传送装置的制作方法

专利名称：传送装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及对电子元件或机械零件等工件进行搬送的传送装置，尤其涉及 在半导体制造流水线等的净化环境下、适于直接或由托板承载式对收容有与半导体相关的电子元件例如半导体用的基板等的专用容器(FOUP)等进行搬送的 传送装置。
背景技术：
在以往的半导体制造流水线中，已知有如下方法在将半导体用的基板(晶 片)搬送到各种处理工序(处理装置)时，将多个基板收容在专用的容器(FOUP)中，利用传送装置将该容器搬送。该容器为使内部维持净化环境而被密封。另 一方面，搬送容器的环境是在半导体的制造流水线内，故传送装置也相应要求 净化。已知有一种适用于这种半导体制造流水线的以往的传送装置，其具有由 驱动框架及支承框架构成的左右一对搬送框架；将左右一对搬送框架连接的连 接构件；配置在驱动框架上的多个轮子；使多个轮子联动并进行旋转驱动的环 形皮带；由对环形皮带进行旋转驱动的电动机等构成的驱动机构；在轮子上方 .部露出的状态下为了围住驱动机构而设在搬送框架上的外壳等(例如，日本特表 2003 —524544号公报)。但是，在该传送装置中，由于左右一对搬送框架在各自独立形成后用连接 构件结合，故零件个数多，且为确保左右搬送框架的平行度，必须高精度装配， 还必须调整因随时间产生的左右方向的平行度或水平度的下降，有导致高成本 的问题。另外，驱动机构尽管由外壳围住，但有因滑动部分等而发生的磨损粉 末、尘埃等从外壳向外部飞散而污染半导体制造流水线环境之虞，在未被外壳 围住的支承框架侧，也有因滑动发生的磨损粉末等直接飞散而污染半导体制造 流水线环境之虞。因此，为防止这些粉尘等飞散，若欲对该装置设置将磨损粉末、尘埃等主 动吸引的吸引单元，由于左右搬送框架各自独立，故必须分别设置吸引单元， 从而导致高成本化。另外，已知有以往的另一种传送装置，其具有左右一对搬送框架；将左右一对搬送框架连接的连接构件；各自两端转动自如地支承在左右一对搬送框 架上并沿搬送方向排列的多个滚轮；为将驱动力传动到多个滚轮一端侧而配置 在一方搬送框架上的驱动轴；由驱动传递皮带等构成的驱动机构；为收容驱动 机构而设在一方搬送框架侧的密闭壳体；将密闭壳体内发生的尘埃排气的管 道；由集尘过滤器和风扇等构成的排气单元等(例如日本特开平11一171336号公 报)。但是，在该传送装置中，多个滚轮被配置成完全露出的状态，设在对多个 滚轮另一端进行支承的另一方搬送框架上的轴承也处于露出的状态，故有从这 些区域发生的磨损粉末或尘埃等直接飞散而污染半导体制造流水线环境之虞。发明内容鉴于上述问题，本发明的目的在于提供这样一种传送装置可获得结构简 单化，各机构集约化，装置整体小型化，低成本化，生产性提高等，并可防止 在搬送动作中发生的磨损粉末、尘埃等飞散，又可容易地确保将壳体划定的左 右一对搬送框架的平行度及水平度，容易装配，特别适于半导体制造流水线等 的净化环境下使用。实现上述目的的本发明的传送装置包括将以一定宽度向被搬送物的搬送 方向伸长的左右一对间隙部划定的壳体；为承载搬送被搬送物而配置在左右一 对间隙部附近或邻接的区域并支承在壳体上的搬送体；为驱动搬送体而配置在 壳体内部空间的驱动机构；对内部空间进行吸引的吸引单元。采用该结构，当利用驱动机构驱动搬送体时，由搬送体承载的被搬送物向 由壳体划定的规定的搬送方向搬送。这里，间隙部形成规定宽度(即为形成空气 密封而尽可能狭窄的宽度)，当由吸引单元吸引壳体内的内部空间时，会发生通 过间隙部而从外部流入内部空间的气流。因此，搬送体附近(或驱动机构等的滑 动区域)所发生的磨损粉末、尘埃等随该气流而由吸引单元吸引，以防止向外部 飞散。其结果，即使在净化环境下使用该传送装置，也不会污染环境，可维持 所要求的净化度。在上述结构中，搬送体在壳体的内部空间被配置在左右一对间隙部的下方 附近，被搬送物可采用托板的结构，而该托板具有通过左右一对间隙部而插入 内部空间内并支承在搬送体上的脚部、以及由脚部支承并位于壳体外侧上方而 承载工件的承载部。采用该结构，承载部承载有工件的托板， 一边在稳定状态下将其脚離通过 左右一对间隙部而承载在位于间隙部下方附近(内部空间)的左右搬送体上一边 进行搬送。