形成模具嵌入物和模具的光刻方法

文档序号:4422423阅读:284来源:国知局
专利名称:形成模具嵌入物和模具的光刻方法
技术领域
本发明涉及制作包括(但不限于)眼科透镜等物品的方法和器具。具体说,本发明提供用光刻来形成在制作物件中有用的模具嵌入物和模具的方法和装置。
背景技术
大家都很熟悉采用眼科透镜(包括眼镜用透镜,隐形眼镜,眼内透镜等)来矫正屈光不正。采用铸造或模制法生产透镜需要利用模具来将所要求的矫正特性赋于透镜表面。另外,制作过程可能还需要生产模具嵌入物。例如,在制作隐形眼镜时要制备金属嵌入物,然后将它用于透镜模具的生产中。
对应于各种透镜所需的球形、老化(add)、柱形度数(power)以及它们的组合,通常需要大量的模具和模具嵌入物库存。模具和模具嵌入物库存的生产和维护成本很高。另外,已知的生产和使用模具和模具嵌入物的过程在生产为特殊配戴者定做的透镜时例如为特定配戴者的角膜形状定做隐形眼镜时的效率和性能价格比都不高。
美国专利NO.6,086,204中介绍了一种试图不需大量库存模具的生产透镜的方法。此专利采用单独使用或者与金属表面结合使用机械指状物的定制的加热模具将所要求的矫正特性赋于透镜坯件。这种方法的缺点在于它不适合于生产某些眼科透镜,如软隐形眼镜,因为软隐形眼镜材料是不能加热变形的热固化性材料。这种方法的另一个缺点是,利用加热模具来模制透镜材料,要求透镜坯件的光轴完全与模具的光轴对准,这给透镜的生产带来很大的困难。最后,由于这种方法是一种热模制过程,故在价格性能比上不是最好的。因此需要有一种用模具生产透镜的方法,它能减少透镜的库存,还能克服这些缺陷中的一些或者全部。


图1是利用照明装置和灰度掩模在衬底坯件上显影光刻胶或涂层的示意图。
图2A显示一个平顶坯件。
图2B是上面淀积了光刻胶涂层的平顶坯件。
图3A是一个曲面坯件。
图3B是上面淀积了光刻胶或涂层的曲面坯件。
图4A是在其曲面上有已显影的光刻胶或涂层的曲面坯件。
图4B是除去未显影的光刻胶或涂层后留下的带有要求的曲面的图4A的装置。
图5A在其曲面上带已显影光刻胶或涂层,而且未显影光刻胶或涂层已被除去的曲面坯件。
图5B示出了图5A的装置,其中已显影光刻胶或涂层经过刻蚀而在坯件或衬底上产生带任选涂层的所需表面。
本发明及其优选实施例的说明本发明提供一种用于制作用来生产眼科透镜等物件的模具和模具嵌入物的光刻方法。在透镜的制作中,本发明可以生产全部惯用范围内的透镜,而同时减少所需的模具和模具嵌入物库存量。本发明的方法可用于提供定做的透镜的方法中。
本发明可应用于模制和成型不同尺寸的(包括(但不限于))透镜等各种物件。只是为了便于说明,这里以眼科透镜作为例子。
在一个实施例中,本发明提供一个用于包括,基本包含和包含衬底的模制应用中的曲面,其中衬底对于照射源是基本透明的,而且所述衬底有一个具有曲面的涂层,该曲面被用作模具表面,并且通过下述步骤形成a)在衬底第一表面上淀积一种经照射后可固化的淀积物,b)此淀积物通过穿过与第一表面相对的衬底第二表面的照射而选择性地显影,此照射进入淀积物而产生已显影的淀积物和未显影的淀积物,这个曲面是远离衬底表面的已显影淀积物的表面。
在另一个实施例中,本发明提供一个用于包括,基本包含和包含衬底的模制应用中的曲面,其中衬底对于照射源是基本透明的,而且具有曲表面,该曲面被用作模具表面,并且通过下述步骤形成a)在衬底第一表面上淀积一种经照射后可固化的淀积物,b)此淀积物是通过穿过与第一表面相对的衬底第二表面的照射而选择性地显影,此照射进入淀积物而产生已显影的淀积物和未显影的淀积物,此已显影淀积物形成所需的曲面,c)此已显影淀积物经刻蚀而在衬底内形成所须曲面的一个镜象或复制品,以产生曲面的衬底。
