改性羟基萘酚醛清漆树脂、改性羟基萘酚醛清漆树脂的制造方法、感光性组合物、抗蚀材...的制作方法_5

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测定、13C-NMR、抑-MS谱基于W下的条件进行测定。
[0164] <GPC的测定条件>
[016 引 测定装置:TOSOH CORPORATION 制造的 "HLC-8220GPC'( 8. Omml.D. X 300mm)
[0166] 柱:昭和电工株式会社制造的"Shodex KF802"(8.0mmI.D. X300mm)+昭和电工株 式会社制造的"Shodex KF802"(8.0mmI.D. X300mm)+昭和电工株式会社制造的"Shodex KF803" (8 . OmmI .D . X 300mm) +昭和电工株式会社制造的 "Shodex KF8〇r (8 . OmmI. D. X 300mm)
[0167] 检测器:RI(差示折光计)
[0168] 数据处理:TOSOH CORPORATION制造的"GPC-8020型号II数据分析版本4.30"
[0169] 测定条件:柱溫度 40°C
[0170] 展开溶剂四氨巧喃(THF)
[017。 流速 1.0ml/分钟
[0172] 试样:用微型过滤器对W树脂固体成分换算计为1.0质量%的四氨巧喃溶液进行 过滤所得的物质(5μ1)。
[0173] 标准试样:依据前述"GPC-8020型号II数据分析版本4.30"的测定手册,使用分子 量已知的下述单分散聚苯乙締。
[0174] (单分散聚苯乙締)
[0175] TOSOH CORPORATION制造的 "Α-500-
[0176] TOSOH CORPORATION制造的 "Α-2500-
[0177] TOSOH CORPORATION制造的 "Α-5000-
[017引 TOSOH CORPORATION制造的'中-Γ
[0179] TOSOH CORPORATION制造的'中-2"
[0180] TOSOH CORPORATION制造的'中-4"
[0181] TOSOH CORPORATION制造的 "F-IO"
[0182] TOSOH CORPORATION制造的''F-2(T
[0183] <13C-NMR的测定条件>
[0184] 装置:日本电子株式会社制造的"Ak400"
[0185] 测定模式:SGNNE (消除NOE的1H完全去禪法)
[0186] 溶剂:二甲基亚讽
[0187] 脉冲角度:45°脉冲 [018引试样浓度:30wt%
[0189] 累计次数:10000次
[0190] <FD-MS谱的测定条件>
[0191] 使用日本电子株式会社制造的双聚焦型质谱仪"AX505H(FD50甜r进行测定。
[0192] 制造例巧圣基糞酪醒清漆中间体(1)的制造
[0193] 在安装有溫度计、冷却管、揽拌器的1L的四口烧瓶中投入1-糞酪144g(1.0摩尔)、 甲基异下基酬400g、水96g及92%多聚甲醒27.7g(0.85摩尔)。接着,边揽拌边添加调整为 50 %浓度的对甲苯横酸的水溶液4.8g。反应体系内的水的量相对于1 -糞酪100质量份为 69.9质量份。然后,边揽拌边升溫至80°C,反应2小时。反应结束后,将体系内的溶液转移到 分液漏斗中,从甲基异下基酬层分离去除水层。接着,进行水洗直至洗涂水显示中性为止, 然后在加热减压下去除甲基异下基酬,得到径基糞酪醒清漆中间体(1) 147g。将径基糞酪醒 清漆中间体(1)的GP村普图示于图1。用GPC测定的径基糞酪醒清漆中间体(1)的数均分子量 (Μη)为1765、重均分子量(Mw)为3337、多分散度(Mw/Mn)为1.890,径基糞酪醒清漆中间体 (1)中的单体成分的含量为0.49质量%,二聚体成分的含量为0.22质量%。