由此，可进行顺利而稳定的搬送，同时利用通过间隙部而从外部流入内部空间的下降气流，使搬送体周围发生的磨损粉末和尘埃等随该下降气流 由吸引单元吸入，防止向外部飞散。在上述结构中，托板可采用其脚部自由地插入、脱离左右一对间隙部的结构。采用该结构，由于通过间隙部可插入、脱离托板的脚部，故可容易进行托 板在该传送装置(搬送体)上的安装或拆卸。在上述结构中，壳体可采用如下结构，具有下侧壳体和上侧盖，所述下侧 壳体包含将向搬送方向伸长的左右一对搬送框架及一对搬送框架的下方连接 的面状框架，所述上侧盖从上方与面状框架相对而划定封闭的内部空间，同时 从左右方向内侧与一对搬送框架相对而划定左右一对间隙部。采用该结构，由于由下侧壳体的左右一对搬送框架和上侧盖划定左右一对 间隙部及内部空间，故通过适当调整上侧盖(的左右缘部)与左右一对搬送框架 的间隔，从而可容易地划定规定宽度的间隙部。在上述结构中，左右一对搬送框架及面状框架可釆用一体成形的结构。采用该结构，由于左右一对搬送框架及面状框架被一体成形，故不需要装 配作业，且通过一体成形而高精度地确保左右框架的平行度和水平度，故不需 要调整平行度和水平度，可降低制造成本及管理成本。在上述结构中，上侧盖可采用相对于下侧壳体形成装拆自如的结构。采用该结构，在定期进行维修保养时，通过卸下上侧盖，就可容易地进行 检査作业或清扫作业。在上述结构中，可釆用如下结构搬送体是沿搬送方向(前后方向)挂设并 配置在内部空间内的环形皮带，位于环形皮带上侧的上侧皮带被配置成从下方 与间隙部相对。采用该结构，环形皮带整体被收容在由下侧壳体及上侧盖划定的内部空间 内，被搬送物在通过上方间隙部并由上侧皮带承载的状态下沿前后方向搬送。 因此，适于使用具有以非接触通过间隙部的脚部的托板等对工件(例如电子元件 或收容有电子元件的容器等)进行搬送，且搬送体(环形皮带)及驱动机构全部收 容在内部空间，故能更可靠地防止所发生的磨损粉末或尘埃等向外部飞散。在上述结构中，可采用如下结构搬送体是沿搬送方向(前后方向)挂设并 具有配置在内部空间内的多个滚轮的滚子链，位于滚子链上侧的上侧链条从下 方与间隙部相对。采用该结构，滚子链整体被收容在由下侧壳体及上侧盖划定的内部空间内， 被搬送物在通过上方间隙部并承载在上侧链条(的多个滚轮)的状态下沿fl后方 向搬送。因此，适于使用具有以非接触通过间隙部的脚部的托板等对工件(例如电子 元件或收容有电子元件的容器等)进行搬送，且搬送体(滚子链)及驱动机构全部 被收容在内部空间，故能更可靠地防止所发生的磨损粉末或尘埃等向外部飞 散。由于搬送体是进行滚动的滚子链，故与滑动的场合相比可抑制磨损粉末等 发生，可与在间隙部发生的吸引作用一起而有效地防止尘埃等发生。此外，在将增速链条用于滚子链的场合，由于以滚轮的转速加上由驱动机 构搬送链条的速度的速度来搬送被搬送物，故能维持所要求的净化度并能以更 高速度搬送。在上述结构中，可采用如下结构搬送体是沿搬送方向(前后方向)挂设的 环形皮带，位于环形皮带上侧的上侧皮带配置在间隙部的附近。采用该结构，以露出状态将环形皮带的上侧皮带配置在间隙部的附近，并 将下侧皮带收容在由下侧壳体及上侧盖划定的内部空间，被搬送物在承载在露 出的上侧皮带上的状态下沿前后方向搬送。因此，与内部收容有上侧皮带并通 过托板等搬送工件的场合相比，搬送高度可降低承载工件的上侧皮带露出的那 一部分，可将装置小型化。另外，由于环形皮带(上侧皮带)配置在间隙部的附 近，故可抑制或防止上侧皮带附近发生的磨损粉末和尘埃等随间隙部发生的气 流流入内部空间而使磨损粉末或尘埃等飞散。在上述结构中，可采用如下结构搬送体是以非接触配置在间隙部区域的 多个滚轮，多个滚轮的上方部从间隙部突出到外侧以承载被搬送物。采用该结构，由于多个滚轮以非接触配置在间隙部区域且其上方部向外侧 突出，故被搬送物在由露出的滚轮上方部承载的状态下沿前后方向搬送，同时 在滚轮与划定间隙部的壳体的间隙中产生向内部的气流。因此，与完全收容滚 轮并通过托板等搬送工件的场合相比，搬送高度可降低承载工件的上侧皮带露 出的那一部分，可将装置小型化。在滚轮的周围，利用向内部的气流能可靠地 防止在内部空间所发生的磨损粉末或尘埃等向外部飞散。