还有一个实施例中,本发明提供的方法包括,基本包含,和包含a)将一种经照射后可固化的材料淀积到透镜模具坯件或透镜模具嵌入物坯件的至少一个表面上;b)在适宜于形成光学品质模制表面的条件下使经照射后可固化的材料固化,该光学品质模制表面在经照射后可固化的材料的至少一个表面上具有特定的光学特性。
对于本发明来说,术语“固化”和“显影”可以互换使用。所谓“经照射后可固化的材料”是指可以用光、电子束、伽马射线、热、无线电波、微波等固化的光刻胶或涂层。
对于本发明的一些例子而言,“眼科透镜”是指眼镜用透镜、隐形眼镜、眼内透镜等。“光学品质”是指表面足够光滑,使得由透镜形成材料或透镜模具形成材料经聚合而形成的与模制表面接触的表面在光学上是可以接受的。优选地,“光学品质”意味着表面的均方根(RMS)粗糙度小于约100nm,最好是小于约20nm。
“透镜模具坯件”是指可用来形成模具的坯件,利用此模具可以模制透镜。更具体地说,在本发明的过程中,将经照射后可固化的材料淀积到一个透镜模具坯件表面上并经固化在该坯件上形成一个表面,该表面可用来模制一个透镜表面。类似地,“透镜模具嵌入物坯件”是指可用来形成透镜模具嵌入物的坯件,用此模具嵌入物可以形成透镜模具。所谓“光学特性”是指一个或数个球面、非球面、复曲面或柱面曲率,用来矫正三级或更高级象差的曲率等,以及它们的组合。
按照本发明,用于模具内的曲面可以利用光源或电子束源来显影或固化坯件上的经照射后可固化的材料而形成。在本发明的方法的一个实施例中,将一种经照射后可固化的材料淀积在一个衬底(这里也叫做坯件)上,并通过光穿过灰度掩模和坯件的照明而固化。涂层未固化部分被除掉,而留下来的已显影部分用作所要求的表面。在另一个可能的实施例中,已显影材料经过刻蚀产生一个实际的刻蚀坯件而形成所要求的表面。两种方法都产生可以用额外涂层覆盖的表面。
图1大概显示显影坯件中的材料的方法。坯件110和经照射后可固化的材料120装在一个固定装置上,该固定装置设定衬底相对于灰度掩模130的位置。此固定装置最好能把位置控制到至少约10μm,而且可以是任何适当的固定装置,如精密X-Y工件台等。在使用负光刻胶等方法的情况下,该材料被从照明源140来的照明光(如紫外光等)150穿过灰度掩模130及坯件110而曝光。照明光穿过坯件110进入材料120将材料190显影,显影取决于灰度掩模130决定的穿透深度170。典型的情况是,照到灰度掩模上的紫外光强度约为1mW至5mW,曝光时间大约是0.5至30秒。显影或固化时间与所用的经照射后可固化的材料和照射的强度有关。
固化后产生一种具有所需形状的表面160的、已显影的经照射后可固化的材料190。曝光后将未固化的材料180除掉。为此可采用任何方便的方法,如把未固化材料旋转甩掉。可以采用的如丙酮、乙醇、四甲基氢氧化铵或二氧甲烷等,但这不是优选的。
较好的方法是在氮气中将未固化材料分三个周期旋转甩出,一个在约200-400rpm下旋转30秒;一个在700rpm下旋转约30秒;第三个周期在约2000rpm下旋转120秒左右。在最后一次旋转中,例如采用强度为16mW/cm2的365nm的光以大约0.5周期/秒的开关速度曝光而使表面55固化。即使在未固化材料除掉后仍有一个薄层留着。在旋转过程的第三个周期中,这一剩余薄层是在模具仍然运动的情况下固化,因而此层在动态力起作用的情况下被聚合化。
如上所述,本发明方法的第一个步骤是将经照射后可固化的材料淀积在透镜模具或透镜模具嵌入物坯件上。此坯件最好对150-500nm左右的光是透明的。工业上制造坯件的方法大家都很熟悉。例如,聚合物坯件可用模制、铸造等方法形成,而金属坯件可用金刚石尖端车削而成,玻璃坯件可用磨削或抛光形成。坯件可用通常用于半导体或眼科产业中的任何材料制成。合适的材料包括(但不限于)聚苯乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚碳酸酯、聚甲醛、丙烯、聚醚亚胺、尼龙、聚氯乙烯、环烯烃、黄铜、镀镍黄铜、不锈钢、镀镍不锈钢、铝等。
