专利名称：板状体搬运装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及板状体搬运装置，这种搬运装置具有向板状体的下表面供给空气从而以非接触状态支撑板状体的送风式支撑单元、以及对板状体施加搬运方向上的推进力的推进力施加单元，所述送风式支撑单元设在位于板状体搬运路径的横宽尺寸内的部位。
背景技术：
上述板状体搬运装置是用送风式支撑单元向板状体的下表面供给空气，从而以非接触状态支撑板状体，并且用推进力施加单元对该板状体施加搬运方向上的推进力，从而沿着搬运方向搬运板状体。并且将送风式支撑单元设在位于板状体搬运路径的横宽尺寸内的部位，从而使板状体搬运装置在横宽方向上较为紧凑。
另外，在这种板状体搬运装置上，过去是设置作为送风式支撑单元的风扇过滤器单元，并且是在风扇过滤器单元的上方以与风扇过滤器单元在上下方向重叠的状态设置部(见专利文献I)。专利文献I :日本发明专利特开2005-029359号公报采用上述传统的板状体搬运装置时，一旦正在搬运的板状体破损，这个破损的板状体的碎片就会作为异物而落到容器部上，有时异物会从容器部的喷出口侵入容器空间内。并且侵入容器空间内的异物会继续下落而侵入送风式支撑单元。一旦有异物侵入送风式支撑单元，为了清除这种异物就要取下送风式支撑单元来进行清除，并且清除异物的作业非常麻烦。尤其是在用风扇过滤器单元来构成送风式支撑单元时，由于异物会侵入到风扇过滤器单元的除尘过滤器中，因此为了清除碎片而必须取下送风式支撑单元并更换除尘过滤器等，使清除异物的作业非常麻烦。
发明内容
本发明鉴于上述情况，目的在于提供一种容易进行异物清除作业的板状体搬运装置。本发明的板状体搬运装置具有送风式支撑单元，该送风式支撑单元设在位于板状体搬运路径的横宽尺寸内的部位，且向板状体的下表面供给空气，从而以非接触状态支撑板状体；以及推进力施加单元，该推进力施加单元对板状体施加搬运方向上的推进力。所述送风式支撑单元具有供给空气用的空气供给源；容器部，该容器部形成供来自所述空气供给源的空气压入的容器空腔且具有从该容器空腔向上方喷出空气的喷出口 ；导向通道部，该导向通道部以将从所述空气供给源供给的空气引导到所述容器空腔的状态使所述空气源与所述容器部连通；导向板部，该导向板部与所述容器部邻接配置，以对从所述喷出口向板状体的下表面喷出的空气沿着板状体的下表面进行引导，所述空气供给源设在相对于所述容器部在水平方向上错开的部位，从而俯视时不与所述容器部的所述喷出口重叠。S卩，从空气供给源供给的空气沿导向通道部流动而被压入容器部的容器空腔内，且该空气从容器部的喷出口向上方喷出。并且，从喷出口向上方喷出的空气向板状体的下表面供给，向板状体的下表面供给的空气在导向板部与板状体之间的空间内沿着导向板部的上表面及板状体的下表面流动。S卩，在设有容器部的部位，能够利用从容器部向上方喷出的空气以非接触状态支撑板状体的下表面，而在设有导向板部的部位，则能利用在该导向板部上形成的空气层以非接触状态支撑板状体的下表面，因此不仅在设有容器部的部位，就连在容器部周围设有导向板部的部位也能以非接触状态支撑板状体。另外，来自空气供给源的空气是沿导向通道部流动而被压入容器部的容器空腔内，因此即使在空气供给源供给的空气中产生脉动(pulsation)，也能通过容器空腔的气垫作用(cushioning)来吸收这种脉动，因此能够减轻从喷出口喷出的空气的脉动。并且，将空气供给源设在相对于所述容器部在水平方向上错开的部位，从而俯视时不与容器部的喷出口重叠。从而，即使有破损的板状体的碎片等异物从喷出口侵入容器空腔内，该异物也不会直接落到空气供给源，因此异物难以侵入空气供给源。