在上述结构中，可采用如下结构吸引单元包括在壳体左右方向大致中央 的下侧沿搬送方向(前后方向)排列设置的多个吸引口、以及与这些多个吸引口 连通的吸引通路。采用这种结构，在吸引由壳体划定的内部空间时，由于吸引口设在壳体下 侧，吸引通路与该吸引口连通，故可主动地发生从间隙部下降的气流。在上述结构中，可采用如下结构吸引单元包括在下侧壳体的左右方向大 致中央沿搬送方向(前后方向)排列设置的多个吸引口、以及与多个吸引口连通 的吸引通路。采用这种结构，在吸引由下侧壳体及上侧盖划定的内部空间时，由于吸引 口设在下侧壳体上，吸引通路与该吸引口连通，故即使卸下上侧盖，也可发生 被吸向下方的气流。由此，在卸下上侧盖进行维修保养的场合，通过使吸引单 元动作也可防止磨损粉末、尘埃等飞散。另外，由于多个吸引口在下侧壳体的 大致中央排列设置，故可防止发生淤积那样的区域，作为整体就连各个角落也 能有效地进行吸引。此外，由于只要设置一个发生吸引力的风扇等吸引机，故 可将吸引单元简单化及低成本化。在上述结构中，可采用如下结构在壳体上设有使被搬送物的一部分卡合 并沿搬送方向(前后方向)进行导向的导向部。采用该结构，在露出搬送体(例如环形皮带的上侧皮带、滚轮的上方部等) 的状态下，在承载被搬送物进行搬送的场合，通过用壳体的导向部对被搬送物 的一部分(例如从托板向下方突出形成的被导向部)进行导向，从而不会使被搬 送物偏开左右方向，能可靠地向前后方向搬送。如上所述，采用本发明的传送装置，可实现结构简单化，各机构集约化， 装置整体小型化，低成本化，生产性提高等，并可防止在搬送动作中发生的磨 损粉末、尘埃等飞散，又可容易地确保将壳体划定的左右一对搬送框架的平行 度及水平度，可容易地进行装配。


图l是表示本发明的传送装置的一实施形态的主视图。图2是图1所示的传送装置的俯视图。图3是图1所示的传送装置的搬送方向的部分剖视图。图4是图1所示的传送装置的与搬送方向成直角的方向的剖视图。图5是将图1所示的传送装置的框架结构分解表示的分解剖视图。图6是表示将托板作为被搬送物的变形例的、与搬送方向成直角的方向的传送装置的剖视图。图7是表示本发明的传送装置的另一实施形态，是其搬送方向的局部剖视图。图8是图7所示的传送装置的与搬送方向成直角的方向的剖视图。 图9是表示本发明的传送装置的又一实施形态的俯视图。 .图10是图9所示的传送装置的与搬送方向成直角的方向的剖视图。 图11是表示图9及图10所示的传送装置的变形例的剖视图。 图12是表示本发明的传送装置的又一实施形态的俯视图。 、 图13是图12所示的传送装置的与搬送方向成直角的方向的剖视图。图14是表示图12及图13所示的传送装置的变形例的剖视图。
具体实施方式
下面，参照

本发明的最佳实施形态。如图1至图5所示，本传送装置具有构成壳体一部分的下侧壳体10;构成 与下侧壳体10连接的壳体一部分的上侧盖20;收容在由下侧壳体10及上侧盖20划定的内部空间S中的作为搬送体的环形皮带30;驱动环形皮带30的驱动机构 40;为吸引内部空间S而与下侧壳体10连接的作为吸引单元的排气管道50及吸 引器60等。该传送装置，将收容有半导体用的基板的容器(FOUP)等工件W及承载有工 件W的托板P作为被搬送物进行搬送。这里，托板P如图1至图3所示，具有承载工件W的平面状的承载部P1;从承载部P1的左右两端向下方延伸出的脚部P2;与脚部P2的下端结合并承载在环形皮带30上的平板状的基部P3等。基部P3 也可一体形成为基部P2的一部分。下侧壳体10具有向前后方向X伸长的左右一对搬送框架11、 12、以及将一 对搬送框架ll、 12下方连接的面状框架13等。 一对搬送框架ll、 12及面状框架 13用铝材通过拉制成形而形成为一体。如图1所示，下侧壳体10的搬送方向(前后方向)X的端部根据需要安装有隔 壁14。在该传送装置直线排列使用的场合，隔壁14的端部封住，在该传送装置 环状排列使用时则不需要封住，以使其形成闭环。艮P，由于下侧壳体10—体成形，故与在分别成形搬送框架ll、搬送框架12、 面状框架13后进行装配的场合相比，不需要装配作业，且成形用的模具是高精 度，故搬送框架H、 12相互的平行度及水平度可确保高精度。由此减少零件个 数，不需要用于校正平行度和水平度的调整作业，可降低成本。