图2和3表示可用于本发明的方法的两类坯件。图2A为具有平面210和底座220的平顶坯件200。图2B为带淀积物的平顶坯件230。在平面210上淀积了经照射后可固化的材料240。图3A是具有曲面310的曲面坯件300,曲面上淀积了经照射后可固化的材料340(见图3B)。使用辐照源或照明源通过照射把淀积物240和340显影成所要求的形状。
用于本发明的经照射后可固化的材料最好是可与形成透镜或透镜模具的材料相匹配的。决定经照射后可固化的材料是否相匹配的因素包括(但不限于),它是否与形成透镜或透镜表面的材料相粘接或者起化学反应。另外,如果由模具或模具嵌入物形成的透镜或透镜模具是用紫外光或可见光来固化,则经照射后可固化的材料最好是对适当波长的光透明的。在透镜模具嵌入物由经照射后可固化的材料和模具嵌入物坯件制成的实施例中,已固化的经照射后可固化的材料最好具有至少70左右的萧氏硬度(Shore D)。此外,在将材料淀积在透镜模具坯件的实施例中,固化或未固化的经照射后可固化的材料必须适合于淀积成10-500μm左右的一层。经照射后可固化的材料的另一些希望有的特性取决于它是否用来形成透镜模具或透镜模具坯件。不过一般而言,未固化或未显影的经照射后可固化的材料最好在25℃下具有小于约500cps的粘滞度,小于20%的固化收缩率,大于750psi左右的固化张力强度,和按体积小于约1%的固化吸收率。合适的商用材料包括(但不限于)聚氨酯丙烯酸酯、环脂肪族环氧树脂、聚氨酯低聚物、氢化双酚A环氧树脂、聚降冰片烯环氧树脂等,以及它们的组合。
经照射后可固化的材料可以用任何方便的方法淀积,只要该方法保证整个坯件表面都被覆盖着,而且在坯件和该材料的界面上没有空隙。适当的淀积方法取决于所用的是正光刻胶类还是负光刻胶类方法。“负光刻胶类方法”表示淀积过量的材料,其中一部分被固化,而未固化材料被除掉。“正光刻胶类方法”表示淀积形成所需表面的材料量并固化。如采用负光刻胶类方法,则淀积材料时无需控制厚度,只要在衬底和该材料之间能基本连续接触即可。在采用负光刻胶类方法来生产隐形眼镜模具或模具嵌入物的情况下,典型地淀积约50mg至约1g的材料。若采用正光刻胶类方法,则将经照射后可固化的材料分配到表面上时应使厚度控制在要求的参数以内。在此情况下,淀积通常是用旋涂机进行。
在显影步骤b)中,经照射后可固化的材料用任何适当的方法固化,包括热、光、或其它辐射固化,以及它们的组合。最好是采用由熔融灯、金属卤素灯、弧光灯等发出的约100至约800nm的光。固化可以在任何适当的温度、压力和时间条件下进行。最好采用约150至约500nm范围的光在室温和大气压力下,而且在氮气保护层下进行0.1秒至30分钟左右的固化。完成固化的具体时间根据所选的材料和材料的厚度以及是否采用热、光、或其它而定。
图4A表示步骤400,其中曲面坯件410的曲面覆盖着一种已显影的经照射后可固化的材料430和一种未显影涂层420。涂层的显影按图1所述的方法进行。图4B表示步骤440,其中未固化涂层420已被除掉,在剩下的已显影涂层430上涂覆一种任选的涂层450。在对固化辐照透明的坯件410的曲面上淀积经照射后可固化的材料。例如,坯件或模具坯件410可以是对UV光透明的。然后让UV光源发出的光穿过灰度掩模使材料固化。灰度掩模用来控制照在材料上的UV光的强度。把所要求的表面轮廓作为一个数据或参考表面,根据它来设定UV光透射进经照射后可固化的材料的深度。通过设定透射深度可将所要求的光学特性赋予材料的表面。作为灰度掩模的一种替代,可以使用电子灰度掩模,例如液晶显示(LCD)单元阵列或相当的空间光调制器。