[0194] 制造例巧圣基糞酪醒清漆中间体(2)的制造
[0195] 在安装有溫度计、冷却管、分馈管、揽拌器的1L四口烧瓶中投入2,7-二径基糞160g (1.0摩尔)、甲基异下基酬4〇〇g、水96g及92%多聚甲醒27.7g(0.85摩尔)。接着,边揽拌边添 加调整为50 %浓度的对甲苯横酸的水溶液4.8g。反应系内的水的量相对于2,7-二径基糞 100质量份为62.9质量份。然后,边揽拌边升溫至80°C,反应2小时。反应结束后,将体系内的 溶液转移到分液漏斗中,从甲基异下基酬层分离去除水层。接着,进行水洗直至洗涂水显示 中性为止,然后在加热减压下去除甲基异下基酬,得到径基糞酪醒清漆中间体(2)165g。将 径基糞酪醒清漆中间体(2)的GP村普图示于图2。用GPC测定的径基糞酪醒清漆中间体(2)的 数均分子量(Μη)为1142、重均分子量(Mw)为1626、多分散度(Mw/Mn)为1.424,径基糞酪醒清 漆中间体(2)中的单体成分的含量为0.61质量%,二聚体成分的含量为1.79质量%。
[0196] 实施例1(改性径基糞酪醒清漆树脂的制造)
[0197] 在设置有冷却管的100ml双口烧瓶中投入前述制造例1中得到的径基糞酪醒清漆 中间体(1)6. Ig、二氨R比喃1.7g,使其溶解于1,3-二氧戊环30g。添加35wt%盐酸水溶液 O.Olg后,在25°C (室溫)下进行4小时反应。反应结束后,添加25wt%氨水溶液O.lg,将其注 入离子交换水lOOg中,使产物沉淀。将沉淀物在80°C、1.3kPa下进行减压干燥,得到W前述 结构式(1)所示的结构部位(I)作为重复单元的改性径基糞酪醒清漆树脂(1)5.9g。将改性 径基糞酪醒清漆树脂(1)的GP幻普图示于图3,将13C-醒R谱图示于图4。用GPC测定的改性径 基糞酪醒清漆树脂(1)的数均分子量(Μη)为1745,重均分子量(Mw)为3401,多分散度(Mw/ Μη)为1.95。改性径基糞酪醒清漆树脂(1)中的四氨化喃基与酪性径基的存在比率[(OX)/ (OH)]为23/77。前述结构部位(I)的重复数(相当于前述通式(2)中的η)平均为9.46。而且, 改性径基糞酪醒清漆树脂(1)中的单体成分的含量为0.33质量%,二聚体成分的含量为 0.64质量%。
[019引实施例2(同上)
[0199] 将实施例1中的二氨化喃1.7g变更为乙基乙締基酸1.4g,除此之外,与实施例1同 样地操作,得到W前述结构式(1)所示的结构部位(I)作为重复单元的改性径基糞酪醒清漆 树脂(2)5.8g。将改性径基糞酪醒清漆树脂(2)的GP幻普图示于图5。用GPC测定的改性径基糞 酪醒清漆树脂(2)的数均分子量(Μη)为1789、重均分子量(Mw)为3515、多分散度(Mw/Mn)为 1.97。改性径基糞酪醒清漆树脂(2)中的乙氧基甲基与酪性径基的存在比率[(0X)/(0H)]为 35/65。前述结构部位(I)的重复数(相当于前述通式(2)中的η)平均为9.46。而且,改性径基 糞酪醒清漆树脂(2)中的单体成分的含量为0.28质量%,二聚体成分的含量为0.66质量%。
[0200] 实施例3(同上)
[0201] 在设置有冷却管的100ml双口烧瓶中投入前述制造例1中得到的径基糞酪醒清漆 中间体(1 )6. Ig、二碳酸二叔下醋2.2g,使其溶解于1,3-二氧戊环30g。添加 Ξ乙胺0.1 g后, 在80°C下进行4小时反应。反应结束后,将反应物注入离子交换水lOOg中,将得到的沉淀物 在80°C、1.3kPa下进行减压干燥,得到W前述结构式(1)所示的结构部位(I)作为重复单元 的改性径基糞酪醒清漆树脂(3)6.2g。将改性径基糞酪醒清漆树脂(3)的GP村普图示于图6。 用GPC测定的改性径基糞酪醒清漆树脂(3)的数均分子量(Μη)为1784、重均分子量(Mw)为 3487、多分散度(Mw/Mn)为1.95。改性径基糞酪醒清漆树脂(3)中的叔下氧基幾基与酪性径 基的存在比率[(0X)/(0H)]为27/73。前述结构部位(I)的重复数(相当于前述通式(2)中的 η)平均为9.46。而且,改性径基糞酪醒清漆树脂(2)中的单体成分的含量为0.25质量%,二 聚体成分的含量为0.63质量%。