如图4及图5所示，左右一对搬送框架ll、 12相对于中心线L构成对称的形 状，分别具有纵壁部lla、 12a;上端凸缘部llb、 12b;从纵壁部lla、 12a的 内侧途中突出而形成的上侧支承部llc、 12c;从纵壁部lla、 12a的下端向内侧 伸长形成的下侧支承部lld、 12d。这些纵壁部lla、 12a、上端凸缘部llb、 12b、上侧支承部llc、 12c及下侧 支承部lld、 12d分别形成为内部空心，以提高弯曲刚性即机械强度。该空心的 截面构成矩形或三角形，并形成为向进行拉制成形的方向(前后方向X)伸长。如图3至图5所示，在面状框架13上的左右方向Y的中央，通过后加工形成 有沿前后方向X排列的贯通上下方向Z的多个吸引口13a。在划定面状框架13的 内部空间S的上表面形成有将后述的上侧盖20的支柱24嵌合的多个嵌合 tl3b。这里，如图3及图4所示，在上侧支承部llc、 12c及下侧支承部Ud、 12d的 上表面，设置有滑动阻力小且耐磨损性优异的衬垫15，以滑动自如地支承环形 皮带30。如图4及图5所示，上侧盖20具有从左右方向Y的内侧与左右一对搬送框 架ll、 12的上端凸缘部llb、 12b相对的缘部21、 22;在上下方向Z与下侧壳体 10的面状框架13相对的凹状部23;与凹状部23的下表面结合的中空状的多个支 柱24等。两缘部21、 22及凹状部23用铝材通过拉制成形而形成为一体，并形成 为向搬送方向(前后方向)X伸长为面状同时左右方向Y的截面构成向下侧凹陷 的凹面状。并且，支柱24与该凹状部23的下表面结合，向前后方向X伸长的导 向构件25可装拆地安装在两缘部21、 22上。这里，由于上侧盖20形成为凹状，故可将与下侧壳体10共同划定的内部空 间S形成为必要的最小限度，可去除无用的空间，加强气流的流动，可提高对 于磨损粉末和尘埃等的吸引(排出)效率。导向构件25由树脂材料等形成，如图2及图4所示，与左右一对搬送框架 11、 12的上侧凸缘部llb、 12b共同(即壳体)，从而划定了向搬送方向(前后方 向)X伸长且沿左右方向Y构成规定宽度的左右一对间隙部G。艮P，在将上侧盖20装配在下侧壳体10上的状态下，导向构件25可调整其安 装位置(即嵌入深度)，故可适当调整间隙部G的宽度尺寸。另外，导向构件25 的作用是对由环形皮带30(后述的上侧皮带31)承载搬送的作为被搬送物一部 分的托板P脚部P2在限制其左右偏向的曲折形前进动作的同时能可靠地沿前后 方向(搬送方向)进行导向。并且，如图5所示，上侧盖20通过支柱24嵌合在嵌合孔13b中而装拆自如地 与下侧壳体10结合。如此，通过上侧盖20相对于下侧壳体10形成装拆自如，从 而在进行定期维修保养时，通过卸下上侧盖20，就可容易地进行检查作业或清 扫作业。作为搬送体的环形皮带30如图3及图4所示，完全被收容在内部空间S中并配 置成位于间隙部G的下方附近，利用后述的驱动带轮41及被动带轮(未图示)而被 挂设在搬送方向(前后方向)X上。并且，上侧皮带31滑动自如地被支承在搬送框 架ll、 12的上侧支承部llc、 12c(衬垫15)上并配置成与间隙部G相对，将通过间 隙部G而进入的托板P的脚部P2(及基部P3)承载并进行运送移动。另外，下侧皮 带32滑动自如地被支承在搬送框架11、 12的下侧支承部lld、 12d(衬垫15)上进 行返回移动。如图1及图3所示，驱动机构40配置在由下侧壳体10及上侧壳体20划定的内 部空间S内并被保持在下侧壳体10中，其具有为将驱动力传至左右环一形皮带30而通过旋转轴41a连接成一体的左右一对驱动带轮41、电动机42、夹在电动机 42与驱动带轮41之间的传动皮带43等。艮口，当电动机42旋转时，驱动带轮41通过传动皮带43而旋转，环形皮带30 旋转，将承载有工件W的托板P沿前后方向X进行搬送。也可不用旋转轴41a，而用各自的电动机42驱动左右的驱动带轮41。排气管道50如图1、图3至图5所示，分别与设在下侧壳体10上的多个吸引口 13a连通且其下游侧划定一个吸引通路50a并与吸引器60连接。作为吸引器60，只要是进行内部空间S吸引、在间隙部G发生从外侧向内部 的气流结构，则可采用风扇、泵或其它机构。