利用灰度掩模来固化的详情如下。使用灰度掩模的目的是调制照在经照射后可固化的材料上的光在将要形成的表面上每一点的强度。对光强度的调节程度将取决于在表面上每一点所需的穿透深度。
对材料进行标定以提供材料固化深度与灰度级或经照射后可固化的材料上固化辐照的入射强度之间的关系曲线。在进行材料标定时,光刻胶已被曝光且未固化的光刻胶已被去掉。得到的表面形状可用任意方便的方法(例如利用VEECOTM白光干涉仪)测量,以确定已固化光刻胶上每一点的穿透深度。由于每一点对应于灰度掩模上的一点,这就产生了一条校准曲线。重复此步骤可得到一条估计穿透深度偏离的曲线。
本专业技术人员明白,采用灰度掩模只是调制光强度的一种方式。此外还可以采用适配镜产生一个波前(波前强度是横过它的表面而调制的),利用一束光纤产生一个空间调制的光强度,以及利用一个离散的镜阵列使得光偏转来进行调制。
灰度掩模可以用任意方便的方法制成。例如(但不限于),可通过将不同灰度梯度级用一个分辩率约为600或更高的印刷机印在一个透明物体上而形成灰度掩模。或者,可采用一个LCD阵列(其中每个LCD单元的透光率可通过在该单元上加一个电压来控制)来形成电子灰度掩模。还有一种方法是按大家熟知的方法进行电子束直写而形成掩模。通过让掩模以小幅度在随机方向振动可以优化印刷灰度掩模的性能。或者,可以使处在掩模和衬底之间的透镜散焦。这些方法中的任何一种用来提供点的离散特性,将它转移到显影材料上即可形成印刷掩模。
灰度级或辐照强度是以透镜模具或透镜模具嵌入物的设计,衬底的设计,以及校准曲线为基础的。模具或模具嵌入物的设计决定衬底上每个位置的材料厚度,这又确定在每个位置上固化辐照需要穿透材料的深度。然后通过利用校准曲线将穿透深度信息转换为灰度级信息而确定灰度级。
图4B表示在未固化或未显影材料420除掉后露出已显影材料430界定的表面460的坯件410。然后利用带任选涂层450的固化材料430作为生产透镜的背面曲面模具的一半,利用表面460和470来形成透镜的表面。在这种情况下,表面460和470必须具有光学品质。固化材料430的尺寸、形状和厚度将与待生产的透镜类型有关。它的厚度最好是0.5至5000μm左右。
作为一个可选步骤,已固化的经照射后可固化的材料可以涂上一层涂层450。材料上可以涂覆任何适合形成高度交联的不起化学反应的表面的涂层,这种表面适合于采用标准的方法和操作规程分离的透镜。涂覆可以采用任何适当的方法进行。所得涂层厚度最好在5至10μm左右。
在图5A和5B所示的另一个实施例中,坯件510的表面经过刻蚀并用作模具表面。图5A所示的步骤500中,留下的是一个带已显影涂层520的曲面坯件510。已显影涂层520被刻蚀(580)。例如,已显影涂层520可以是等离子体(如HF离子)蚀刻,或经过湿法刻蚀的,也可以是半导体刻蚀中普遍使用的激光刻蚀的。这些刻蚀方法只是作为例子而不仅仅限于此。
图5B表示由衬底510的刻蚀表面540形成的刻蚀模具530。蚀刻表面540具有与上面讨论的已显影涂层表面460相同的光学品质。
示于图4B和5B中的模具是适于模制透镜的背面或眼睛侧面的半个背模具。为了模制一个透镜,要用半个辅助模具。本发明的模具可由两个半模具组成,其中每一个由经照射后可固化的材料制成。也可以一个半模具用该材料做,而另外半个模具用普通材料按传统方法制成。为了模制透镜可用任何适当的接触装置(包括(但不限于)步进马达、螺旋驱动器等及其组合)让这两个半模具相互接触。当定好位后以便模制透镜时,这两半模具可以彼此相接触。在这种情况下,最好用一个密封装置将模具密封起来,以便形成合格的透镜边缘。例如,两半模具接触时其间可能形成干涉配合。按这种方法,后半个模具是被压入前半个模具内,从而形成一个密封。其它的适当密封装置包括(但不限于)机械互锁、密封垫片、O形圈等及其组合。若两半模具不彼此接触,最好用一个掩模使只希望聚合的那部分区域曝光。本发明的两半模具和整块模具可以用任何适当的支撑装置来支撑。支撑装置包括(但不限于)托板、支撑架等及其组合。