[0202] 实施例4(同上)
[0203] 将实施例1中的径基糞酪醒清漆中间体(1 )6. Ig变更为径基糞酪醒清漆中间体(2) 3.3g,除此之外,与实施例1同样地进行,得到W前述结构式(1)所示的结构部位(I)作为重 复单元的改性径基糞酪醒清漆树脂(4)2.9g。将改性径基糞酪醒清漆树脂(4)的GP村普图示 于图7。用GPC测定的改性径基糞酪醒清漆树脂(4)的数均分子量(Μη)为1110、重均分子量 (Mw)为1547、多分散度(Mw/Mn)为1.39。改性径基糞酪醒清漆树脂(4)中的四氨化喃基与酪 性径基的存在比率[(0X)/(0H)]为19/81。前述结构部位(I)的重复数(相当于前述通式(2) 中的η)平均为9.46。而且,改性径基糞酪醒清漆树脂(4)中的单体成分的含量为0.56质 量%,二聚体成分的含量为1.72质量%。
[0204] 实施例5(同上)
[0205] 将实施例2中的径基糞酪醒清漆中间体(1)6. Ig变更为径基糞酪醒清漆中间体(2) 3.3g,除此之外,与实施例2同样地进行,得到W前述结构式(1)所示的结构部位(I)作为重 复单元的改性径基糞酪醒清漆树脂(5)3. Ig。将改性径基糞酪醒清漆树脂(5)的GP村普图示 于图8。用GPC测定的改性径基糞酪醒清漆树脂(5)的数均分子量(Μη)为1134、重均分子量 (Mw)为1663、多分散度(Mw/Mn)为1.46。改性径基糞酪醒清漆树脂(5)中的乙氧基乙基与酪 性径基的存在比率[(0X)/(0H)]为24/76。前述结构部位(I)的重复数(相当于前述通式(2) 中的η)平均为4.70。而且,改性径基糞酪醒清漆树脂(5)中的单体成分的含量为0.97质 量%,二聚体成分的含量为1.64质量%。
[0206] 实施例6(同上)
[0207] 将实施例3中的径基糞酪醒清漆中间体(1)6. Ig变更为径基糞酪醒清漆中间体(2) 3.3g,除此之外,与实施例3同样地进行,得到W前述结构式(1)所示的结构部位(I)作为重 复单元的改性径基糞酪醒清漆树脂(6)3.Og。将改性径基糞酪醒清漆树脂(6)的GP村普图示 于图9。用GPC测定的改性径基糞酪醒清漆树脂(4)的数均分子量(Μη)为1173、重均分子量 (Mw)为1675、多分散度(Mw/Mn)为1.43。改性径基糞酪醒清漆树脂(6)中的叔下氧基幾基与 酪性径基的存在比率[(0X)/(0H)]为26/74。前述结构部位(I)的重复数(相当于前述通式 (2)中的η)平均为4.70。而且,改性径基糞酪醒清漆树脂(6)中的单体成分的含量为0.84质 量%,二聚体成分的含量为1.73质量%。
[0208] 制造例3〔比较对照用甲酪酪醒清漆中间体0- )的制造)
[0209] 在具备揽拌机、溫度计的化四口烧瓶中投入间甲酪648g(6摩尔)、对甲酪432g(4摩 尔)、草酸2.5g(0.2摩尔)、42%甲醒492g,使其升溫至100°C并进行反应。在常压下升溫至 200°C,进行脱水蒸馈,在230°C下进行6小时减压蒸馈,得到比较对照用甲酪酪醒清漆中间 体(r)736g。将比较对照用甲酪酪醒清漆中间体(Γ)的GP村普图示于图10。用GPC测定的比 较对照用甲酪酪醒清漆中间体(Γ)的数均分子量(Μη)为1450、重均分
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