专利名称：一种硅片传输机器人的制作方法
技术领域：
本发明涉及在半导体集成电路生产线设备制造领域内，一种特殊结构的硅片传输机器人，用于完成特殊位置的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径过大而不能及、且行走轨迹较为复杂时，采用本发明的特殊结构的硅片传输机器人，能够简化R轴的工作路径和行走轨迹，化简程序编制的难度及工作量，并能有效的提高工作效率。
背景技术：
对于硅片传输机器人来说，有时取放硅片的位置比较特别。尤其是工艺性能比较先进的集成电路生产线，在每一工位位置中完成的工步数量越来越多，这就意味着在每一个工位上，硅片传输机器人取放硅片的位置越来越多，取放硅片的空间越来越大，FORK组合的工作轨迹越来越复杂。在这种工作环境下，仅利用传统的R轴来完成工作流程将非常困难甚至是不可能的。此时采用本发明的特殊结构的硅片传输机器人，能够增加R轴的输送半径，简化R轴的工作路径和行走轨迹，化简程序编制的难度及工作量，并能有效的提高工作效率。特殊结构的硅片传输机器人的特殊之处，在于其R轴与传统意义上的R轴有本质上的不同。本发明中的R轴由左右固定臂和活动臂及取片臂组成，各个臂之间没有复杂的传动关系，而是由各自的伺服电机、传动丝杠与传动丝母独立组成，由计算机独立控制其工作状态；整个R轴系统安装在上盖板的上端面。上盖板随T轴旋转，通过铺设在上盖板上表面的导轨滑块机构定位，以伺服电机带动丝杠丝母机构作为驱动装置，驱动左右活动臂分别前后平移；而左右活动臂上也铺设导轨滑块机构定位，以伺服电机带动丝杠丝母机构作为驱动，驱动左右取片臂分别前后平移，带动左右FORK组合分别进行前后平移；以上Z轴的升降、T轴的旋转、R轴固定臂、活动臂的平移，叠加成FORK组合的工作轨迹，以完成大直径空间的多工步取放硅片工作流程。
发明内容
本发明的目的在于提供一种硅片传输机器人，用于完成大直径空间、多工步的取放硅片工作流程。特殊结构的硅片传输机器人的R轴由左右固定臂和活动臂及取片臂组成，各个臂之间没有复杂的传动关系，而是由各自的伺服电机、传动丝杠与传动丝母独立组成，由计算机独立控制其工作状态。通过Z轴的升降、T轴的旋转、R轴固定臂、活动臂的平移，叠加成FORK组合的工作轨迹，以完成大直径空间的多工步取放硅片工作流程。本发明的发明目的实现过程为一种特殊结构的硅片传输机器人包括机箱组合、Z 轴传动支撑机构、τ轴旋转机构、R轴左右固定臂机构、R轴左右活动臂机构、R轴左右取片臂及FORK组合机构，其中机箱组合包括机箱内衬套组合76、机箱内衬套门组合77 ；Z轴传动支撑机构包括Z轴上电子限位挡片38、三角支撑滑块42、Z轴丝杠轴承 44、Z轴传动丝杠45、Z轴传动丝母46、上定位座48、Z轴电机联轴器50、Z轴电机驱动模块组合51、支撑花键轴52、Z轴下电子限位挡片组合53、Z轴下电子限位光电传感器54、Z轴上电子限位传感器阳、下安装座67 ；T轴旋转机构包括T轴大臂轴39、Τ轴谐波减速器40、Τ轴电机组合41、Τ轴编码器43、T轴联接盘47;R轴左右固定臂机构包括R轴右固定臂丝杠轴承25、R轴右固定臂前端限位光电传感器^KR轴右固定臂前端支撑27、R轴右固定臂滑座^、R轴右固定臂前端电子限位挡片^KR轴右固定臂后端电子限位挡片30、R轴右固定臂传动丝母31、R轴右固定臂导轨滑块32、R轴右固定臂定位导轨33、R轴右固定臂传动丝杠34、R轴右固定臂后端电子限位光电传感器35、R轴右固定臂电机安装板36、R轴右固定臂伺服电机37、R轴随动机箱49、R 轴右固定臂导轨定位钢棒56、机顶定位盖板组合57、R轴左固定臂导轨定位钢棒58、R轴左固定臂传动丝杠59、R轴左固定臂伺服电机60、R轴左固定臂电机安装板61、R轴左固定臂定位导轨62、R轴左固定臂导轨滑块63、R轴左固定臂后端电子限位光电传感器64、R轴左固定臂传动丝母65、R轴左固定臂滑座66、R轴左固定臂后端电子限位挡片68、R轴左固定臂前端电子限位挡片69、R轴左固定臂丝杠轴承70、R轴左固定臂前端支撑71、R轴左固定臂前端电子限位光电传感器72 ；R轴左右活动臂包括R轴左活动臂前端支撑4、R轴左活动臂前端电子限位光电传感器5、R轴左活动臂前端电子限位挡片6、R轴左活动臂丝杠轴承7、R轴左活动臂传动丝母8、R轴右活动臂前端支撑9、R轴右活动臂丝杠轴承10、R轴右活动臂前端电子限位挡片12、R轴右活动臂前端电子限位光电传感器13、R轴右活动臂传动丝母14、R轴右活动臂导轨滑块16、R轴右活动臂传动丝杠17、R轴右活动臂定位导轨18、R轴右活动臂滑座19、 R轴右活动臂后端电子限位挡片20、R轴右活动臂电机安装板21、R轴右活动臂后端电子限位光电传感器22、R轴右活动臂伺服电机23、R轴右活动臂臂体M、R轴左活动臂伺服电机 73、R轴左活动臂电机安装板74、R轴左活动臂后端电子限位光电传感器75、R轴左活动臂传动丝杠78、R轴左活动臂导轨滑块79、R轴左活动臂臂体80、R轴左活动臂定位导轨81、 R轴左活动臂后端电子限位挡片82、R轴左活动臂滑座83、R轴左活动臂定位导轨定位钢棒 84、R轴右活动臂导轨定位钢棒85 ；R轴左右取片臂及FORK组合机构包括F0RK组合1、R轴左取片臂气路管接头2、 R轴左取片臂臂体3、R轴右取片臂气路管接头11、R轴右取片臂臂体15。