即，能够使侵入的异物滞留在容器部，因此只要清除容器空腔内的异物即可，使清除异物的作业容易进行。从而，能够实现容易进行异物清除作业的板状体搬运装置。在本发明的板状体搬运装置的实施例中，最好所述容器部设置成沿着所述搬运方向延伸的形式，所述导向板部配置成在与所述搬运方向交叉的横宽方向两侧与所述容器部邻接的状态，并将所述空气供给源设在相对于所述容器部在所述横宽方向上错开的部位上。S卩，从沿搬运方向设置的容器部的喷出口向上方喷出空气而将空气向板状体的下表面供给，并且向该板状体的下表面供给的空气在导向板部与位于其上方的板状体之间的空间内沿着导向板部的上表面及板状体的下表面并沿横宽方向流动，其中导向板部与容器部在横宽方向两侧邻接。从而，能够使送风式支撑单元在搬运方向上对板状体的支撑力均匀，减少沿搬运方向搬运板状体时板状体的挠曲(deflection)。更具体是，在设有容器部的部位，是利用从容器部向上方喷出的空气来支撑板状体的下表面，而在设有导向板部的部位，则是利用在该导向板部上形成的空气层来支撑板状体的下表面，因此在设有容器部的部位与设有导向板部的部位，对板状体的下表面予以支撑的支撑力不同。一旦将这种支撑力不同的容器部与导向板部沿搬运方向并排配置，在搬运方向上的位置不同就会导致支撑单元对板状体的支撑力不同，因此当沿搬运方向搬运板状体时容易发生板状体的上下晃动。对此，通过将容器部与导向板部沿横宽方向并排配置，能够使送风式支撑单元在搬运方向上对板状体的支撑力均匀，因此在沿搬运方向搬运板状体时不易发生板状体的上下晃动，能够减少板状体的挠曲。在本发明的板状体搬运装置的实施例中，所述送风式支撑单元沿着与所述搬运方向交叉的横宽方向并排设置一对，并且在所述一对送风式支撑单元之间形成将所述导向板部上的空气向所述导向板部下方的空间排出的排气路径。S卩，通过在沿横宽方向并排设置的一对送风式支撑单元之间形成将导向板部上的空气向导向板部下方的空间排出的排气路径，且从该排气路径排出空气，使空气不易滞留、在板状体的中间部的下方。从而，由于空气不易滞留在中间部的下方，被搬运的板状体能够在中间部的隆起受到抑制的、接近水平姿势的状态下被搬运，能够减轻对板状体施加的负荷。在本发明的板状体搬运装置的实施例中，作为所述推进力施加单元，最好具有如下的一对推进力施加单元对板状体上的所述横宽方向一端部予以接触支撑、从而对板状体施加搬运方向上的推进力的一端侧推进力施加单元，以及对板状体上的所述横宽方向另一端部予以接触支撑、从而对板状体施加搬运方向上的推进力的另一端侧推进力施加单元，设置在所述一对送风式支撑单元上的导向板部各自构成为在所述横宽方向上接近所述排气路径的内侧导向板部在所述横宽方向上的宽度比在所述横宽方向上远离所述排气路径的外侧导向板部小。S卩，利用一端侧推进力施加单元对板状体在横宽方向上的一端部予以接触支撑，并利用另一端侧推进力施加单元对板状体在横宽方向上的另一端部予以接触支撑，从而用 一对推进力施加单元对板状体在横宽方向上的两端部予以接触支撑。从而，通过用一对推进力施加单元对板状体在横宽方向上的两端部予以接触支撑而以稳定的状态支撑板状体，并对支撑的板状体的两端部施加推进力，因此能够以稳定的状态沿搬运方向搬运板状体。并且，由于设置在一对送风式支撑单元上的导向板部各自构成为内侧导向板部在横宽方向上的宽度比外侧导向板部小，因此容器部最终是以偏向排气路径一侧的状态配置，能够将从容器部喷出的空气向板状体的横宽方向中央附近的下表面供给。从而，通过用一对送风式支撑单元将空气向板状体在横宽方向上的中央附近的下表面供给，抑制了一对推进力施加单元对板状体的接触压力减少，能够以抑制板状体松弛的方式支撑板状体在横宽方向上的中间部，因而板状体能够在得到稳定支撑的状态下被搬运，能够顺利实现板状体的搬运。