技术总结
本实用新型公开了一种光刻机的取片装置，包括机架，所述机架上竖直滑动安装有升降座，机架上水平滑动安装有取片座，取片座与水平驱动装置传动连接，机架上设置有用于检测片盒内对应的插槽中是否有硅片的对射式传感器，对射式传感器的发射端或接收端固定位置处于片盒的背侧，对应的，对射式传感器的接收端或发射端固定于机架上且位于片盒的正侧，片盒和取片座处于对射式传感器的发射端和接收端之间，对射式传感器与智能控制装置电联接，智能控制装置与升降动力装置和水平驱动装置均电联接。该取片装置通过对射式传感器可以准确的检测片盒中是否有硅片，使取片装置的取片动作和送回动作都准确，减少了硅片插装的误差，保证光刻工作有效进行。
技术研发人员：丁桃宝;刘敏洁
受保护的技术使用者：张家港晋宇达电子科技有限公司
文档号码：201621294741
技术研发日：2016.11.29
技术公布日：2017.05.31