特殊结构的硅片传输机器人整体结构为以Z轴传动支撑机构为机体的主支撑， 支撑整机重量及R轴悬臂的力矩，并为T轴机构与R轴机构提供沿Z轴上下移动的驱动与定位。T轴旋转机构安装于Z轴传动支撑机构之上，为R轴提供沿T轴中心旋转的驱动与定位。R轴机构整体安装在机顶定位盖板组合57上，通过定位与驱动装置，使活动左右臂前后平移运动；而活动左右臂又通过安装的定位与驱动装置，使左右取片臂带动FORK组合作前后移动，最终完成规定的工作轨迹。机箱组合由机箱内衬套组合76、机箱内衬套门组合77构成，安装于Z轴传动支撑机构的下安装座67上，只在机构中起隔绝作用。在Z轴传动支撑机构中，三根支撑花键轴52下端安装于下安装座67上，上端安装在上定位座48上，构成整机的支撑。三角支撑滑块42安装在三根支撑花键轴52上，并由三根支撑花键轴52提供沿Z轴上下移动的定位；三角支撑滑块42的中心孔内，用于安装T 轴旋转机构的部件；Z轴电机驱动模块组合51安装在下安装座67上，通过Z轴电机联轴器50、Z轴传动丝杠45、Z轴传动丝母46、Z轴丝杠轴承44与上定位座48相连接，构成Z轴驱动装置驱动路径的定位；Z轴传动丝母46通过螺栓紧固于三角支撑滑块42的安装孔内，使 Z轴驱动装置通过三角支撑滑块42，完成对T轴机构与R轴机构的驱动。在T轴旋转机构中，T轴电机组合41、T轴谐波减速器40通过螺栓紧固在Z轴传动支撑机构的三角支撑滑块42的中心孔内，T轴大臂轴39的下端通过定位止口，安装在T 轴谐波减速器40的输出端；T轴大臂轴39的上端，通过定位止口与T轴联接盘47相联接； 当T轴电机组合41通电运行时，T轴联接盘47可得到经过一定的传动比减速后的转速传给R轴机构；T轴编码器43安装于T轴电机组合41的后轴端，当T轴电机组合41通电运行时，T轴编码器43开始向控制计算机反馈T轴电机组合41的运行参数，以完成控制计算机对T轴电机组合41的控制。在R轴左右固定臂机构中，机顶定位盖板组合57通过定位止口与T轴旋转机构中的T轴联接盘47联接，并以螺栓紧固；R轴随动机箱49也以螺栓紧固在机顶定位盖板组合 57上；因此，机顶定位盖板组合57与R轴随动机箱49同时随T轴进行旋转，并带动R轴机构同时旋转；机顶定位盖板组合57上表面的凹槽内，安装有R轴右固定臂定位导轨33、R轴左固定臂定位导轨62、并以R轴右固定臂导轨定位钢棒56、R轴左固定臂导轨定位钢棒58、 进行侧向靠紧定位；在R轴右固定臂定位导轨33上，安装有四个R轴右固定臂导轨滑块32， 滑块上安装有R轴右固定臂滑座观；在R轴左固定臂定位导轨62上，安装有四个R轴左固定臂导轨滑块63，滑块上安装有R轴左固定臂滑座66 ；在机顶定位盖板组合57的后端定位槽内，安装有R轴右固定臂电机安装板36、R轴左固定臂电机安装板61 ;R轴右固定臂伺服电机37通过定位凸缘，以螺钉安装在R轴右固定臂电机安装板36上；R轴左固定臂伺服电机60通过定位凸缘，以螺钉安装在R轴左固定臂电机安装板61上；将R轴右固定臂传动丝母31的螺纹旋入R轴右固定臂传动丝杠34的螺纹，使R轴右固定臂传动丝杠34 —端的凹孔套入R轴右固定臂伺服电机37的电机轴，以紧定螺钉固定；将R轴右固定臂传动丝杠34 的另一端安装R轴右固定臂丝杠轴承25，并以R轴右固定臂前端支撑27装入轴承外环，然后将R轴右固定臂前端支撑27以螺栓安装在机顶定位盖板组合57的前端面上；将R轴左固定臂传动丝母65的螺纹旋入R轴左固定臂传动丝杠59的螺纹，使R轴左固定臂传动丝杠59的一端的凹孔套入R轴左固定臂伺服电机60的电机轴，以紧定螺钉固定；将R轴左固定臂传动丝杠59的另一端安装R轴左固定臂丝杠轴承70，并以R轴左固定臂前端支撑71 装入轴承外环，然后将R轴左固定臂前端支撑71以螺栓安装在机顶定位盖板组合57的前端面上；将R轴右固定臂传动丝母31通过螺钉与R轴右固定臂滑座观联接，使其可沿R轴右固定臂定位导轨33前后平移；将R轴左固定臂传动丝母65通过螺钉与R轴左固定臂滑座66联接，使其可沿R轴左固定臂定位导轨62前后平移；将R轴右固定臂前端限位光电传感器^KR轴左固定臂前端电子限位光电传感器72分别安装在R轴右固定臂前端支撑27、 R轴左固定臂前端支撑71的外侧面，将R轴右固定臂前端电子限位挡片29、R轴左固定臂前端电子限位挡片69分别安装在R轴右固定臂滑座^、R轴左固定臂滑座66的外侧面，调整至硬限位面大约5mm距离时，光电传感器反馈信号，伺服电机停止运转；将R轴右固定臂后端电子限位光电传感器35、R轴左固定臂后端电子限位光电传感器64分别安装在R轴右固定臂电机安装板36、R轴左固定臂电机安装板61的外侧面，将R轴右固定臂后端电子限位挡片30、R轴左固定臂后端电子限位挡片68分别安装在R轴右固定臂滑座28、R轴左固定臂滑座66的外侧面，调整至硬限位面大约5mm距离时，光电传感器反馈信号，伺服电机停止运转。