在本发明的板状体搬运装置的实施例中，最好所述容器部在其下面部或侧面部形成维护用开口，并且设有自由开闭该维护用开口的盖子部件。S卩，由于在容器部形成了维护用开口，并且设有自由开闭该维护用开口的盖子部件，因此平时能够用盖子部件关闭维护用开口，而在要进行维护作业时打开盖子部件，并从维护用开口对容器空腔内进行维护作业。从而，当有异物侵入容器部时，打开盖子部件就能从维护用开口清除异物，容易进行异物清除作业。在本发明的板状体搬运装置的实施例中，最好所述空气供给源具有向上方供给空气的供给面，所述导向通道部的一端部与所述空气供给源的供给面连接，另一端部与所述容器部的侧面部连接，并且上下方向的通道宽度随着向所述容器部一侧延伸而增宽。S卩，能够将从空气供给源向上方供给的空气通过导向通道部引导到容器部一侧而压入容器部的容器空腔内。并且，由于从容器部一侧某一空气供给源供给的空气发生合流会使受导向通道部引导的空气量增多，但由于导向通道部在上下方向的通道宽度随着向容器部一侧延伸而增宽，利用随着向容器部一侧延伸而逐渐增宽的导向通道部来引导随着向容器部一侧流动而逐渐增多的空气，就能够使空气顺利地流动到容器部。在本发明的板状体搬运装置的实施例中，最好所述空气供给源由将电动式送风扇与除尘过滤器组装成一体的风扇过滤器单元构成。
S卩，作为空气供给源的设置，只要设置将电动式送风扇与除尘过滤器组装成一体的风扇过滤器单元即可，送风式支撑单元的设置很简单，从而便于制造板状体搬运装置。在本发明的板状体搬运装置的实施例中，最好所述空气供给源设在与所述容器部在上下方向的下方错开的部位，从而在作横向侧视时不与所述容器部重叠。另外，在本发明的板状体搬运装置的实施例中，最好在所述导向板部的外侧端部设有凸条部，所述凸条部从所述导向板部的上表面向上方凸出，其高度到达所搬运的板状体的下表面的下方，并且所述凸条部沿着搬运方向呈直线状地连续延伸。
图I是板状体搬运装置的立体图。
图2是板状体搬运装置的纵剖主视图。图3是送风式支撑单元的纵剖主视图。图4是容器部的纵剖主视图。图5是其它实施例的送风式支撑单元的纵剖主视图。
具体实施例方式以下结合
本发明的板状体搬运装置，该搬运装置用于搬运作为矩形基板的板状体，具体说是用于搬运平板显示器(flat-panel display)用的玻璃基板。如图I所示，板状体搬运装置H具有向着玻璃基板I的下表面供给清洁空气从而以非接触状态支撑玻璃基板I的送风式支撑单元2、以及对玻璃基板I的下表面予以接触支撑并对玻璃基板I施加搬运方向上的推进力的推进力施加单元3。另外，板状体搬运装置H沿着搬运方向设置有多台具有送风式支撑单元2以及推进力施加单元3的板状体搬运单元U。推进力施加单元3沿着搬运方向设置有多个旋转滚子6，这种旋转滚子6对玻璃基板I下表面上的与搬运方向正交的横宽方向端部予以接触支撑，并且用与各旋转滚子6对应的电动马达7来驱动各旋转滚子6旋转，以对玻璃基板I施加搬运方向上的推进力。也可以采用以一个电动马达经过齿轮机构来驱动多个旋转滚子旋转的结构。另外，作为推进力施加单元3，设有一对推进力施加单元3，即，对玻璃基板I下表面上的横宽方向一端部予以接触支撑、以对玻璃基板I施加搬运方向上的推进力的一端侧推进力施加单元3，以及对玻璃基板I下表面上的横宽方向另一端部予以接触支撑、以对玻璃基板I施加搬运方向上的推进力的另一端侧推进力施加单元3。用这一对推进力施加单元3从下方对玻璃基板I下表面上的横宽方向两端部予以接触支撑，并且对这两端部施加搬运方向上的推进力。