技术特征:

1.一种三氯化铁ITO刻蚀液配制系统,其特征是:包括混配罐(1)、溶解桶(2)和抽料循环泵(3),混配罐(1)的顶部设有第一进料口(5),溶解桶(2)的出料口通过抽料管(6)连接混配罐(1)顶部的第二进料口(7),抽料循环泵(3)的一端通过第一管道(8)连接混配罐(1)的底部,抽料循环泵(3)的出料端分别连接混配罐(1)的第二进料口和第二管道(9),第二管道(9)的输出端连接过滤灌装设备,在抽料循环泵(3)的出料端设置取样支路,在取样支路上设置取样阀(10)。

2.如权利要求1所述的三氯化铁ITO刻蚀液配制系统,其特征是:在所述混配罐(1)的中部连接第三管道(13),第三管道(13)分别连接抽料循环泵(3)的出料端管道和溶解桶(2)。

3.如权利要求1所述的三氯化铁ITO刻蚀液配制系统,其特征是:在所述溶解桶(2)的底部安装称重秤(4)。

4.如权利要求1所述的三氯化铁ITO刻蚀液配制系统,其特征是:在所述混配罐(1)上安装压力表(13)和液位计(14)。

5.如权利要求1所述的三氯化铁ITO刻蚀液配制系统,其特征是:在所述抽料管(6)、第一管道(8)和第二管道(9)上均设有阀体。

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