在R轴左右活动臂结构中，R轴右活动臂臂体24、R轴左活动臂臂体80分别安装在R轴左右固定臂机构中的R轴右固定臂滑座28、R轴左固定臂滑座66的上端面上，并可随R轴右固定臂滑座28、R轴左固定臂滑座66沿导轨作前后平移运动；在R轴右活动臂臂体M上表面的槽内，安装有R轴右活动臂定位导轨18，并以R轴右活动臂导轨定位钢棒85 进行侧向靠紧定位；在R轴左活动臂臂体80上表面的槽内，安装有R轴左活动臂定位导轨 81，并以R轴左活动臂定位导轨定位钢棒84进行侧向靠紧定位；在R轴右活动臂定位导轨 18上，安装有四个R轴右活动臂导轨滑块16，滑块上安装有R轴右活动臂滑座19 ；在R轴左活动臂定位导轨81上，安装有四个R轴左活动臂导轨滑块79，滑块上安装有R轴左活动臂滑座83 ；在R轴右活动臂臂体M后端的定位槽内，安装有R轴右活动臂电机安装板21， R轴右活动臂伺服电机23通过定位凸缘，以螺钉安装在R轴右活动臂电机安装板21上；在 R轴左活动臂臂体80后端的定位槽内，安装有R轴左活动臂电机安装板74，R轴左活动臂伺服电机73通过定位凸缘，以螺钉安装在R轴左活动臂电机安装板74上；将R轴右活动臂传动丝母14的螺纹旋入R轴右活动臂传动丝杠17的螺纹，使R轴右活动臂传动丝杠17 — 端的凹孔套入R轴右活动臂伺服电机23的电机轴，以紧定螺钉固定；将R轴左活动臂传动丝母8的螺纹旋入R轴左活动臂传动丝杠78的螺纹，使R轴左活动臂传动丝杠78 —端的凹孔套入R轴左活动臂伺服电机73的电机轴，以紧定螺钉固定；将R轴右活动臂传动丝杠 17的另一端安装R轴右活动臂丝杠轴承10，并以R轴右活动臂前端支撑9装入轴承外环， 然后将R轴右活动臂前端支撑9以螺栓安装在R轴右活动臂臂体M的前端面上；将R轴左活动臂传动丝杠78的另一端安装R轴左活动臂丝杠轴承7，并以R轴左活动臂前端支撑 4装入轴承外环，然后将R轴左活动臂前端支撑4以螺栓安装在R轴左活动臂臂体80的前端面上；将R轴右活动臂传动丝母14通过螺钉与R轴右活动臂滑座19联接，使其可沿R轴右活动臂定位导轨18前后平移；将R轴左活动臂传动丝母8通过螺钉与R轴左活动臂滑座 83联接，使其可沿R轴左活动臂定位导轨81前后平移；将R轴右活动臂前端电子限位光电传感器13、R轴左活动臂前端电子限位光电传感器5分别安装在R轴右活动臂前端支撑9、 R轴左活动臂前端支撑4的外侧面，将R轴右活动臂前端电子限位挡片12、R轴左活动臂前端电子限位挡片6分别安装在R轴右活动臂滑座19、R轴左活动臂滑座83的外侧面，调整至硬限位面大约5mm距离时，光电传感器反馈信号，伺服电机停止运转；将R轴右活动臂后端电子限位光电传感器22、R轴左活动臂后端电子限位光电传感器75分别安装在R轴右活动臂电机安装板21、R轴左活动臂电机安装板74的外侧面，将R轴右活动臂后端电子限位挡片20、R轴左活动臂后端电子限位挡片82分别安装在R轴右活动臂滑座19、R轴左活动臂滑座83的外侧面，调整至硬限位面大约5mm距离时，光电传感器反馈信号，伺服电机停止运转。在R轴左右取片臂及FORK组合机构中，R轴右取片臂臂体15、R轴左取片臂臂体3 分别安装在R轴左右活动臂机构中的R轴右活动臂滑座19、R轴左活动臂滑座83的上端面上，并可随R轴右活动臂滑座19、R轴左活动臂滑座83沿导轨作前后平移运动；两个FORK 组合1分别安装在R轴右取片臂臂体15、R轴左取片臂臂体3的前端定位槽内，FORK组合 1的进气口部位安装有密封垫圈；R轴右取片臂气路管接头11、R轴左取片臂气路管接头2
9分别安装在R轴右取片臂臂体15、R轴左取片臂臂体3的外侧面；当设备工作时，在控制计算机指令的控制下，气路沿R轴右取片臂气路管接头11、R轴左取片臂气路管接头2，通过 R轴右取片臂臂体15、R轴左取片臂臂体3内部气路，到达FORK组合1的吸附口，以完成吸片与放片的动作。本发明一种特殊结构的硅片传输机器人，具有如下优点1、由于特殊结构的硅片传输机器人的应用，有效的扩展了硅片传输机器人的使用空间，进一步加大了硅片传输机器人适应复杂工作路径的能力。2、由于R轴机构采用了四个伺服电机独立控制，没有同步带传动机构，相对来说控制精度较高。3、由于机箱由内衬机箱和R轴随动机箱两层结构组成，因此密封性较好。
图1为本发明一种特殊结构的硅片传输机器人(R轴伸出)的三维立体图。图2为本发明一种特殊结构的硅片传输机器人(R轴回缩)的三维分解图。图3为本发明一种特殊结构的硅片传输机器人的零部件分解图。在附图中，具体数字表示1-F0RK组合、2-R轴左取片臂气路管接头、3-R轴左取片臂臂体、4-R轴左活动臂前端支撑、5-R轴左活动臂前端电子限位光电传感器、6-R轴左活动臂前端电子限位挡片、7-R轴左活动臂丝杠轴承、8-R轴左活动臂传动丝母、9-R轴右活动臂前端支撑、IO-R轴右活动臂丝杠轴承、11-R轴右取片臂气路管接头、12-R轴右活动臂前端电子限位挡片、13-R轴右活动臂前端电子限位光电传感器、14-R轴右活动臂传动丝母、15-R轴右取片臂臂体、16-R轴右活动臂导轨滑块、17-R轴右活动臂传动丝杠、18-R轴右活动臂定位导轨、19-R轴右活动臂滑座、20-R轴右活动臂后端电子限位挡片、21-R轴右活动臂电机安装板、22-R轴右活动臂后端电子限位光电传感器、23-R轴右活动臂伺服电机、24-R轴右活动臂臂体、25-R轴右固定臂丝杠轴承、26-R轴右固定臂前端限位光电传感器、27-R轴右固定臂前端支撑、28-R轴右固定臂滑座、29-R轴右固定臂前端电子限位挡片、 30-R轴右固定臂后端电子限位挡片、31-R轴右固定臂传动丝母、32-R轴右固定臂导轨滑块、33-R轴右固定臂定位导轨、34-R轴右固定臂传动丝杠、35-R轴右固定臂后端电子限位光电传感器、36-R轴右固定臂电机安装板、37-R轴右固定臂伺服电机、38-Z轴上电子限位挡片、39-T轴大臂轴、40-T轴谐波减速器、41-T轴电机组合、42-三角支撑滑块、43-T轴编码器、44-Z轴丝杠轴承、45-Z轴传动丝杠、46-Z轴传动丝母、47-T轴联接盘、48-上定位座、 