如图2和图3所示，俯视时，送风式支撑单元2设于一对推进力施加单元3之间。并且，送风式支撑单元2设置在整体位于玻璃基板I搬运路径的横宽尺寸内的部位，对玻璃基板I下表面的横宽方向中间部供给清洁空气，从而以非接触状态支撑玻璃基板I。即，如图2和图3所示，板状体搬运装置H用推进力施加单元3对玻璃基板I的横宽方向两端部予以接触支撑，且用送风式支撑单元2对玻璃基板I的横宽方向中央部予以非接触支撑，在此状态下用推进力施加单元3对玻璃基板I的横宽方向两端部施加搬运方向上的推进力，由此沿搬运方向搬运玻璃基板I。[送风式支撑单元]以下说明送风式支撑单元2。如图3所示，送风式支撑单元2具有供给空气用的空气供给源11、容器部14、导向通道部15、以及导向板部16。容器部14形成供来自空气供给源11的空气压入的容器空腔12，且具有从该容器空腔12向上方喷出空气的喷出口 13。导向通道部15将由空气供给源11供给的空气引导到容器部14。为了引导从喷出口 13向玻璃基板I的下表面喷出的空气沿着玻璃基板I的下表面流动，导向板部16配设成与容器部14邻接的状态。此处，所谓“压入”，是指以使从空气源11导入容器空腔12内的空气的压力高于容器部14外部的压力的方式进行导入。这种压力可使空气从喷出口 13喷出。送风式支撑单元2将从空气供给源11供给的空气通过导向通道部15引导到沿搬 运方向设置的容器部14，并将在容器部14中被抑制了脉动的空气从喷出口 13向上方喷出。在用送风式支撑单元2对玻璃基板I予以非接触支撑的状态下，从喷出口 13向上方喷出的空气就向玻璃基板I的下表面供给，并且这个向玻璃基板I的下表面供给的空气在导向板部16与玻璃基板I之间的空间内沿着导向板部16的上表面及玻璃基板I的下表面在横宽方向流动。通过这样使空气流动而在导向板部16与玻璃基板I之间形成空气层，不仅在设有向玻璃基板I的下表面喷出空气的容器部14的部位能以非接触状态支撑玻璃基板1，就是在其横侧方的设有导向板部16的部位也能以非接触状态支撑玻璃基板I。送风式支撑单元2是在横宽方向相互空开间隔设置一对，且在一对送风式支撑单元2之间形成将导向板部16上的空气向导向板部16下方的空间排出的排气路径17 (有时称为中央部的排气路径17a，相当于本发明的排气路径)。另外，一对送风式支撑单元2各自以相对于推进力施加单元3而相互空开间隔的状态设置，在送风式支撑单元2与推进力施加单元3之间也形成将导向板部16上的空气向导向板部16下方的空间排出的排气路径17 (有时称为端部的排气路径17b)。顺便说一句，送风式支撑单元2以连续的状态沿搬运方向排列，并且在搬运方向邻接的容器部14彼此间以及在搬运方向邻接的导向板部16彼此间没有间隙。以下说明送风式支撑单元2的各部分，不过一对送风式支撑单元2是相对于在宽度方向的中央位置上沿搬运方向延伸的假想线而对称地构成的，它们的结构相同，因此以下只说明位于横宽方向一侧的送风式支撑单元2，而省略对位于另一侧的送风式支撑单元2的说明。另外，在说明送风式支撑单元2的各部分时，有时将形成了横宽方向中央部的排气路径17a的一侧称为内侧,而将形成了横宽方向端部的排气路径17b的一侧称为外侧。[空气供给源]空气供给源11构成为风扇过滤器单元，通过将电动式送风扇9和除尘过滤器10组装成一体而构成，送风扇9围绕纵轴心旋转，除尘过滤器10设置成覆盖在该送风扇9上方的状态。这样配置空气供给源11，就能通过驱动送风扇9旋转来给出空气供给源11下方的空气，并且使给出的空气经过除尘过滤器10而作为清洁空气在空气供给源11的上方排出，从而向上方供给空气。