1.一种光刻机的取片装置，包括机架，所述机架上竖直滑动安装有用于放置片盒的升降座，所述升降座由升降动力装置驱动，其特征在于：所述机架上处于升降座的一侧水平滑动安装有伸入片盒内取片的取片座，所述取片座的上表面上设置有吸片孔，所述吸片孔与抽吸系统连通，所述取片座与水平驱动装置传动连接，所述机架上设置有用于检测片盒内对应的插槽中是否有硅片的对射式传感器，所述对射式传感器的发射端或接收端固定位置处于片盒的背侧，对应的，所述对射式传感器的接收端或发射端固定于机架上且位于片盒的正侧，所述片盒和取片座处于对射式传感器的发射端和接收端之间，所述对射式传感器与智能控制装置电联接，所述智能控制装置与升降动力装置和水平驱动装置均电联接。
2.如权利要求1所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于：所述对射式传感器包括上对射式传感器和下对射式传感器，所述上对射式传感器的发射端和接收端处于同一水平位置；所述下对射式传感器的发射端和接收端处于同一水平位置，且上对射式传感器和下对射式传感器之间的间距大于硅片的厚度而小于片盒的硅片间距。
3.如权利要求2所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于：所述升降座包括放置平台、连接底座和竖直座，所述放置平台固定于连接底座的上端，所述连接底座固定于竖直座的上端，竖直座竖直滑动安装于机架上，所述竖直座与升降动力装置传动连接，所述放置平台上设置有与片盒底部对应的定位凸台。
4.如权利要求3所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于：所述放置平台上设置有用于检测放置平台上是否有片盒的接触式传感器，所述接触式传感器与智能控制装置连接。
5.如权利要求4所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于：所述升降动力装置包括升降伺服电机，所述升降伺服电机与竖直座之间的通过丝杠螺母机构传动连接。
6.如权利要求5所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于：所述放置平台与连接底座之间的安装方式为：所述连接底座上螺纹安装有四根螺钉，所述四根螺钉的上端均与放置平台转动连接。
7.如权利要求1至6任一项所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于：所述取片座包括水平的取片板和连接于取片板底部的竖直连接板，所述取片板上设置有若干个与抽吸系统连通的吸片孔，所述竖直连接板水平滑动安装于机架上，所述水平驱动装置与竖直连接板之间通过同步带轮机构传动连接。
8.如权利要求7所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于：所述水平驱动装置包括水平伺服电机，所述机架上安装有主同步带轮和从同步带轮，所述主同步带轮和从同步带轮之间连接有同步带，所述水平伺服电机的输出轴与主同步带轮连接。