的缺点。其中，烷基葡萄糖酰胺、异构醇聚氧乙醚、醇醚羧酸盐以及螯合性表面活性剂经实验为易降解环保型表面活性剂，烷基二苯醚二磺酸盐的生物降解性能在也很强。
[0067]并且，优选的，并且10-25重量份的表面活性剂中，烷基葡萄糖酰胺占1-7重量份，异构醇聚氧乙烯醚占2-4重量份、醇醚羧酸盐占1-4重量份，烷基二苯醚二磺酸盐占1-6重量份，螯合性表面活性剂占1-5重量份。
[0068]在本发明中，碱为氢氧化钾与氢氧化钠中的一种或两种。
[0069]分散剂是一种在分子内同时具有亲油性和亲水性两种相反性质的界面活性剂。可均一分散那些难于溶解于液体的无机，有机颜料的固体及液体颗粒，同时也能防止颗粒的沉降和凝聚，形成安定悬浮液所需的两亲性试剂。在本发明中，分散剂为丙烯酸均聚物、丙烯酸共聚物中的一种或几种。其中，优选重均分子量在2000?6000的聚合物，如陶氏罗门哈斯牌号为A⑶SOL445NG的分散剂。
[0070]消泡剂，也称消沫剂，是在食品加工过程中降低表面张力，抑制泡沫产生或消除已产生泡沫的食品添加剂。但是，经本申请的发明人研宄后发现，消泡剂用在硅片清洗剂中可有效的减少泡沫的产生。在本发明中，消泡剂为高碳醇脂肪酸酯复合物、聚氧乙烯聚氧丙烯季戊四醇醚、聚氧乙烯聚氧丙醇胺醚、聚氧丙烯甘油醚和聚氧丙烯聚氧乙烯甘油醚、有机硅改性聚醚、聚二甲基硅氧烷中的一种或几种。
[0071]实施本发明实施例，具有如下有益效果:本发明的易降解环保型硅片清洗剂清洗能力强，易于生物降解，避免了会产生危害的挥发性有机物，同时产生的泡沫量较少。
[0072]以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种易降解环保型硅片清洗剂，其特征在于，所述易降解环保型硅片清洗剂的成分包括10-25重量份的表面活性剂、1-4重量份的碱、0.2-2重量份的分散剂、0.5-2重量份的消泡剂以及70-85重量份的去离子水。2.根据权利要求1所述的易降解环保型硅片清洗剂，其特征在于，所述表面活性剂为烷基葡萄糖酰胺、异构醇聚氧乙烯醚、醇醚羧酸盐、烷基二苯醚二磺酸盐和螯合性表面活性剂，且10-25重量份的所述表面活性剂中，所述烷基葡萄糖酰胺占1-7重量份，所述异构醇聚氧乙烯醚占2-4重量份、所述醇醚羧酸盐占1-4重量份，所述烷基二苯醚二磺酸盐占1-6重量份，所述螯合性表面活性剂占1-5重量份。3.根据权利要求1所述的易降解环保型硅片清洗剂，其特征在于，所述碱为氢氧化钾与氢氧化钠中的一种或两种。4.根据权利要求1所述的易降解环保型硅片清洗剂，其特征在于，所述分散剂为丙烯酸均聚物、丙烯酸共聚物中的一种或几种。5.根据权利要求1所述的易降解环保型硅片清洗剂，其特征在于，所述消泡剂为高碳醇脂肪酸酯复合物、聚氧乙烯聚氧丙烯季戊四醇醚、聚氧乙烯聚氧丙醇胺醚、聚氧丙烯甘油醚和聚氧丙烯聚氧乙烯甘油醚、有机硅改性聚醚、聚二甲基硅氧烷中的一种或几种。6.一种易降解环保型硅片清洗剂的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括步骤: 提供10-25重量份的表面活性剂； 提供1-4重量份的碱； 提供0.2-2重量份的分散剂； 提供0.5-2重量份的消泡剂； 提供70-85重量份的去离子水； 在室温下搅拌5-7小时。7.根据权利要求1所述的易降解环保型硅片清洗剂的制备方法，其特征在于，所述表面活性剂为烷基葡萄糖酰胺、异构醇聚氧乙烯醚、醇醚羧酸盐和烷基二苯醚二磺酸盐和螯合性表面活性剂，且10-25重量份的所述表面活性剂中，所述烷基葡萄糖酰胺占1-7重量份，所述异构醇聚氧乙烯醚占2-4重量份、所述醇醚羧酸盐占1-4重量份，所述烷基二苯醚二磺酸盐占1-6重量份，所述螯合性表面活性剂占1-5重量份。8.根据权利要求1所述的易降解环保型硅片清洗剂的制备方法，其特征在于，所述碱为氢氧化钾与氢氧化钠中的一种或两种。9.根据权利要求1所述的易降解环保型硅片清洗剂的制备方法，其特征在于，所述分散剂为丙烯酸均聚物、丙烯酸共聚物中的一种或几种。10.根据权利要求1所述的易降解环保型硅片清洗剂的制备方法，其特征在于，所述消泡剂为高碳醇脂肪酸酯复合物、聚氧乙烯聚氧丙烯季戊四醇醚、聚氧乙烯聚氧丙醇胺醚、聚氧丙烯甘油醚和聚氧丙烯聚氧乙烯甘油醚、有机硅改性聚醚、聚二甲基硅氧烷中的一种或几种。
【专利摘要】本发明实施例公开了一种易降解环保型硅片清洗剂及其制备方法，该易降解环保型硅片清洗剂的成分包括10-25重量份的表面活性剂、1-4重量份的碱、0.2-2重量份的分散剂、0.5-2重量份的消泡剂以及70-85重量份的去离子水。实施本发明实施例，具有如下有益效果：本发明的易降解环保型硅片清洗剂清洗能力强，易于生物降解，避免了会产生危害的挥发性有机物，同时产生的泡沫量较少。
【IPC分类】C11D3/60, C11D3/37, C11D3/04, C11D1/831
【公开号】CN104893848
【申请号】CN201510311783
【发明人】洪育林, 张震, 李文文, 安冠宇, 张冠, 刘辉
【申请人】武汉宜田科技发展有限公司
【公开日】2015年9月9日
【申请日】2015年6月9日