顺便说一句，空气供给源11俯视时呈矩形，空气供给源11在横宽方向的宽度是送风式支撑单元2在横宽方向的宽度的1/2 1/3左右，空气供给源11在搬运方向的宽度是送风式支撑单元2在搬运方向的宽度的1/2左右。空气供给源11在该空气供给源11的供给面(上表面)上形成供给口 18，该供给口 18配设在俯视时相对于容器部14而向横宽方向外侧错开、从而不与容器部14上的喷出口 13重叠的部位。另外，空气供给源11配设在从横侧面看时相对于容器部14而向上下方向的下侧错开、从而不与容器部14重叠的部位。如此设置的空气供给源11成为如下状态其横宽方向内侧端部的上端接近容器部14的横宽方向外侧端部的下端。顺便说一句，俯视时，空气供给源11的内侧端部与容器部14的外侧端部重叠。[导向通道部]导向通道部15用管道构成，该管道将空气供给源11的供给口 18与在容器部14 的外侧横侧面上形成的导入口 19连通。具体是，导向通道部15的一端部与空气供给源11的位于供给口 18周围的框体连接，由此与空气供给源11的供给面连接，导向通道部15的另一端部则与容器部14的位于导入口 19周围的侧板连接，由此与容器部14外侧的横侧面部14a连接。导向通道部15的上面部分形成为向横宽方向的内侧升高的倾斜状，从搬运方向看，导向通道部15的形状呈三角形。如此形成的导向通道部15，其从搬运方向看的上下方向通道宽度是从横宽方向的外侧(靠近空气供给源11的外侧端部)向着内侧(靠近容器部14)增宽。S卩，导向通道部15的通道宽度是向着空气通气量增多的横宽方向内侧增宽。顺便说一句，导向通道部15的配置在搬运方向前端的前表面部分和配置在后端的后面部分沿着横宽方向垂直竖立而相互平行，导向通道部15的俯视时的横宽方向宽度是在外侧与内侧形成相同宽度。另外，导向通道部15在搬运方向上的通道宽度与供给口 18和导入口 19在搬运方向上的宽度形成为相同宽度。[容器部]如图4所示，容器部14形成为向搬运方向倒下的横倒姿势的四角箱状，沿搬运方向设置，在其内部空间形成容器空腔12。即，组成容器部14的内部空间的上面部14b、一对横侧面14a、以及下面部14c沿搬运方向延伸。容器部14的上面部14b用防挠金属构成，用在该防挠金属上形成的孔来形成喷出口 13。这样，在容器部14的上部就形成多个向上方喷出空气的喷出口 13，且在容器部14的上部设置由沿搬运方向设置、用于将从空气供给源11供给的空气向上方喷出的多个喷出口 13构成的空气喷出部20。容器部14的配置在搬运方向前端的前面部分和配置在后端的后面部分沿着横宽方向垂直竖立而相互平行。而且，容器部14将被导向通道部15引导的空气从导入口 19导入容器空腔12内，且在抑制了该导入的空气的脉动的状态下从多个喷出口 13向上方喷出。导入口 19形成于从容器部14的下面部14c起到设定高度为止的部位，在容器部14的下面部14c与导入口 19之间形成高度差。下面部14c的横宽方向外侧部分的上表面形成为平坦面，横宽方向内侧部分的上表面形成为向着内侧而向上方升高的倾斜面。
并且，在容器部14上，从下面部14c起直到内侧的横侧面部14a，形成维护用开口21，并且设有自由开闭该维护用开口 21的盖子部件22。盖子部件22用由蝶式螺栓等构成的固定部件来固定在容器部14上，无须使用工具即可装卸，由此开闭维护用开口 21。S卩，即使有破损的玻璃基板I的碎片等异物从喷出口 13侵入容器空腔12内，容器部14也能通过其下面部14c、尤其是下面部14c上向下方膨出的横宽方向外侧部分来接住异物。并且，由于导向通道部15与容器部14的横侧面部14a连接，且在导入口 19与下面部14c之间形成了高度差，因此能够防止异物进入导向通道部15内，由此能够防止异物侵入空气供给源11。