一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置的制作方法

文档序号:26001457发布日期:2021-07-23 21:18阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置,包括箱体(1),所述箱体(1)的底部固定连接有底座(2),其特征在于:所述箱体(1)内腔的右下角固定连接有溶液箱(3),所述箱体(1)内壁的前后两侧之间且位于溶液箱(3)的顶部转动连接有滚筒(4),所述滚筒(4)的底部贯穿溶液箱(3)的顶部并延伸至溶液箱(3)的内部,所述箱体(1)的前后两侧之间且位于溶液箱(3)的左侧贯穿滑动连接有引导辊(5),且箱体(1)的前后两侧均开设有与引导辊(5)相适配的滑槽(6),所述箱体(1)的前后两侧之间且位于滑槽(6)左端的底部转动连接有传动辊(7),所述箱体(1)内壁的前后两侧之间且位于传动辊(7)的下方固定连接有向左上方斜向吹风的第一吹气筒(8),所述箱体(1)的左壁且位于传动辊(7)的左侧开设有出料口。

2.根据权利要求1所述的一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置,其特征在于:所述箱体(1)的右上角转动连接有加热烘干箱(9),所述加热烘干箱(9)的左侧呈与滚筒(4)表面平行的弧面,所述加热烘干箱(9)的左侧固定连接有弧形丝网(10),且弧形丝网(10)的右侧缝合有纱布(11)。

3.根据权利要求1所述的一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置,其特征在于:所述加热烘干箱(9)内表面的顶部固定连接有加热座(12),且加热座(12)的底部固定连接有螺旋加热丝(13),所述加热烘干箱(9)的内表面且位于螺旋加热丝(13)的下方固定连接有镂空板(14)。

4.根据权利要求1所述的一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置,其特征在于:所述箱体(1)内腔的左上角固定连接有机箱(15),且机箱(15)内腔的底部固定连接有鼓风机(16),所述鼓风机(16)的出风口连通有四通管(17),所述四通管(17)的三面分别连通有第一吹风管(18)、第二吹风管(19)和第三吹风管(20),所述第一吹风管(18)的右端与加热烘干箱(9)的左侧连通,所述第二吹风管(19)的一端贯穿箱体(1)的后壁并与第一吹气筒(8)的右侧连通。

5.根据权利要求1所述的一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置,其特征在于:所述箱体(1)内壁的前后两侧之间且位于溶液箱(3)的左上角转动连接有刮板(21),且刮板(21)的右侧与滚筒(4)的表面贴合,所述刮板(21)底部的右侧与溶液箱(3)的顶部之间固定连接有弹簧(22)。

6.根据权利要求5所述的一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置,其特征在于:所述箱体(1)内壁的前后两侧之间且位于刮板(21)的上方固定连接有第二吹气筒(23),且第二吹气筒(23)的顶部与第三吹风管(20)的一端连通。

7.根据权利要求1所述的一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置,其特征在于:所述滚筒(4)的表面滑动套设有分隔圈(24),且分隔圈(24)的外表面开设有凹槽,所述加热烘干箱(9)左侧的底部卡接有方轴(25),且加热烘干箱(9)左侧的底部开设有多个定位方孔(26),所述方轴(25)的左端固定连接有刮膜块(27),且刮膜块(27)的左侧与凹槽的内表面贴合。

8.根据权利要求4所述的一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置,其特征在于:所述箱体(1)内壁的前后两侧之间且位于鼓风机(16)的左侧固定连接有圆筒(28),且圆筒(28)的内部滑动连接有过滤芯(29),所述箱体(1)内壁的后侧且位于过滤芯(29)内表面的后端固定连接有定位环(30),所述箱体(1)的后壁且位于过滤芯(29)内腔的后侧固定连接有滤网(31),所述过滤芯(29)的前侧延伸至箱体(1)的正面,所述鼓风机(16)的进气口与圆筒(28)之间通过抽气管(32)连通。

9.根据权利要求1所述的一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置,其特征在于:所述箱体(1)的右侧与溶液箱(3)的顶部之间贯穿有注液管(33),所述箱体(1)的右侧固定连接有与注液管(33)右端连通的注液斗(34),且注液斗(34)的顶部磁吸有密封盖(35),箱体(1)的背面且位于滑槽(6)的外部固定连接有保护罩(36),所述箱体(1)的正面滑槽(6)的上方固定连接有防护帘(37)。

10.根据权利要求1所述的一种用于快速制备氮化镓薄膜的方法,其特征在于:使用时,将薄膜原液从注液斗34倒入,原液通注液管33流进溶液箱3内,注好后将密封盖35盖在注液斗34上,然后将控制面板42连接电源,控制鼓风机16、加热座12、第一电机38和第二电机39按照程序启动,在加热座12为螺旋加热丝13供电使其发热,第二电机39通过第二皮带轮机构41带动滚筒4缓慢的逆时针转动,滚筒4转动过程中原液附着在其表面形成薄膜,同时鼓风机16通过抽气管32抽取圆筒28内空气,间接从外界吸入空气,外界空气经过滤网31和过滤芯29双重过滤后被鼓风机16抽取,然后分成三股排出,三股气流分别通过三根吹风管吹进第一吹气筒8、第二吹气筒23和加热烘干箱9内,该股气流被螺旋加热丝13加热,然后穿过镂空板14和纱布11,均匀吹向滚筒4表面的原液,对其进行烘干+风干,原液快速干燥成型,然后传输至左侧,当薄膜经过刮板21时被其刮下,并被第二吹气筒23乡下吹动的气流吹到引导辊5表面,然后员工手动将引导辊5向左推动,使其顺着滑槽6滑到其左端,同时引导辊5表面附着的薄膜牵引至传动辊7表面,同时第一电机38通过第一皮带轮机构40带动传动辊7缓慢的逆时针转动,将薄膜向左传送,然后员工将引导辊5顺时针转动,使薄膜脱离引导辊5,再从前侧抽出引导辊5,再从滑槽6右侧插回到箱体1内,薄膜牵引到传动辊7上后,第一吹气筒8向左上方吹风,将薄膜从出料口吹出,定期将滤网31外表面清理干净,并抽出过滤芯29进行清洗。


技术总结
本发明公开了一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置,包括箱体,所述箱体的底部固定连接有底座,所述箱体内腔的右下角固定连接有溶液箱,所述箱体内壁的前后两侧之间且位于溶液箱的顶部转动连接有滚筒,所述滚筒的底部贯穿溶液箱的顶部并延伸至溶液箱的内部,所述箱体的前后两侧之间且位于溶液箱的左侧贯穿滑动连接有引导辊,本发明涉及薄膜制备技术领域。该用于快速制备氮化镓薄膜的装置,通过设置引导辊,可将薄膜牵引至传动辊上,使薄膜贴合传动辊表面,便于后续传输,然后利用第一吹气筒向左上方吹风,可将薄膜的一端吹出装置,便于在外部卷收,操作简单,不同打开箱体进行牵引,大大提高了工作效率。

技术研发人员:潘晓华;吴利明
受保护的技术使用者:杭州鹏龙科技有限公司
技术研发日:2021.04.21
技术公布日:2021.07.23
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