在一种形成透镜的优选实施例中,可用任何适当的装置把透镜形成材料淀积在模制表面上。分配在腔内的透镜形成材料的体积将是制造一个透镜的量,该量便于有效形成所要求的眼科透镜。被淀积的材料的典型量约在0.01mg至1000g。
适合于制作隐形眼镜等透镜的透镜形成材料可以是任何用来形成硬或软隐形眼镜的材料。例如,透镜形成材料可以是适合于做软隐形眼镜的。形成软隐形眼镜的示例材料包括(但不限于)硅酮合成橡胶、含硅酮的大分子单体(包括但不限于被整体引用到这里作参考的美国专利No.5,371,147,5,314,960和5,057,578中介绍的材料)、水凝胶、含硅酮水凝胶等及其组合。更优选地,表面是一种硅氧烷、或包含硅氧烷官能团的,包括(但不限于)聚二甲基硅氧烷大分子单体、甲基丙烯酰氧基丙基聚烷基硅氧烷大分子单体及其混合物,硅酮水凝胶、或etafilcon A等水凝胶。
一种优选透镜形成材料是聚2-羟乙基甲基丙烯酸酯聚合物,其峰值分子量介乎约2,500至约80,000,聚合度分布性小于约1.5至小于约3.5,且具有至少一个分别共价键于其上的可交联官能团。这种材料在美国序列号60/363,630(律师案卷号VTN 588)的申请中有所说明,我们把它整体引用于此作参考。
作为另一种可能的选择,透镜形成材料可以是任何适于形成除隐形眼镜以外的眼科透镜的材料。例如,可用的软焦点透镜形成材料包括(但不限于)聚碳酸酯(如双酚A聚碳酸酯),烯丙基二醇聚碳酸酯(如二甘醇双烯丙基聚碳酸酯(CR-39TM)),烯丙基酯(如三烯丙基三聚氰酸酯,三烯丙基磷酸酯和三烯丙基柠檬酸酯),丙烯酸酯、丙烯酸盐、甲基丙烯酸酯(如甲基丙烯酸甲酯,甲基丙烯酸乙酯,甲基丙烯酸丁酯和丙烯酸甲酯,丙烯酸乙酯,丙烯酸丁酯),苯乙烯,聚酯等及其组合。
适于形成眼内透镜的材料包括(但不限于)聚甲基丙烯酸甲酯,羟乙基丙烯酸甲酯,惰性清洁塑料,以基于硅酮的聚合物等及其组合。
淀积在模具内的透镜形成材料的固化可以通过现有的任何方法进行,包括(但不限于)热固化、辐照固化、化学固化、电磁辐射固化等及其组合。模制最好利用紫外光或全频谱可见光进行。更具体地说,适合于固化透镜形成材料的精确条件与所选的材料和要形成的透镜有关。
对于隐形眼镜的聚合过程大家都熟悉。美国专利5,540,410披露了一些适当的过程,我们把它整体引用过来作参考。为形成隐形眼镜,优选的固化条件是,利用强度为约2至约10mW/cm2的紫外光对模具组件进行予固化。在预固化之后,让模具组件暴露在强度为约0至约10mW/cm2的紫外光下。适宜的波长为约300至约500nm。低强度曝光的时间取决于所选的透镜形成材料,所用激励器的类型和数量,材料的粘滞性和其反应组的性质,UV光的强度。预固化和后续的UV曝光可以也最好以单次连续曝光方式进行。但也可以采用交替的UV曝光和非曝光周期进行。聚合步骤优选在40-75℃左右的温度和大气压力下而且最好在氮气保护层中进行。总的固化时间在约300至约500秒。
在采用峰值分子量介于约25,000至约80,000左右,聚合度分布性小于约1.5至小于约3.5的聚2-羟乙基甲基丙烯酸酯聚合物的实施例中,优选采用强度为约100mW/cm2至约50,000mW/cm2的UVA(约315-约400nm),UVB(约280-约315nm)或可见光(约400-约450nm)。在环境温度下的固化时间一般少于约30秒,最好少于10秒左右。不管选取什么聚合方法,其精确条件要根据所选透镜材料的组成而定,可由本专业技术人员自行确定。
通过下面的非限制性实例可进一步了解本发明。