至于被容器部14的下面部14c接住的异物，通过将盖子部件22取下而将维护用开口 21打开，就能将容器空腔12内的异物通过维护用开口 21取出到外部。另外，在容器部14上设有风量检测单元24，用于检测从空气供给源11供给的空气供给量为设定量以下的情况。该风量检测单元24设有围绕着与搬运方向一致的轴心而自由摆动的下垂式摆动体25、以及由泛光器和受光器构成的检测体26，摆动体25及检测体26支撑在容器部14的 外侧横侧面部14a的导入口 19的上方部位。另外，摆动体25处于垂直姿势时其下端位于导入口 19的上端的下方，而一旦空气供给源11工作而从空气供给源11供给空气，摆动体25便从垂直姿势切换成向内侧摆动的倾斜姿势。并且，当从空气供给源11供给了适量空气时，摆动体25便会摆动到设定角度以上，使检测体26成为检测摆动体25的检测状态。另外，当由于除尘过滤器10堵塞而未能从空气供给源11供给适量空气、使所供给的空气供给量为设定量(譬如可能使所搬运的玻璃基板I向下方挠曲而与送风式支撑单元2接触的供给量)以下时，摆动体25便只摆动到设定角度以下，使检测体26成为不检测摆动体25的非检测状态。[导向板部]如图2和图3所示，为了将从容器部14(空气喷出部20)向玻璃基板I的下表面喷出的空气沿着玻璃基板I的下表面而沿横宽方向引导，导向板部16以在容器部14的横宽方向两侧与之邻接的状态配置一对。并且，在一对导向板部16中一个的外侧端部上设有凸条部27，凸条部27从导向板状16的上表面向上方凸出，其高度达到搬运的玻璃基板I的下表面的下方，并且凸条部27沿着搬运方向呈直线状连续延伸。具体是，一对导向板部16以水平姿势设置成各自的上表面与搬运的玻璃基板I的下表面一致。顺便说一句，容器部14设置成其上表面与搬运的玻璃基板I的下表面一致，一对导向板部16和容器部14配置成各自的上表面成为一个平面的状态。并且，一对导向板部16中与容器部14的外侧邻接的外侧导向板部16b的横宽方向外侧端部延伸到推进力施加单元3的附近，与容器部14的内侧邻接的内侧导向板部16a的横宽方向内侧端部延伸到板状体搬运装置H的横宽方向中央部附近。另外，内侧导向板部16a在横宽方向的宽度比外侧导向板部16b小。通过如此形成一对导向板部16的横宽，使容器部14比端部的排气路径17b更靠近中央部的排气路径17a，使从容器部14喷出的空气向玻璃基板I的中央附近的下表面供给。顺便说一句，内侧导向板部16a在横宽方向的宽度为容器部14在横宽方向的宽度的1/3 1/4左右，外侧导向板部16b在横宽方向的宽度则为容器部14在横宽方向的宽度的2. 5倍左右。
并且，凸条部27是在外侧导向板部16b的外侧端部沿着搬运方向的整个导向板部16设置。顺便说一句，内侧导向板部16a上不设凸条部27。S卩，从容器部14到端部的排气路径17b的距离比从容器部14到中央部的排气路径17a的距离长，因此从容器部14喷出的空气容易向内侧流动而难以向外侧流动。然而，从容器部14向外侧流动的空气由于凸条部27的存在而难以从端部的排气路径17b拔出，因此即使在容器部14的外侧也很容易形成空气层。在导向板部16上设有支撑体28,该支撑体28从导向板部16的上表面向上方凸出，并且与被搬运的玻璃基板I在下方脱离，当由于送风式支撑单元2的故障等导致送风式支撑单元2的支撑力下降等使得玻璃基板I向下方挠曲时，能够用支撑体28在比导向板部16的上表面更上方的位置上支撑玻璃基板I。支撑体28形成为自由旋转的树脂制球体，沿着搬运方向以设定间隔设置在内侧导向板部16a的内侧端部、外侧导向板部16b的横宽方向中央部、以及外侧导向板部16b的内侧端部上。