专利名称：一种超声喷雾装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于化学气相沉积(CVD)镀膜前驱液的超声雾化器，尤其是用于浮法玻璃在线化学气相沉积工艺中的前驱液的雾化器。
背景技术：
目前，超声雾化装置通常使用投入式超声波雾化器，工作效率低，且前驱液通常具有一定的腐蚀性，直接接触前驱液容易损坏超声波雾化器，连续工作能力不强，使得这些装置在薄膜制备中的应用有很大的局限。如专利CN101077492A公开了一种超声波汽化器，能够将液体均匀的雾化，具有较高的气化效率。但是，该设备采用的是投入式超声波雾化器，超声波雾化器直接与腐蚀性的溶液接触，易被腐蚀，且在更换以及清洗方面会带来难度，且容易损坏。
发明内容本实用新型的目的在于解决现有技术中存在的连续工作能力不强、雾化效率低以及超声波雾化器易被腐蚀的问题。本实用新型的目的是通过以下技术手段予以实现的一种超声喷雾装置，包括雾化瓶和超声波雾化器，其特征在于设置一个装有液体的雾化水槽，雾化水槽中设有活动支架，活动支架上连接雾化瓶，超声波雾化器设置在雾化水槽内的底部，超声波雾化器与雾化瓶底部垂直对齐并相距一定距离，雾化瓶的一侧设有载气接口、另一侧设有气体出口，雾化瓶顶部设有进液口。在上述技术方案的基础上，可以有以下进一步的技术方案可活动支架由活动部和固定部构成，活动部下端设有滑块和限位槽，固定部设有滑槽和滚珠弹簧，滑块与滑槽滑动配合，限位槽与滚珠弹簧定位配合。所述雾化水槽内装有的液体是蒸馏水、乙醇等，能起到介质及冷却液的作用，可以保证超声波换能器长时间的工作。所述雾化瓶材料采用有机玻璃、玻璃、不锈钢等耐腐蚀材料。本实用新型的有益效果在于提高了连续工作能力和雾化效率，避免了前驱液对超声波雾化器的腐蚀，从一定程度上降低了超声波雾化器的受损率，且更换超声波雾化器时更便捷、安全。下面便结合附图说明和实施例对本实用新型进一步说明。
图I为本实用新型的结构示意图；图2为本实用新型的可活动支架零件的局部剖视示意图。
具体实施方式
[0014]如图I所示,一种超声喷雾装置设置一个雾化水槽6，雾化水槽中装有起到介质及冷却液的作用液体，且水槽底部内设有超声波雾化器7，超声波雾化器7的正上方设有耐腐蚀材料制成的雾化瓶5，雾化瓶5通过活动支架I固定在雾化水槽6，雾化瓶一侧设有载气接口 2，并与载气瓶通过相应阀门、管道连接，雾化瓶另一侧设有气体出口 4，雾化瓶顶部设有进液口 3，并与镀膜前驱液瓶通过相应阀门、管道连接。如图2所示，所述可活动支架上I由活动部Ia和固定部Ib构成，活动部Ia下端设有滑块8和限位槽8a，固定部Ib设有滑槽Ic和一组滚珠弹簧9，滑块8与滑槽Ic滑动配合，限位槽8a与滚珠弹簧9定位配合。通过调节可活动支架的升降，用来调节雾化瓶的雾化量。工作过程如下镀膜前驱液瓶中一定量的镀膜前驱液通过雾化瓶的进液口 3至雾化瓶5中，电源接通后，超声波雾化器7产生的能量通过雾化水槽6中的介质，使雾化瓶5内的前驱液雾化，载气瓶中的载气通过雾化瓶的载气口 2至雾化瓶5中，雾化的液体在载气的携带下经过雾化瓶的气体出口 4进入输送管道，并通过调节可活动支架I的升降来调节雾化瓶5到超声波雾化器7的距离，调节其雾化量。
权利要求1. 一种超声喷雾装置，包括雾化瓶(5)和超声波雾化器(J)，其特征在于设置一个装有液体的雾化水槽(6 )，雾化水槽(6 )中设有活动支架(I)，活动支架(I)上连接雾化瓶(5 )，超声波雾化器(7 )设置在雾化水槽(6 )内的底部，超声波雾化器(7 )与雾化瓶(5 )底部垂直对齐并相距一定距离，雾化瓶的一侧设有载气接口( 2)、另一侧设有气体出口(4)，雾化瓶顶部设有进液口(3)。
2.根据权利要求I所述的一种超声喷雾装置，其特征在于可活动支架(I)由活动部(Ia)和固定部(Ib)构成，活动部下端设有滑块(8)和限位槽(8a)，固定部(Ib)设有滑槽(Ic)和滚珠弹簧(9)，滑块(8)与滑槽(Ic)滑动配合，限位槽(8a)与滚珠弹簧(9)定位配入口 ο
专利摘要本实用新型涉及一种用于化学气相沉积镀膜前驱液的超声喷雾装置，包括雾化瓶(5)和超声波雾化器(7)，其特征在于包括装有液体的雾化水槽(6)，雾化水槽(6)内的底部设有超声波雾化器(7)，超声波雾化器(7)的正上方设有通过可活动支架(1)固定在雾化水槽中的雾化瓶(5)，雾化瓶一侧设有载气接口(2)，雾化瓶另一侧设有气体出口(4)，雾化瓶顶部设有进液口(3)。本实用新型的有益效果在于提高了连续工作能力和雾化效率，避免了前驱液对超声波雾化器的腐蚀，从一定程度上降低了超声波雾化器的受损率，且更换超声波雾化器时更便捷、安全。
文档编号B05B17/06GK202803504SQ201220484198
公开日2013年3月20日 申请日期2012年9月21日 优先权日2012年9月21日
发明者倪嘉, 王芸, 彭程, 彭小波, 王华文 申请人:蚌埠玻璃工业设计研究院, 中国建材国际工程集团有限公司