实例两个凹面玻璃半模具坯件涂覆1ml左右的Norland光学#72环氧树脂,所述环氧树脂分散在两个半模具中的每一个内。一个模具半坯件的固化用UV光(356nm)在20mW/cm2下辐照5秒钟,另一半模具坯件在80mW/cm2下辐照20秒,两者都在室温下进行。按表1的旋转规程通过旋转两半模具把多余的环氧除掉。在最后的旋转周期内,在室温下用UV光(356nm)在10-20mW/cm2强度下曝光使环氧层的外表面固化。
表1

所产生的第一和第二半模具的固化环氧表面分别具有RMS为28nm和26nm的粗糙度。
按照本发明可对用于制作透镜的模具的设计和方法作多种更改。本专业技术人员清楚如何对这里描述的本发明进行更改。这类更改不能认为是背离本发明的思路和范围,而且本专业技术人员清楚,所有这些修改都包括在下面的权利要求书的范围之内。
权利要求
1.用于模制应用中的曲面,包括衬底,其中所述衬底对辐照源基本上是透明的,所述衬底具有带曲面的涂层,该曲面被用作模具表面,而且是这样形成的a)将经照射后可固化的淀积物淀积在衬底的第一表面上;及b)通过让辐照透过与第一表面相对的该衬底第二表面而使淀积物有选择地显影,进入淀积物的辐照产生显影淀积物和未显影淀积物,且曲面是远离衬底表面的已显影淀积物的表面。
2.用于模制应用的曲面,包括衬底,其中所述衬底对辐照源基本上是透明的,所述衬底具有曲面,该曲面被用作模具表面,而且是这样形成的a)将经照射后可固化的淀积物淀积在衬底的第一表面上;及b)通过让辐照透过与第一表面相对的该衬底第二表面而使淀积物有选择地显影,进入淀积物的辐照产生显影淀积物和未显影淀积物,已显影淀积物形成所需的曲面;及c)对已显影淀积物进行刻蚀以在衬底中形成所需曲面的镜面,从而产生曲面衬底。
3.一种方法,包括以下步骤a)将一种经照射后可固化的材料淀积到透镜模具坯件或透镜模具嵌入物坯件的至少一个表面上;b)让该经照射后可固化的材料在适合于形成光学品质模制表面的条件下固化,该光学品质模制表面在经照射后可固化的材料的至少一个表面上具有光学特性。
4.如权利要求3所述的方法,其中固化还包括对辐照进行调制。
5.如权利要求4所述的方法,其中调制可用掩模、适配镜、空间调制,或离散镜阵列来实现。
6.如权利要求4所述的方法,其中调制是用灰度掩模实现的。
7.如权利要求3所述的方法,其中经照射后可固化的材料是聚氨酯丙烯酸酯、环脂肪族环氧树脂、聚氨酯低聚物、氢化双酚A环氧树脂、聚降冰片烯环氧树脂,或它们的组合。
8.如权利要求4所述的方法,其中经照射后可固化的材料是聚氨酯丙烯酸酯、环脂肪族环氧树脂、聚氨酯低聚物、氢化双酚A环氧树脂、聚降冰片烯环氧树脂,或它们的组合。
9.如权利要求6所述的方法,其中经照射后可固化的材料是聚氨酯丙烯酸酯、环脂肪族环氧树脂、聚氨酯低聚物、氢化双酚A环氧树脂、聚降冰片烯环氧树脂,或它们的组合。
10.如权利要求4所述的方法,其中固化采用约100至约800nm的光进行。
11.如权利要求6所述的方法,其中固化采用约100至约800nm的光进行。
12.一种方法,包括以下步骤a)将一种经照射后可固化的材料淀积到透镜模具坯件或透镜模具嵌入物坯件的至少一个表面上;b)让该经照射后可固化的材料在适合于形成光学品质模制表面的条件下固化,该光学品质模制表面在经照射后可固化的材料的至少一个表面上具有光学特性;及c)涂覆该光学品质表面。
全文摘要
本发明提供制造用于眼科透镜生产中的模具和模具嵌入物的光刻方法。本发明可用在为透镜佩戴者提供定做的眼科透镜的方法中。
文档编号B29D11/00GK1708727SQ200380102296
公开日2005年12月14日 申请日期2003年10月3日 优先权日2002年10月28日
发明者J·哈查恩科, R·科拉克, T·米纳密塔尼, G·J·霍夫曼, T·R·鲁内 申请人:庄臣及庄臣视力保护公司
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