下面说明该传送装置的动作，当电动机42旋转、通过传动皮带43及驱动带 轮41而使环形皮带30走动时，承载在上侧皮带31上的被搬送物(托板P及工件W) 沿左右一对搬送框架ll、 12而向前后方向X搬送。这里，在该搬送动作中，吸引器60进行动作，当对由下侧壳体10和上侧盖 20划定的内部空间S的空气进行吸引时，如图4中箭头所示发生通过各自间隙部 G而从外部流入内部空间的下降气流，可形成气密封。因此，在与承载托板P 的环形皮带3的接触区域或驱动机构40等的滑动区域所发生的磨损粉末和尘埃 等随该下降气流而从吸引口13a经吸引通路50a向设于半导体制造流水线外部的 规定的排气口排出，可防止从传送装置向外部飞散。其结果，即使该传送装置 用于净化环境下，也不会污染该环境，可维持所要求的净化度。这里，尤其由于将环形皮带30及驱动机构40全部收容在内部空间S内并将环 形皮带30配置在间隙部G的下方附近，故通过使经间隙部G流入的下降气流主动 地流过环形皮带30的区域，从而能可靠地防止所发生的磨损粉末或尘埃等向外 部飞散。另外，由于在下侧壳体10的大致中央排列设置有多个吸引口13a，故可防止 在内部空间S内发生淤积那样的区域，作为整体就连各个角落也能有效地进行 吸引，且因只需设置一个发生吸引力的风扇等吸引器60，故可将装置简单化和 低成本化。此外，由于吸引口 13a设在下侧壳体10上，吸引通路50a与该吸引口 13a连通， 故即使将上侧盖20卸下，也可发生被吸到下方的气流。因此，在停止搬送动作、卸下上侧盖20进行维修保养的场合，通过使吸引 器60动作也可防止磨损粉末、尘埃等飞散。另外，在维修保养中，由于下侧壳 体10成形为一体，故不必调整左右搬送框架ll、 12的平行度和水平度，从而可 将维修保养作业简单化。其结果，即使将该传送装置用于净化环境下，也不会污染该环境，可维持所要求的净化度。图6表示对适用于上述传送装置的作为被搬送物的托板P—部分进行变更后 的实施形态。在该实施形态中，托板P如图6所示，具有承载工件W的平面状的承载部P1;从承载部P1的左右两端向下方延伸出并通过间隙部G进入内部空间S的脚部 P2;与该脚部P2结合并承载在环形皮带30上的大致相同宽度的基部P'等。这里，基部P3'的宽度比间隙部G更狭窄，基部P2(及基部P3')形成为相对 于各自的间隙部G自由地插入、脱离。因此，可通过间隙部G插入或脱离托板P 的脚部P2，可容易地进行在该传送装置(搬送体)上的托板P的安装或卸下。图7及图8表示本发明的传送装置的另一实施形态，作为搬送体采用滚子链 即加速链条130，除了对搬送框架的一部分进行变更以外，其它结构与前述的 实施形态相同，因此，对于相同结构，标上相同符号而省略说明。艮P，在该传送装置中，如图7及图8所示，在由下侧壳体10'及上侧盖20划 定的内部空间S内，配置有加速链条130及其驱动机构40'。加速链条130由如下构件形成相互连接的多个板130a;将板130a之间连接 的多个销130b;转动自如地支承在销130b上的小径的多个滚轮130c;与滚轮130c 同轴配置的大径的多个滚轮130d。这里，大径滚轮130d形成为利用摩擦力而与 小径滚轮130c—起旋转，当超过规定水平的负荷施加在滚轮130d上时，滚轮130d 停止后仅滚轮130c旋转。加速链条130如图7及图8所示，完全被收容在内部空间S内并配置成位于间 隙部G的下方附近，利用后述的驱动链轮41'及被动链轮(未图示)被挂设在搬送 方向(前后方向)X上。并且，上侧链条131的滚轮130c滚动自如地支承在搬送框架11' 、 12' 的上侧支承部llc' 、 12'上，且滚轮130d配置成从下方与间隙部G相对，将 通过间隙部G进入的托板P的脚部P2(及基部P3)承载并进行运送移动。另外， 下侧链条132的滚轮130c'滚动自如地支承在搬送框架11， 、 12'的下侧支承 部lld' 、 12d'上，且滚轮130d也一体地进行返回移动。如图7及图8所示，驱动机构40'配置在内部空间S内并保持在下侧壳体IO 上，并具有为将驱动力传递至左右加速链条130而通过旋转轴41a连接成一体的 左右一对驱动链轮41'、电动机42、传动皮带43等。