如上所述，在本实施例中，空气供给源11在该空气供给源11的供给面上形成供给口 18，该供给口 18配设在俯视时相对于容器部14而向横宽方向外侧错开、从而不与容器部14上的喷出口 13重叠的部位。从而，即使有破损的玻璃基板I的碎片等异物从喷出口 13侵入容器空腔12内，该异物也会被容器空腔14的下面部14c接住，能够防止异物侵入导向通道部15内，从而防止异物侵入空气供给源11。[其它实施例](I)在以上实施例中，是使内侧导向板部16a在横宽方向的宽度比外侧导向板部16b窄,但也可如图5(a)那样，使内侧导向板部16a在横宽方向的宽度比外侧导向板部16b宽，或者使内侧导向板部16a在横宽方向的宽度与外侧导向板部16b相同。(2)在上述实施例中，一对送风式支撑单元2以相互空开间隔的状态设置，从而在一对送风式支撑单元2之间形成排气路径17，但也可如图5(b)那样，将一对送风式支撑单元2设置成紧密接触的状态，从而在一对送风式支撑单元2之间不形成排气路径17。另外，以上是在横宽方向并排设置一对送风式支撑单元2，但也可如图5(c)那样，在横宽方向设置一个送风式支撑单元2，或是在横宽方向设置多个送风式支撑单元2。(3)在上述实施例中，容器部14是在其下面部14c或横侧面部14a上形成维护用开口 21，并且设有自由维护用开口 21的盖子部件22，但也可以在容器部14的上面部14b上形成维护用开口 21，并且将构成上面部14b的防挠金属做成能够开闭的结构。(4)在上述实施例中，是将空气供给源11配置成向上方供给空气的状态，且将导向通道部15的一个端部与空气供给源11的上面部连接，但也可将空气供给源11配置成向横宽方向的内侧供给空气的状态，且将导向通道部15的一个端部与空气供给源11的内侧的横侧面部连接。另外，在上述实施例中，是将导向通道部15的另一端部与容器部14的侧面部连接，但也可以将导向通道部15的另一端部与容器部14的下面部连接。(5)在上述实施例中，是沿搬运方向设置容器部14，在容器部14的横宽方向两侧邻接配置导向板部16，且在相对于容器部14在横宽方向上错开的部位配设空气供给源11，但也可以是沿横宽方向设置容器部14，在容器部14的搬运方向两侧邻接配置导向板部16，、且在相对于容器部14在搬运方向上错开的部位配设空气供给源11。(6)在上述实施例中，是用风扇过滤器单元来构成空气供给源11，但也可以用压缩机等来构成空气供给源11。(7)在上述实施例中，作为推进力施加单元3，是设置一端推进力施加单元3和另一端推进力施加单元3，但作为推进力施加单元3，也可以只设一端推进力施加单元3和另一端推进力施加单元3中的任一个推进力施加单元3，或者，作为推进力施加单元3，也可以设置对玻璃基板I的横宽方向中间部予以接触支撑、从而对板状体施加推进力的中央侧推进力施加单元3。(8)在上述实施例中，是用防挠金属来构成容器部14的上面部14b，且用在防挠金属上形成的孔来形成喷出口 13，但也可以是使容器部14的整个上面部14b开口，并且用该开口来形成喷出口 13。(符号说明)I板状体2送风式支撑单元3推进力施加单元9送风扇 10除尘过滤器11空气供给源12容器空腔13 喷出口14容器部15导向通道部16导向板部16a内侧导向板部16b外侧导向板部17a排气路径21维护用开口22盖子部件
权利要求