49-R轴随动机箱、50-Z轴电机联轴器、51-Z轴电机驱动模块组合、52-支撑花键轴、53-Z轴下电子限位挡片组合、54-Z轴下电子限位光电传感器、55-Z轴上电子限位传感器、56-R轴右固定臂导轨定位钢棒、57-机顶定位盖板组合、58-R轴左固定臂导轨定位钢棒、59-R轴左固定臂传动丝杠、60-R轴左固定臂伺服电机、61-R轴左固定臂电机安装板、62-R轴左固定臂定位导轨、63-R轴左固定臂导轨滑块、64-R轴左固定臂后端电子限位光电传感器、65-R 轴左固定臂传动丝母、66-R轴左固定臂滑座、67-下安装座、68-R轴左固定臂后端电子限位挡片、69-R轴左固定臂前端电子限位挡片、70-R轴左固定臂丝杠轴承、71-R轴左固定臂前端支撑、72-R轴左固定臂前端电子限位光电传感器、73-R轴左活动臂伺服电机、74-R轴左活动臂电机安装板、75-R轴左活动臂后端电子限位光电传感器、76-机箱内衬套组合、77-机箱内衬套门组合、78-R轴左活动臂传动丝杠、79-R轴左活动臂导轨滑块、80-R轴左活动臂臂体、81-R轴左活动臂定位导轨、82-R轴左活动臂后端电子限位挡片、83-R轴左活动臂滑座、84-R轴左活动臂定位导轨定位钢棒、85-R轴右活动臂导轨定位钢棒。
具体实施例方式结合附图对本发明作进一步说明参照附图所示，一种特殊结构的硅片传输机器人包括F0RK组合1、R轴左取片臂气路管接头2、R轴左取片臂臂体3、R轴左活动臂前端支撑4、R轴左活动臂前端电子限位光电传感器5、R轴左活动臂前端电子限位挡片6、R轴左活动臂丝杠轴承7、R轴左活动臂传动丝母8、R轴右活动臂前端支撑9、R轴右活动臂丝杠轴承10、R轴右取片臂气路管接头11、R轴右活动臂前端电子限位挡片12、R轴右活动臂前端电子限位光电传感器13、R轴右活动臂传动丝母14、R轴右取片臂臂体15、R轴右活动臂导轨滑块16、R轴右活动臂传动丝杠17、R轴右活动臂定位导轨18、R轴右活动臂滑座19、R轴右活动臂后端电子限位挡片 20、R轴右活动臂电机安装板21、R轴右活动臂后端电子限位光电传感器22、R轴右活动臂伺服电机23、R轴右活动臂臂体M、R轴右固定臂丝杠轴承25、R轴右固定臂前端限位光电传感器^KR轴右固定臂前端支撑27、R轴右固定臂滑座^、R轴右固定臂前端电子限位挡片^KR轴右固定臂后端电子限位挡片30、R轴右固定臂传动丝母31、R轴右固定臂导轨滑块32、R轴右固定臂定位导轨33、R轴右固定臂传动丝杠34、R轴右固定臂后端电子限位光电传感器35、R轴右固定臂电机安装板36、R轴右固定臂伺服电机37、Z轴上电子限位挡片 38,T轴大臂轴39、T轴谐波减速器40、Τ轴电机组合41、三角支撑滑块42、Τ轴编码器43、Ζ 轴丝杠轴承44、Ζ轴传动丝杠45、Ζ轴传动丝母46、Τ轴联接盘47、上定位座48、R轴随动机箱49、Z轴电机联轴器50、Z轴电机驱动模块组合51、支撑花键轴52、Z轴下电子限位挡片组合53、Z轴下电子限位光电传感器Μ、Z轴上电子限位传感器55、R轴右固定臂导轨定位钢棒56、机顶定位盖板组合57、R轴左固定臂导轨定位钢棒58、R轴左固定臂传动丝杠59、 R轴左固定臂伺服电机60、R轴左固定臂电机安装板61、R轴左固定臂定位导轨62、R轴左固定臂导轨滑块63、R轴左固定臂后端电子限位光电传感器64、R轴左固定臂传动丝母65、 R轴左固定臂滑座66、下安装座67、R轴左固定臂后端电子限位挡片68、R轴左固定臂前端电子限位挡片69、R轴左固定臂丝杠轴承70、R轴左固定臂前端支撑71、R轴左固定臂前端电子限位光电传感器72、R轴左活动臂伺服电机73、R轴左活动臂电机安装板74、R轴左活动臂后端电子限位光电传感器75、机箱内衬套组合76、机箱内衬套门组合77、R轴左活动臂传动丝杠78、R轴左活动臂导轨滑块79、R轴左活动臂臂体80、R轴左活动臂定位导轨81、 R轴左活动臂后端电子限位挡片82、R轴左活动臂滑座83、R轴左活动臂定位导轨定位钢棒 84、R轴右活动臂导轨定位钢棒85。特殊结构的硅片传输机器人整体结构为以Z轴传动支撑机构为机体的主支撑， 支撑整机重量及R轴悬臂的力矩，并为T轴机构与R轴机构提供沿Z轴上下移动的驱动与定位。T轴旋转机构安装于Z轴传动支撑机构之上，为R轴提供沿T轴中心旋转的驱动与定位。R轴机构整体安装在机顶定位盖板组合57上，通过定位与驱动装置，使活动左右臂前后平移运动；而活动左右臂又通过安装的定位与驱动装置，使左右取片臂带动FORK组合作前后移动，最终完成规定的工作轨迹。