因此，当电动机42旋转时，驱动链轮41'通过传动皮带43而进行旋转，加 速链条130进行旋转移动，上侧链条131的滚轮130d—边滚动一边将所承载的被 搬送物(承载有工件W的托板P)沿前后方向X搬送。这里，以滚轮130d的转速加 上利用驱动机构40'搬送加速链条130的速度的速度来搬送被搬送物(承载有工件W的托板P)，可进行更高速度的搬送。在该实施形态中，由于加速链条130及驱动机构40'全部被收容在内部空间 S内，且加速链条130配置在间隙部G的下方附近，故通过使经间隙部G流入的 下降气流主动地流过加速链条130的区域，从而能更可靠地防止所发生的磨损 粉末或尘埃等向外部飞散。在图7及图8所示的实施形态中，也可应用前述图6所示的基部P3'宽度狭窄 的托板P。图9及图10表示本发明的传送装置的又一实施形态，除了对下侧壳体10"及 上侧盖20"、环形皮带30'的配置等进行变更外，其它结构与前述的图1至图5所 示的实施形态相同。因此，对于相同结构，标上相同符号而省略说明。在该传送装置中，如图9及图10所示，下侧壳体10"具有向搬送方向(前后方 向)X伸长的左右一对搬送框架11"、 12"以及将一对搬送框架11"、 12"的下方 连接的面状框架13等。左右一对搬送框架ll"、 12"如图9及图10所示，相对中 心线L构成对称的形状，并分别具有纵壁部lla、 12a、上侧支承部llc"、 12c，'、 下侧支承部lld、 12d等。如图9及图10所示，上侧盖20"的内部形成为空心，可提高弯曲刚性即机械 强度。该空心的截面构成矩形或三角形，并向进行拉制成形的方向(前后方向 X)伸长。该上侧盖20，，具有从左右方向Y的内侧与左右一对搬送框架11"、 12"的上 侧支承部llc"、 12c"相对的支承部21"、 22"、凹状部23、支柱24等。并且，当上侧盖20"与下侧壳体10"结合时，如图9所示，上侧支承部Uc" 与支承部21"之间及上侧支承部12c"与支承部22"之间就划定了向被搬送物(工 件W)的搬送方向X伸长的规定宽度的间隙部G。如图9及图10所示，环形皮带30'以上侧搬送移动的上侧皮带3r露出在外部 的状态滑动自如地支承在上侧支承部llc"、 12c"及支承部21"、 22"上，艮口， 配置成从上方与间隙部G邻接(接触)的状态，下侧返回移动的下侧皮带32'在内 部空间S内滑动自如地支承在下侧支承部lld、 12d上。采用该实施形态，作为被搬送物的工件W以被承载在所露出的上侧皮带31' 上的状态沿前后方向X搬送。因此，通过使上侧皮带31'露出而直接承载工件W, 则与如前述图4所示的实施形态那样将上侧皮带31收容在内部而通过脚部P2来 进行承载的场合相比，可使搬送高度降低脚部P2那样的高度，可将装置小型化。另外，环形皮带30'(上侧皮带31')处于邻接状态以将间隙部G封住，可防止 磨损粉末、尘埃等从该区域向外部飞散。另一方面，在未承有工件W(不受到负 荷)的区域，虽然有时在环形皮带30'与划定间隙部G的上侧支承部ll、c"、 12c"及支承部21"、 22"之间会发生微小间隙的情况，但吸引器60发生向内部空间S 的下降气流，故能可靠地防止内部空间S内发生的磨损粉末或尘埃等向外部飞 散。图11是对图9及图10所示的传送装置的下侧壳体及上侧盖的一部分予以变 更后的视图。作为被搬送物，适合使用工件W及托板P'，托板P'具有承载部P1 和作为被导向部的脚部P2。艮P，在该传送装置中，如图11所示，下侧壳体10"，具有向搬送方向(前后方 向)X伸长的左右一对搬送框架11"'、 12"'、以及将一对搬送框架ll"'、 12"'的 下方连接的面状框架13等。左右一对搬送框架ll'"、 12'"相对于中心线L构成对称的形状，并分别具 有纵壁部lla、 12a;上侧支承部llc'"、 12c，，，;下侧支承部lld、 12d;以及 在上侧支承部llc"'、 12c'"的大致中央沿搬送方向(前后方向)X排列的多个圆孔 lle，"、 12e，，，等。上侧盖20，，具有从左右方向Y的内侧与左右一对搬送框架11"，、 12，，，的上侧 支承部llc'"、 12c'"相对而划定间隙部G的缘部21'"、 22"'、凹状部23、支柱 24等。