自动化物料传输系统的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种自动化物料传输系统，其包括机台、轨道结构、至少一辆输送车、总控制单元，输送车上设有无线信号发射器和无线信号接收器，自动化物料传输系统还布设有多个无线信号收发站，无线信号收发站与其信号范围内的输送车信号连接。本发明通过多个无线信号收发站的设置，可以监控每个无线信号收发站信号范围内的所有输送车，总控制单元可将指令发送至无线信号收发站，由无线信号收发站转送至各输送车。本发明分区域的管控方式省去了繁杂的有线线路，也提高了AMHS系统的稳定性和安全性。
【专利说明】自动化物料传输系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体集成电路物料输送机台【技术领域】，尤其涉及一种自动化物料传输系统。
【背景技术】
[0002]随着半导体技术的发展,300mm娃片已经逐步取代200mm娃片成为主流,每盒装载硅片的硅片盒的重量也由原来的约4公斤变成约9公斤。因此，仍然借助人力手工搬送，不仅会降低效率，还存在搬运人员人身伤害的可能。同时，半导体制造对于厂房的利用率以及生产周期的要求越来越严苛，自动化物料传输系统(Automated Material HandlingSystems,简称AMHS)作为连接各个制造模块之间输送娃片的纽带的重要性也日益凸显出来。
[0003]现有的AMHS系统均采用悬挂于天花板上的多条轨道结构与轨道上行驶的OHT输送车，往返于各个机台之间(tool to tool输送模式),或往返于机台与暂存区Stocker之间(走道间系统interbay与走道内系统intrabay)。如图1所示的采用走道间、走道内的输送系统，机台走道每一边的每一台机台10安装有娃片盒堆叠部20 (load port), OHT输送车70 (overhead hoist transport)能抓起堆叠部20上的娃片盒30,并通过轨道结构60传送至另一台机台10的堆叠部20上。这种硅片盒30在同一走道内的输送过程称为走道内系统110,而娃片盒30在不同走道之间的输送过程则称为走道间系统100。走道内系统110的输送使用OHT输送车70，走道间系统100的输送则是先将硅片盒30以输送车70移至暂存区50中暂时储存，等到需要用到此硅片盒30时，再同样以输送车70搬送到指定机台10处。
[0004]一般而言，一个AMHS系统中有多辆输送车同时运行执行任务，所有输送车都是通过总控制单元信号连接，来指挥输送车的行驶路线。如果AMHS系统规模很大，则需要非常庞大的控制系统，通过有线线路的排布来实现各个输送车和总控制单元之间的信号连接相当耗时耗力，且一旦在运作过程中某处线路出现故障，将无法控制这些输送车，给整个系统的稳定性和安全性带来隐患。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于弥补上述现有技术的不足，提供一种自动化物料传输系统。
[0006]为实现上述目的，本发明提供一种自动化物料传输系统，其包括矩阵状布设的机台、多根纵向轨道和横向轨道悬吊设置的轨道结构、设于轨道结构上行驶的至少一辆输送车、总控制单元，其中，该输送车上设有无线信号发射器和无线信号接收器，该自动化物料传输系统还布设有多个无线信号收发站，该无线信号收发站与其信号范围内的输送车信号连接，该无线信号收发站还与总控制单元信号连接。
[0007]进一步地，所有该无线信号收发站的信号范围总和覆盖该轨道结构。
[0008]进一步地，该无线信号收发站与总控制单元通过有线或无线信号连接。[0009]进一步地，该输送车具有控制单元，并与该输送车的无线信号接收器信号连接。
[0010]本发明的自动化物料传输系统，通过多个无线信号收发站的设置，可以监控每个无线信号收发站信号范围内的所有输送车，总控制单元可将指令发送至无线信号收发站，由无线信号收发站转送至各输送车。本发明分区域的管控方式省去了繁杂的有线线路，也提高了 AMHS系统的稳定性和安全性。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]为能更清楚理解本发明的目的、特点和优点，以下将结合附图对本发明的较佳实施例进行详细描述，其中:
[0012]图1是现有自动化物料传输系统的结构示意图；
[0013]图2是本发明第一实施例的AMHS系统示意图。
【具体实施方式】
[0014]第一实施例
[0015]请参阅图2，本实施例中的自动化物料传输系统，其包括矩阵状布设的机台11、多根纵向轨道21和横向轨道22悬吊设置的轨道结构、设于轨道结构上行驶的至少一辆输送车31、总控制单元(未图示)。
[0016]其中，输送车31上设有无线信号发射器、无线信号接收器和控制单元(未图示)，控制单元与无线信号接收器信号连接。自动化物料传输系统还布设有四个无线信号收发站，即第一分站41、第二分站42、第三分站43和第四分站44，四个无线信号收发站的信号范围分别如图2所示的第一信号范围A、第二信号范围B、第三信号范围C和第四信号范围D，并分别与其信号范围内的输送车信号连接，四个无线信号收发站还与总控制单元信号通过有线网络信号连接。如图可见，四个无线信号收发站的信号范围总和已经覆盖了整个轨道结构。
[0017]本实施例中无线信号收发站的主要作用包括两个:第一，转发总控制单元的指令，并发送给各信号范围内的各输送车，再由各输送车的控制单元驱动其行驶；第二，接收各信号范围内输送车发出的信号，监控其方位、有无硅片盒装载等信息，并发送给总控制单元。
【权利要求】
1.一种自动化物料传输系统，其包括矩阵状布设的机台、多根纵向轨道和横向轨道悬吊设置的轨道结构、设于轨道结构上行驶的至少一辆输送车、总控制单元，其特征在于:该输送车上设有无线信号发射器和无线信号接收器，该自动化物料传输系统还布设有多个无线信号收发站，该无线信号收发站与其信号范围内的输送车信号连接，该无线信号收发站还与总控制单元信号连接。
2.根据权利要求1所述的自动化物料传输系统，其特征在于:所有该无线信号收发站的信号范围总和覆盖该轨道结构。
3.根据权利要求2所述的自动化物料传输系统，其特征在于:该无线信号收发站与总控制单元通过有线或无线信号连接。
4.根据权利要求3所述的自动化物料传输系统，其特征在于:该输送车具有控制单元，并与该输送车的无线信号接收器信号连接。
【文档编号】B65G35/00GK103708226SQ201310727915
【公开日】2014年4月9日 申请日期:2013年12月25日 优先权日:2013年12月25日
【发明者】计军 申请人:上海集成电路研发中心有限公司