机箱组合由机箱内衬套组合76、机箱内衬套门组合77构成，安装于Z轴传动支撑机构的下安装座67上，在R轴随动机箱49随R轴升起时，在机构中起遮蔽与隔绝作用。在Z轴传动支撑机构中，三根支撑花键轴52下端安装于下安装座67上，上端安装在上定位座48上，构成整机的支撑。三角支撑滑块42安装在三根支撑花键轴52上，并由三根支撑花键轴52提供沿Z轴上下移动的定位；三角支撑滑块42的中心孔内，用于安装T 轴旋转机构的部件；Z轴电机驱动模块组合51安装在下安装座67上，通过Z轴电机联轴器 50、Z轴传动丝杠45、Z轴传动丝母46、Z轴丝杠轴承44与上定位座48相连接，构成Z轴驱动装置驱动路径的定位；Z轴传动丝母46通过螺栓紧固于三角支撑滑块42的安装孔内，使 Z轴驱动装置通过三角支撑滑块42，完成对T轴机构与R轴机构的驱动。在T轴旋转机构中，T轴电机组合41、T轴谐波减速器40通过螺栓紧固在Z轴传动支撑机构的三角支撑滑块42的中心孔内，T轴大臂轴39的下端通过定位止口，安装在T 轴谐波减速器40的输出端；T轴大臂轴39的上端，通过定位止口与T轴联接盘47相联接； 当T轴电机组合41通电运行时，T轴联接盘47可得到经过一定的传动比减速后的转速传给R轴机构；T轴编码器43安装于T轴电机组合41的后轴端，当T轴电机组合41通电运行时，T轴编码器43开始向控制计算机反馈T轴电机组合41的运行参数，以完成控制计算机对T轴电机组合41的控制。在R轴左右固定臂机构中，机顶定位盖板组合57通过定位止口与T轴旋转机构中的T轴联接盘47联接，并以螺栓紧固；R轴随动机箱49也以螺栓紧固在机顶定位盖板组合 57上；因此，机顶定位盖板组合57与R轴随动机箱49同时随T轴进行旋转，并带动R轴机构同时旋转；机顶定位盖板组合57上表面的凹槽内，安装有R轴右固定臂定位导轨33、R轴左固定臂定位导轨62、并以R轴右固定臂导轨定位钢棒56、R轴左固定臂导轨定位钢棒58、 进行侧向靠紧定位；在R轴右固定臂定位导轨33上，安装有四个R轴右固定臂导轨滑块32， 滑块上安装有R轴右固定臂滑座观；在R轴左固定臂定位导轨62上，安装有四个R轴左固定臂导轨滑块63，滑块上安装有R轴左固定臂滑座66 ；在机顶定位盖板组合57的后端定位槽内，安装有R轴右固定臂电机安装板36、R轴左固定臂电机安装板61 ;R轴右固定臂伺服电机37通过定位凸缘，以螺钉安装在R轴右固定臂电机安装板36上；R轴左固定臂伺服电机60通过定位凸缘，以螺钉安装在R轴左固定臂电机安装板61上；将R轴右固定臂传动丝母31的螺纹旋入R轴右固定臂传动丝杠34的螺纹，使R轴右固定臂传动丝杠34 —端的凹孔套入R轴右固定臂伺服电机37的电机轴，以紧定螺钉固定；将R轴右固定臂传动丝杠34 的另一端安装R轴右固定臂丝杠轴承25，并以R轴右固定臂前端支撑27装入轴承外环，然后将R轴右固定臂前端支撑27以螺栓安装在机顶定位盖板组合57的前端面上；将R轴左固定臂传动丝母65的螺纹旋入R轴左固定臂传动丝杠59的螺纹，使R轴左固定臂传动丝杠59的一端的凹孔套入R轴左固定臂伺服电机60的电机轴，以紧定螺钉固定；将R轴左固定臂传动丝杠59的另一端安装R轴左固定臂丝杠轴承70，并以R轴左固定臂前端支撑71 装入轴承外环，然后将R轴左固定臂前端支撑71以螺栓安装在机顶定位盖板组合57的前端面上；将R轴右固定臂传动丝母31通过螺钉与R轴右固定臂滑座观联接，使其可沿R轴右固定臂定位导轨33前后平移；将R轴左固定臂传动丝母65通过螺钉与R轴左固定臂滑座66联接，使其可沿R轴左固定臂定位导轨62前后平移；将R轴右固定臂前端限位光电传感器^KR轴左固定臂前端电子限位光电传感器72分别安装在R轴右固定臂前端支撑27、R轴左固定臂前端支撑71的外侧面，将R轴右固定臂前端电子限位挡片29、R轴左固定臂前端电子限位挡片69分别安装在R轴右固定臂滑座^、R轴左固定臂滑座66的外侧面，调整至硬限位面大约5mm距离时，光电传感器反馈信号，伺服电机停止运转；将R轴右固定臂后端电子限位光电传感器35、R轴左固定臂后端电子限位光电传感器64分别安装在R轴右固定臂电机安装板36、R轴左固定臂电机安装板61的外侧面，将R轴右固定臂后端电子限位挡片30、R轴左固定臂后端电子限位挡片68分别安装在R轴右固定臂滑座28、R轴左固定臂滑座66的外侧面，调整至硬限位面大约5mm距离时，光电传感器反馈信号，伺服电机停止运转。 在R轴左右活动臂结构中，R轴右活动臂臂体24、R轴左活动臂臂体80分别安装在R轴左右固定臂机构中的R轴右固定臂滑座28、R轴左固定臂滑座66的上端面上，并可随R轴右固定臂滑座28、R轴左固定臂滑座66沿导轨作前后平移运动；在R轴右活动臂臂体M上表面的槽内，安装有R轴右活动臂定位导轨18，并以R轴右活动臂导轨定位钢棒85 进行侧向靠紧定位；在R轴左活动臂臂体80上表面的槽内，安装有R轴左活动臂定位导轨 81，并以R轴左活动臂定位导轨定位钢棒84进行侧向靠紧定位；在R轴右活动臂定位导轨 18上，安装有四个R轴右活动臂导轨滑块16，滑块上安装有R轴右活动臂滑座19 ；在R轴左活动臂定位导轨81上，安装有四个R轴左活动臂导轨滑块79，滑块上安装有R轴左活动臂滑座83 ；在R轴右活动臂臂体M后端的定位槽内，安装有R轴右活动臂电机安装板21， R轴右活动臂伺服电机23通过定位凸缘，以螺钉安装在R轴右活动臂电机安装板21上；在 R轴左活动臂臂体80后端的定位槽内，安装有R轴左活动臂电机安装板74，R轴左活动臂伺服电机73通过定位凸缘，以螺钉安装在R轴左活动臂电机安装板74上；将R轴右活动臂传动丝母14的螺纹旋入R轴右活动臂传动丝杠17的螺纹，使R轴右活动臂传动丝杠17 — 端的凹孔套入R轴右活动臂伺服电机23的电机轴，以紧定螺钉固定；将R轴左活动臂传动丝母8的螺纹旋入R轴左活动臂传动丝杠78的螺纹，使R轴左活动臂传动丝杠78 —端的凹孔套入R轴左活动臂伺服电机73的电机轴，以紧定螺钉固定；将R轴右活动臂传动丝杠 17的另一端安装R轴右活动臂丝杠轴承10，并以R轴右活动臂前端支撑9装入轴承外环， 