并且，左右一对搬送框架ll，"、 12，"的上侧支承部llc"，、 12c"，的内侧面 起到了使托板P'(被搬送物的一部分)的脚部P2卡合并对其沿搬送方向(前后方向 X)进行导向的左右一对导向部的功能。采用这种结构，在将承载有工件W的托板P'放置在环形皮带30'的上侧皮带 31，上进行搬送的场合，由于作为导向部的左右上侧支承部llc'"、 12c'"的内侧 面对脚部P2进行导向，故被搬送物(工件W及托板P')不会偏开左右方向Y而能可 靠地沿前后方向X搬送，同时，由于发生从间隙部G流入内部空间S的空气流， 故可防止所发生的磨损粉末、尘埃等的飞散。另外，因上侧皮带31'的滑动所发 生的磨损粉末等通过圆孔lle，"、 12e'"而被吸入内部空间S内，可防止向外部 飞散。在上述图9至图11所示的实施形态中，由搬送框架ll，'、 11"'、 12"、 12'" 直接支承环形皮带30'，但也可如前述那样通过衬垫15进行支承。图12及图13表示本发明的传送装置的又一实施形态，除了对下侧壳体IIO 及上侧盖120进行变更、采用作为搬送体的进行联动的多个滚轮230以外，其它 与前述的图9及图10所示的实施形态基本相同。因此，对于相同的结构，标上 相同的符号而省略说明。在该传送装置中，如图12及图13所示，下侧壳体110具有向搬送方向(前后 方向)X伸长的左右一对搬送框架lll、 112、以及将一对搬送框架lll、 112的下方连接的面状框架13等。如图12及图13所示，左右一对搬送框架lll、 112相对于中心线L构成对称 的形状，并分别具有纵壁部lla、 12a、上端凸缘部lllc、 112c等。如图12及图13所示，上侧盖120具有从左右方向Y的内侧与左右一对搬送框 架lll、 112的上端凸缘部lllc、 112c相对的缘部121、 122、凹状部23、支柱24等。并且，当上侧盖120与下侧壳体110结合时，如图12所示，在上端凸缘部lllc 与缘部121之间及上端凸缘部U2c与缘部122之间就被划定了呈规定宽度的左右 一对间隙部G。如图12及图13所示，多个滚轮230转动自如地支承在设于左右一对搬送框架 111、112的上端凸缘部lllc、112c内侧壁的支轴上，并在沿搬送方向(前后方向)X 排列的同时，以非接触配置在各自的间隙部G的区域。并且，多个滚轮230的上 方部从间隙部G向外侧(上方)突出以承载作为被搬送物的工件W。这里，为使多个滚轮230互相联动以及为了与各自的滚轮230同轴地一体旋 转，又在直径比滚轮230小的带轮或链轮(未图示)上挂设有链条或皮带等(未图 示)，通过由前述的驱动机构40、 40'等对一个滚轮230赋予旋转驱动力，从而使 全部滚轮230旋转。采用本实施形态，由于多个滚轮230以非接触地且其上方部向外侧突出地配 置在间隙部G的区域，故工件W以承载在所露出的滚轮230上方部的状态而沿前 后方向X搬送，且在滚轮230周围所形成的间隙中产生向内部的气流。艮P，采用该传送装置，与完全收容滚轮230的场合相比，可使搬送高度降低 露出滚轮230上方部那样的高度，可将装置小型化。另外，在滚轮230的周围， 由于由吸引器60产生向内部的气流，故能可靠地防止内部空间S内发生的磨损 粉末或尘埃等向外部飞散。图14是对图12及图13所示的传送装置的上侧盖一部分进行变更后的视图。 作为被搬送物，适合使用工件W及托板P'。即，如图14所示，在该传送装置中， 使托板P'(被搬送物的一部分)的脚部P2与上侧盖120'卡合，并一体设置有沿搬送 方向(前后方向)X进行导向的左右一对导向部126'。采用这种结构，在用滚轮230搬送承载有工件W的托板P'的场合，由于上侧 盖120'的导向部126'对脚部P2进行导向，故被搬送物(工件W及托板P')不会偏开 左右方向Y，能可靠地沿前后方向X搬送。在上述实施形态中，表示了划定左右一对间隙部的壳体由下侧壳体IO、 10'、 10"、 10"，、 110和上侧盖20、 20"、 20，，，、 120、 120'形成的情况，但并不限于 此，也可将金属板等进行成形而形成为一体，以划定一对间隙部及内幽空间。在上述实施形态中，表示了将相对于左右一对间隙部G而在壳体的大致中央设置多个吸引口13a和吸引通路50a作为对壳体内进行吸引的吸引单元的情 况，但并不限于此，也可与左右间隙部G对应地分别设置多个吸引口和吸引通 路，且也可与左右间隙部G对应，在中央将壳体的内部空间隔开形成2个内部空 间，设置上述吸引单元(多个吸引口及吸引通路)以对各自的内部空间进行吸弓l。