1.一种板状体搬运装置，具有 送风式支撑单元，该送风式支撑单元配设在位于板状体搬运路径的横宽尺寸内的部位，且向板状体的下表面供给空气，从而以非接触状态支撑板状体； 以及推进カ施加単元，该推进力施加单元对板状体施加搬运方向上的推进力， 其特征在干， 所述送风式支撑单元具有 供给空气用的空气供给源； 容器部，该容器部形成供来自所述空气供给源的空气压入的容器空腔，且具有从该容器空腔向上方喷出空气的喷出口； 导向通道部，该导向通道部以将从所述空气源供给的空气引导到所述容器空腔的状态使所述空气源与所述容器部连通； 以及导向板部，该导向板部与所述容器部邻接配置，从而将从所述喷出ロ向板状体的下表面喷出的空气沿着板状体的下表面引导， 所述空气供给源配设在相对于所述容器部在水平方向上错开的部位，从而俯视时不与所述容器部的所述喷出口重叠。
2.如权利要求I所述的板状体搬运装置，其特征在干， 所述容器部设置成沿着所述搬运方向延伸的形式， 所述导向板部配置成在所述容器部的与所述搬运方向交叉的横宽方向两侧与之邻接的状态， 所述空气供给源配设在相对于所述容器部在所述横宽方向上错开的部位。
3.如权利要求2所述的板状体搬运装置，其特征在干， 所述送风式支撑单元沿着与所述搬运方向交叉的横宽方向设置有一対， 在所述ー对送风式支撑单元之间形成将所述导向板部上的空气向所述导向板部下方的空间排出的排气路径。
4.如权利要求3所述的板状体搬运装置，其特征在干， 作为所述推进カ施加単元，具有如下的一对推进力施加単元对板状体上的所述横宽方向一端部予以接触支撑、从而对板状体施加搬运方向上的推进カ的一端推进カ施加单元，以及对板状体上的所述横宽方向另一端部予以接触支撑、从而对板状体施加搬运方向上的推进カ的另一端推进カ施加単元， 设置在所述ー对送风式支撑单元上的导向板部各自如下构成在所述横宽方向上接近所述排气路径的内侧导向板部在所述横宽方向上的宽度比在所述横宽方向上远离所述排气路径的外侧导向板部小。
5.如权利要求I 4中任一项所述的板状体搬运装置，其特征在干， 所述容器部在其下面部或侧面部形成维护用开ロ，并且设有自由开闭该维护用开ロ的盖子部件。
6.如权利要求I 4中任一项所述的板状体搬运装置，其特征在干， 所述空气供给源配置成向上方供给空气的状态， 所述导向通道部的一端部与所述空气供给源的上面部连接，另一端部与所述容器部的侧面部连接，并且上下方向的通道宽度随着向所述容器部ー侧延伸而增宽。
7.如权利要求I 4中任一项所述的板状体搬运装置，其特征在干， 所述空气供给源由将电动式送风扇与除尘过滤器组装成一体的风扇过滤器单元构成。
8.如权利要求I 4中任一项所述的板状体搬运装置，其特征在干， 所述空气供给源配设在相对于所述容器部在上下方向的下方错开的部位，从而在作横向侧视时不与所述容器部重叠。
9.如权利要求I 4中任一项所述的板状体搬运装置，其特征在干， 在所述导向板部的外侧端部设有凸条部，所述凸条部从所述导向板部的上表面向上方凸出，其高度到达搬运的板状体的下表面的下方，并且凸条部沿着搬运方向呈直线状地连续延伸。
全文摘要
一种板状体搬运装置，具有向板状体(1)的下表面供给空气、以非接触状态支撑板状体(1)的送风式支撑单元(2)，该送风式支撑单元(2)包括供给空气用的空气供给源(11)、具有向上方喷出空气的喷出口(13)的容器部(14)、使空气供给源(11)与容器部(14)连通的导向通道部(15)、以及与容器部(14)邻接配置的导向板部(16)，将空气供给源(11)配设在相对于容器部(14)在水平方向上错开的部位，从而俯视时不与容器部(14)的喷出口(13)重叠。本发明的板状体搬运装置容易实施异物除去作业。
文档编号B65G1/04GK102745453SQ20111043732
公开日2012年10月24日 申请日期2011年12月5日 优先权日2010年12月6日
发明者中尾多通夫, 斎田克彦, 池田大介, 辻起久, 饭塚雪夫 申请人:株式会社大福