然后将R轴右活动臂前端支撑9以螺栓安装在R轴右活动臂臂体M的前端面上；将R轴左活动臂传动丝杠78的另一端安装R轴左活动臂丝杠轴承7，并以R轴左活动臂前端支撑 4装入轴承外环，然后将R轴左活动臂前端支撑4以螺栓安装在R轴左活动臂臂体80的前端面上；将R轴右活动臂传动丝母14通过螺钉与R轴右活动臂滑座19联接，使其可沿R轴右活动臂定位导轨18前后平移；将R轴左活动臂传动丝母8通过螺钉与R轴左活动臂滑座 83联接，使其可沿R轴左活动臂定位导轨81前后平移；将R轴右活动臂前端电子限位光电传感器13、R轴左活动臂前端电子限位光电传感器5分别安装在R轴右活动臂前端支撑9、 R轴左活动臂前端支撑4的外侧面，将R轴右活动臂前端电子限位挡片12、R轴左活动臂前端电子限位挡片6分别安装在R轴右活动臂滑座19、R轴左活动臂滑座83的外侧面，调整至硬限位面大约5mm距离时，光电传感器反馈信号，伺服电机停止运转；将R轴右活动臂后端电子限位光电传感器22、R轴左活动臂后端电子限位光电传感器75分别安装在R轴右活动臂电机安装板21、R轴左活动臂电机安装板74的外侧面，将R轴右活动臂后端电子限位挡片20、R轴左活动臂后端电子限位挡片82分别安装在R轴右活动臂滑座19、R轴左活动臂滑座83的外侧面，调整至硬限位面大约5mm距离时，光电传感器反馈信号，伺服电机停止
13运转。 在R轴左右取片臂及FORK组合机构中，R轴右取片臂臂体15、R轴左取片臂臂体3 分别安装在R轴左右活动臂机构中的R轴右活动臂滑座19、R轴左活动臂滑座83的上端面上，并可随R轴右活动臂滑座19、R轴左活动臂滑座83沿导轨作前后平移运动；两个FORK 组合1分别安装在R轴右取片臂臂体15、R轴左取片臂臂体3的前端定位槽内，FORK组合 1的进气口部位安装有密封垫圈；R轴右取片臂气路管接头11、R轴左取片臂气路管接头2 分别安装在R轴右取片臂臂体15、R轴左取片臂臂体3的外侧面；当设备工作时，在控制计算机指令的控制下，气路沿R轴右取片臂气路管接头11、R轴左取片臂气路管接头2，通过 R轴右取片臂臂体15、R轴左取片臂臂体3内部气路，到达FORK组合1的吸附口，以完成吸片与放片的动作。
权利要求
1. 一种硅片传输机器人，包括=FORK组合(1)、R轴左取片臂气路管接头Q)、R轴左取片臂臂体(3)、R轴左活动臂前端支撑(4)、R轴左活动臂前端电子限位光电传感器(5)、R轴左活动臂前端电子限位挡片(6)、R轴左活动臂丝杠轴承(7)、R轴左活动臂传动丝母(8)、R 轴右活动臂前端支撑(9)、R轴右活动臂丝杠轴承(10)、R轴右取片臂气路管接头(11)、R轴右活动臂前端电子限位挡片(1 、1 轴右活动臂前端电子限位光电传感器(1 、R轴右活动臂传动丝母(14)、R轴右取片臂臂体(15)、R轴右活动臂导轨滑块(16)、R轴右活动臂传动丝杠(17)、R轴右活动臂定位导轨(18)、R轴右活动臂滑座(19)、R轴右活动臂后端电子限位挡片00)、R轴右活动臂电机安装板、R轴右活动臂后端电子限位光电传感器(22)、 R轴右活动臂伺服电机03)、R轴右活动臂臂体04)、R轴右固定臂丝杠轴承05)、R轴右固定臂前端限位光电传感器06)、R轴右固定臂前端支撑07)、R轴右固定臂滑座08)、R 轴右固定臂前端电子限位挡片09)、R轴右固定臂后端电子限位挡片(30)、R轴右固定臂传动丝母(31)、R轴右固定臂导轨滑块(32)、R轴右固定臂定位导轨(33)、R轴右固定臂传动丝杠(34)、R轴右固定臂后端电子限位光电传感器(35)、R轴右固定臂电机安装板(36)、 R轴右固定臂伺服电机(37)、Z轴上电子限位挡片(38)、T轴大臂轴(39)、T轴谐波减速器 (40)、T轴电机组合(41)、三角支撑滑块(42)、T轴编码器(43)、Z轴丝杠轴承(44)、Z轴传动丝杠GO、Z轴传动丝母G6)、T轴联接盘(47)、上定位座G8)、R轴随动机箱G9)、Z轴电机联轴器(50)、Z轴电机驱动模块组合(51)、支撑花键轴(5 2轴下电子限位挡片组合 (53)、Z轴下电子限位光电传感器(54)、Z轴上电子限位传感器(55)、R轴右固定臂导轨定位钢棒(56)、机顶定位盖板组合(57)、R轴左固定臂导轨定位钢棒(58)、R轴左固定臂传动丝杠(59)、R轴左固定臂伺服电机(60)、R轴左固定臂电机安装板(61)、R轴左固定臂定位导轨(62)、R轴左固定臂导轨滑块(63)、R轴左固定臂后端电子限位光电传感器(64)、R轴左固定臂传动丝母(65)、R轴左固定臂滑座(66)、下安装座(67)、R轴左固定臂后端电子限位挡片(68)、R轴左固定臂前端电子限位挡片(69)、R轴左固定臂丝杠轴承(70)、R轴左固定臂前端支撑(71)、R轴左固定臂前端电子限位光电传感器(72)、R轴左活动臂伺服电机 (73)、R轴左活动臂电机安装板(74)、R轴左活动臂后端电子限位光电传感器(75)、机箱内衬套组合(76)、机箱内衬套门组合(77)、R轴左活动臂传动丝杠(78)、R轴左活动臂导轨滑块(79)、R轴左活动臂臂体(80)、R轴左活动臂定位导轨(81)、R轴左活动臂后端电子限位挡片(82)、R轴左活动臂滑座(83)、R轴左活动臂定位导轨定位钢棒(84)、R轴右活动臂导轨定位钢棒(85)；其特征在于所述特殊结构的硅片传输机器人整体结构为以Z轴传动支撑机构为机体的主支撑，支撑整机重量及R轴悬臂的力矩，并为T轴机构与R轴机构提供沿Z轴上下移动的驱动与定位；所述T轴旋转机构安装于Z轴传动支撑机构之上，为R轴提供沿T轴中心旋转的驱动与定位；所述R轴机构整体安装在机顶定位盖板组合(57)上，通过定位与驱动装置，使活动左右臂前后平移运动；而活动左右臂又通过导轨的定位与伺服电机驱动装置，使左右取片臂带动FORK组合作前后移动，最终完成规定的工作轨迹；所述机箱组合由机箱内衬套组合(76)、机箱内衬套门组合(77)构成，安装于Z轴传动支撑机构的下安装座(67)上，在R轴随动机箱G9)随R轴升起时，在机构中起遮蔽与隔绝作用；所述Z轴传动支撑机构中，三根支撑花键轴(52)下端安装于下安装座(67)上，上端安装在上定位座G8)上，构成整机的支撑；所述三角支撑滑块0 安装在三根支撑花键轴(52)上， 并由三根支撑花键轴(5 提供沿Z轴上下移动的定位；所述三角支撑滑块0 的中心孔内，用于安装T轴旋转机构的部件；所述Z轴电机驱动模块组合(51)安装在下安装座(67) 上，通过Z轴电机联轴器(50)、Z轴传动丝杠0 、Z轴传动丝母06)、Z轴丝杠轴承04) 与上定位座G8)相连接，构成Z轴驱动装置驱动路径的定位；所述Z轴传动丝母06)通过螺栓紧固于三角支撑滑块0 的安装孔内，使Z轴驱动装置通过三角支撑滑块(42)，完成对T轴机构与R轴机构的驱动；所述T轴旋转机构中，T轴电机组合Gl)、T轴谐波减速器 (40)通过螺栓紧固在Z轴传动支撑机构的三角支撑滑块0 的中心孔内，T轴大臂轴(39) 的下端通过定位止口，安装在T轴谐波减速器00)的输出端；T轴大臂轴(39)的上端，通过定位止口与T轴联接盘07)相联接；当T轴电机组合通电运行时，T轴联接盘07) 可得到经过一定的传动比减速后的转速传给R轴机构；所述T轴编码器安装于T轴电机组合Gl)的后轴端，当T轴电机组合通电运行时，T轴编码器开始向控制计算机反馈T轴电机组合的运行参数，以保证控制计算机对T轴电机组合的正确控制；所述R轴左右固定臂机构中，机顶定位盖板组合(57)通过定位止口与T轴旋转机构中的T轴联接盘07)联接，并以螺栓紧固；R轴随动机箱G9)也以螺栓紧固在机顶定位盖板组合(57)上，因此机顶定位盖板组合(57)与R轴随动机箱G9)同时随T轴进行旋转，并带动R轴机构同时旋转；所述机顶定位盖板组合(57)上表面的凹槽内，安装有R轴右固定臂定位导轨(33)、R轴左固定臂定位导轨(62)、并以R轴右固定臂导轨定位钢棒(56)、R轴左固定臂导轨定位钢棒(58)、进行侧向靠紧定位；所述R轴右固定臂定位导轨(33)上，安装有四个R轴右固定臂导轨滑块(32)，滑块上安装有R轴右固定臂滑座08)；所述R轴左固定臂定位导轨(62)上，安装有四个R轴左固定臂导轨滑块(63)，滑块上安装有R轴左固定臂滑座(66)；所述机顶定位盖板组合(57)的后端定位槽内，安装有R轴右固定臂电机安装板(36)、R轴左固定臂电机安装板(61)；所述R轴右固定臂伺服电机(37)通过定位凸缘， 以螺钉安装在R轴右固定臂电机安装板(36)上；所述R轴左固定臂伺服电机(60)通过定位凸缘，以螺钉安装在R轴左固定臂电机安装板(61)上；所述R轴右固定臂传动丝母(31) 的螺纹旋入R轴右固定臂传动丝杠(34)的配合螺纹，并使R轴右固定臂传动丝杠(34) — 端的凹孔套入R轴右固定臂伺服电机(37)的电机轴，以紧定螺钉固定；将R轴右固定臂传动丝杠(34)的另一端安装R轴右固定臂丝杠轴承(25)，并以R轴右固定臂前端支撑(XT) 配合孔装入轴承外环，然后将R轴右固定臂前端支撑(XT)以螺栓安装在机顶定位盖板组合(57)的前端面上；所述R轴左固定臂传动丝母(6 的螺纹旋入R轴左固定臂传动丝杠 (59)的配合螺纹，并使R轴左固定臂传动丝杠(59)的一端的凹孔套入R轴左固定臂伺服电机(60)的电机轴，以紧定螺钉固定；将R轴左固定臂传动丝杠(59)的另一端安装R轴左固定臂丝杠轴承(70)，并以R轴左固定臂前端支撑(71)的配合孔装入轴承外环，然后将R轴左固定臂前端支撑(71)以螺栓安装在机顶定位盖板组合(57)的前端面上；所述R轴右固定臂传动丝母(31)通过螺钉与R轴右固定臂滑座08)联接，使其可沿R轴右固定臂定位导轨(3 前后平移；所述R轴左固定臂传动丝母(6 通过螺钉与R轴左固定臂滑座(66) 联接，使其可沿R轴左固定臂定位导轨(6 前后平移；所述R轴右固定臂前端限位光电传感器06)、R轴左固定臂前端电子限位光电传感器(72)分别安装在R轴右固定臂前端支撑07)、R轴左固定臂前端支撑(71)的外侧面，将R轴右固定臂前端电子限位挡片(四)、 R轴左固定臂前端电子限位挡片(69)分别安装在R轴右固定臂滑座08)、R轴左固定臂滑座(66)的外侧面，调整至两硬限位面大约5mm距离时，光电传感器反馈信号，伺服电机停止运转；所述R轴右固定臂后端电子限位光电传感器(3 、R轴左固定臂后端电子限位光电传感器(64)分别安装在R轴右固定臂电机安装板(36)、R轴左固定臂电机安装板(61)的外侧面，将R轴右固定臂后端电子限位挡片(30)、R轴左固定臂后端电子限位挡片(68)分别安装在R轴右固定臂滑座08)、R轴左固定臂滑座(66)的外侧面，调整至两硬限位面大约 