在上述实施形态中，说明了单一的传送装置，但并不限于此，可将上述的 传送装置作成一个单元，排列多个进行使用，在半导体制造流水线等中，也可 曲折形地连接使用，或者也可形成循环的搬送路地排列成环状进行使用。在上述实施形态中，作为搬送体的滚子链表示了加速链条，但并不限于此， 也可采用不用增速(加速)机构的通常的滚子链。如上所述，本发明的传送装置，只要是必须在净化的环境下对被搬送物进 行搬送的领域，当然包括半导体制造领域，在其它电子元件等制造流水线或精 密机械等制造流水线等领域也是适用的。
权利要求
1. 一种传送装置，其特征在于，包括将以一定宽度向被搬送物的搬送方向伸长的左右一对间隙部划定的壳体；为承载和搬送被搬送物而配置在所述左右一对间隙部附近或邻接的区域并支承在所述壳体上的搬送体；为驱动所述搬送体而配置在所述壳体内部空间的驱动机构；对所述内部空间进行吸引的吸引单元。
2. 如权利要求1所述的传送装置，其特征在于，所述搬送体在所述壳体的内 部空间被配置在所述左右一对间隙部的下方附近，所述被搬送物是托板，该托板具有通过所述左右一对间隙部而插入所述内 部空间内并支承在所述搬送体上的脚部、以及由所述脚部支承并位于所述壳体 外侧上方而承载工件的承载部。
3. 如权利要求2所述的传送装置，其特征在于，所述托板采用所述脚部自由 地插入、脱离所述左右一对间隙部的结构。
4. 如权利要求1所述的传送装置，其特征在于，所述壳体具有下侧壳体和上 侧盖，所述下侧壳体包含将向所述搬送方向伸长的左右一对搬送框架及将一对 搬送框架的下方连接的面状框架，所述上侧盖从上方与所述面状框架相对而划 定封闭的所述内部空间，同时从左右方向内侧与所述一对搬送框架相对而划定 所述左右一对间隙部。
5. 如权利要求4所述的传送装置，其特征在于，所述左右一对搬送框架及面 状框架一体成形。
6. 如权利要求4所述的传送装置，其特征在于，所述上侧盖相对于所述下侧 壳体形成装拆自如。
7. 如权利要求1所述的传送装置，其特征在于，所述搬送体是沿所述搬送方 向挂设并配置在所述内部空间内的环形皮带，位于所述环形皮带上侧的上侧皮带配置成从下方与所述间隙部相对。
8. 如权利要求1所述的传送装置，其特征在于，所述搬送体是沿所述搬送方 向挂设并具有配置在所述内部空间内的多个滚轮的滚子链，位于所述滚子链上侧的上侧链条配置成从下方与所述间隙部相对、
9. 如权利要求1所述的传送装置，其特征在于，所述搬送体是沿所述搬送方 向挂设的环形皮带，位于所述环形皮带上侧的上侧皮带配置在所述间隙部的附近。
10. 如权利要求1所述的传送装置，其特征在于，所述搬送体是以非接触配 置在所述间隙部的区域的多个滚轮，所述多个滚轮的上方部从所述间隙部向外侧突出以承载被搬送物。
11. 如权利要求l所述的传送装置，其特征在于，所述吸引单元包括在所述 壳体的左右方向大致中央的下侧沿所述搬送方向排列设置的多个吸引口 、与所 述多个吸引口连通的吸引通路。
12. 如权利要求4所述的传送装置，其特征在于，所述吸引单元包括在所述下侧壳体的左右方向大致中央沿所述搬送方向排列设置的多个吸引口、与所述 多个吸引口连通的吸引通路。
13. 如权利要求l所述的传送装置，其特征在于，在所述壳体上设有使被搬 送物的一部分卡合并沿搬送方向对其进行导向的导向部。
全文摘要
一种传送装置，包括将以一定宽度向被搬送物的搬送方向伸长的左右一对间隙部划定的壳体；为承载搬送被搬送物而配置在左右一对间隙部附近或邻接的区域并支承在壳体上的搬送体；为驱动搬送体而配置在壳体内部空间的驱动机构；对内部空间进行吸引的吸引单元。采用本发明，当由吸引单元吸引壳体内的内部空间时，会发生通过间隙部而从外部流入内部空间的气流，配置在间隙部下方附近的搬送体的附近等所发生的磨损粉末和尘埃等随该气流吸入，以防止向外部飞散。
文档编号B65G17/00GK101269748SQ20071008975
公开日2008年9月24日 申请日期2007年3月23日 优先权日2007年3月23日
发明者平田耕也 申请人:平田机工株式会社