5mm距离时，光电传感器反馈信号，伺服电机停止运转；所述R轴左右活动臂结构中，R轴右活动臂臂体04)、R轴左活动臂臂体(80)分别安装在R轴左右固定臂机构中的R轴右固定臂滑座08)、R轴左固定臂滑座(66)的上端面上，并可随R轴右固定臂滑座08)、R轴左固定臂滑座(66)沿导轨作前后平移运动；所述R轴右活动臂臂体04)上表面的槽内，安装有 R轴右活动臂定位导轨(18)，并以R轴右活动臂导轨定位钢棒(85)进行侧向靠紧定位；所述R轴左活动臂臂体(80)上表面的槽内，安装有R轴左活动臂定位导轨(81)，并以R轴左活动臂定位导轨定位钢棒(84)进行侧向靠紧定位；所述R轴右活动臂定位导轨(18)上，安装有四个R轴右活动臂导轨滑块(16)，滑块上安装有R轴右活动臂滑座(19)；所述R轴左活动臂定位导轨(81)上，安装有四个R轴左活动臂导轨滑块(79)，滑块上安装有R轴左活动臂滑座(83)；所述R轴右活动臂臂体04)后端的定位槽内，安装有R轴右活动臂电机安装板(21)，R轴右活动臂伺服电机03)通过定位凸缘，以螺钉安装在R轴右活动臂电机安装板上；所述R轴左活动臂臂体(80)后端的定位槽内，安装有R轴左活动臂电机安装板(74)，R轴左活动臂伺服电机(73)通过定位凸缘，以螺钉安装在R轴左活动臂电机安装板(74)上；所述R轴右活动臂传动丝母(14)的螺纹旋入R轴右活动臂传动丝杠(17)的配合螺纹，使R轴右活动臂传动丝杠(17) —端的凹孔套入R轴右活动臂伺服电机03)的电机轴，以紧定螺钉固定；所述R轴左活动臂传动丝母(8)的螺纹旋入R轴左活动臂传动丝杠 (78)的配合螺纹，使R轴左活动臂传动丝杠(78) —端的凹孔套入R轴左活动臂伺服电机 (73)的电机轴，以紧定螺钉固定；所述R轴右活动臂传动丝杠(17)的另一端安装R轴右活动臂丝杠轴承(10)，并以R轴右活动臂前端支撑(9)的配合孔装入轴承外环，然后将R轴右活动臂前端支撑(9)以螺栓安装在R轴右活动臂臂体04)的前端面上；所述R轴左活动臂传动丝杠(78)的另一端安装R轴左活动臂丝杠轴承(7)，并以R轴左活动臂前端支撑(4) 的配合孔装入轴承外环，然后将R轴左活动臂前端支撑以螺栓安装在R轴左活动臂臂体(80)的前端面上；所述R轴右活动臂传动丝母(14)通过螺钉与R轴右活动臂滑座(19) 联接，使其可沿R轴右活动臂定位导轨(18)前后平移；所述R轴左活动臂传动丝母(8)通过螺钉与R轴左活动臂滑座(8 联接，使其可沿R轴左活动臂定位导轨(81)前后平移；所述R轴右活动臂前端电子限位光电传感器(1 、1 轴左活动臂前端电子限位光电传感器(5) 分别安装在R轴右活动臂前端支撑(9)、R轴左活动臂前端支撑的外侧面，将R轴右活动臂前端电子限位挡片(12)、R轴左活动臂前端电子限位挡片(6)分别安装在R轴右活动臂滑座(19)、R轴左活动臂滑座(83)的外侧面，调整至两硬限位面大约5mm距离时，光电传感器反馈信号，伺服电机停止运转；所述R轴右活动臂后端电子限位光电传感器(22)、R轴左活动臂后端电子限位光电传感器(75)分别安装在R轴右活动臂电机安装板Ol)、R轴左活动臂电机安装板(74)的外侧面，将R轴右活动臂后端电子限位挡片00)、R轴左活动臂后端电子限位挡片(82)分别安装在R轴右活动臂滑座(19)、R轴左活动臂滑座(83)的外侧面，调整至两硬限位面大约5mm距离时，光电传感器反馈信号，伺服电机停止运转；所述R 轴左右取片臂及FORK组合机构中，R轴右取片臂臂体(15)、R轴左取片臂臂体(3)分别安装在R轴左右活动臂机构中的R轴右活动臂滑座(19)、R轴左活动臂滑座(83)的上端面上， 并可随R轴右活动臂滑座(19)、R轴左活动臂滑座(83)沿导轨作前后平移运动；所述两个 FORK组合(1)分别安装在R轴右取片臂臂体(15)、R轴左取片臂臂体(3)的前端定位槽内， FORK组合(1)的进气口部位安装有密封垫圈；所述R轴右取片臂气路管接头(11)、R轴左取片臂气路管接头(2)分别安装在R轴右取片臂臂体(15)、R轴左取片臂臂体(3)的外侧面；当设备工作时，在控制计算机指令的控制下，气路沿R轴右取片臂气路管接头(11)、R轴左取片臂气路管接头0，)通过R轴右取片臂臂体(15)、R轴左取片臂臂体(3)内部气路， 到达FORK组合(1)的吸附口，以完成吸片与放片的动作。
2.根据权利要求1所述的硅片传输机器人，其特征在于所述R轴机构包括R轴左右固定臂、R轴左右活动臂的驱动装置，都是使用独立的伺服电机驱动，由控制计算机独立控制。
全文摘要
一种硅片传输机器人，用于完成较大传输空间的取放硅片工作流程。当取放硅片的位置相对于R轴回转半径过大而不能及、且行走轨迹较为复杂时，采用本发明的特殊结构的硅片传输机器人，能够简化R轴的工作路径和行走轨迹，化简程序编制的难度及工作量，并能有效的提高工作效率。特殊结构的硅片传输机器人之所以特殊，在于这种结构并没有传统意义上的R轴，而是在随T轴旋转的机箱盖上，通过铺设导轨滑块机构定位，以伺服电机带动丝杠丝母机构作为驱动，驱动左右活动臂前后平移；而左右活动臂上也铺设导轨滑块机构定位，以伺服电机带动丝杠丝母机构作为驱动，驱动左右取片臂前后平移，以完成特殊位置的取放硅片工作流程。
文档编号B65G47/74GK102157417SQ20111006274
公开日2011年8月17日 申请日期2011年3月16日 优先权日2011年3月16日
发明者刘延杰, 吴明月, 孙立宁, 荣伟彬 申请人:哈尔滨工业大学