专利名称：推拉舟带热屏蔽罩的前限位装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于一种电热加工工艺中与电热炉配套使用的推拉舟上的配件，具体
是扩散炉的推拉舟上带热屏蔽罩的前限位装置。
背景技术：
在电热加工工艺中使用一种电热炉，比如，太阳能电池上使用的硅片加工中，使用 一种扩散炉，该扩散炉配套使用一种推拉舟，用来将硅片送入炉中和从炉中取出。在该推拉 舟上设有限位开关，用以控制推拉舟进入炉中的位置。目前使用推拉舟的限位开关没有热 屏蔽，用于带升降温的半导体晶片生产工艺。由于太阳能电池生产的高效率要求，工艺结束 后没有降温阶段，进出料时由于炉口的高温烘烤，限位开关，特别是前限位开关经常会出现 不动作或误动作，直接影响推拉舟的传动，导致设备不能正常运转；不能满足规模化生产的 要求。因此，需要对其进行改进。
实用新型内容本实用新型的目的是为了解决上述技术问题，提出一种推拉舟带热屏蔽罩的前限 位装置。该热屏蔽罩较好地解决了上述技术问题。 本实用新型的目的是通过以下技述方案来解决的推拉舟带热屏蔽罩的前限位装 置，设有支架、限位开关，限位开关固定在支架上，其特征在于所述支架为一个方筒形，其 下底板上设有用以在推拉舟上固定的固定孔，下底板对应推拉舟的感应片的位置设有作为 感应片进出通道的开口，在一个侧壁上设有固定感应片的长圆槽，所述限位开关可调节地 安装在该长圆槽中，支架朝向前面的一端为密封，后端开放。 本实用新型的推拉舟带热屏蔽罩的前限位装置，其支架设计成方筒状，固定于推 拉舟上盖板上，前端靠炉口处封闭，后端开放，下侧有开口作为感应片进出的通道， 一侧有 长圆槽用于安装限位开关。既利于限位开关的安装与调整，方便感应片进出和有效感应，又 能对其进行有效的热保护，保证了设备的正常运行。
图1是本实用新型在推拉舟上安装状态的示意图； 图2是本实用新型的立体结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明实施例参见附图，推拉 舟带热屏蔽罩的前限位装置，设有支架、限位开关，限位开关固定在支架上，所述支架1为 一个方筒形，其下底板上设有用以在推拉舟1. 0上固定的固定孔4，下底板对应推拉舟的感 应片1. 1的位置设有作为感应片进出通道的开口 5，在一个侧壁上设有固定感应片的长圆 槽2，所述限位开关3可调节地安装在该长圆槽中，支架朝向前面的一端为密封，后端开放。[0009] 本实施例经试用效果非常好c
权利要求一种推拉舟带热屏蔽罩的前限位装置，设有支架、限位开关，限位开关固定在支架上，其特征在于所述支架(1)为一个方筒形，其下底板上设有用以在推拉舟(1.0)上固定的固定孔(4)，下底板对应推拉舟的感应片(1.1)的位置设有作为感应片进出通道的开口(5)，在一个侧壁上设有固定感应片的长圆槽(2)，所述限位开关(3)可调节地安装在该长圆槽中，支架朝向前面的一端为密封，后端开放。
专利摘要本实用新型公开了一种推拉舟带热屏蔽罩的前限位装置，设有支架、限位开关，限位开关固定在支架上，其特征在于所述支架(1)为一个方筒形，下底板上设有用以在推拉舟上固定的固定孔(4)，正对着感应片的一边与相邻侧壁之间设有作为感应片进出通道的开口(5)，在一个侧壁上设有感应片固定的长圆槽(2)，所述限位开关(3)可调节地安装在该长圆槽中，支架朝向前面的一端为密封，后端开放。本实用新型适用于做扩散炉的推拉舟上的前限位装置，方便感应片进出和有效感应，又能进行有效的热保护，保证设备的正常运行。
文档编号F27D5/00GK201440040SQ200920109660
公开日2010年4月21日 申请日期2009年6月30日 优先权日2009年6月30日
发明者李补忠, 桂晓波, 郝晓明 申请人:北京七星华创电子股份有限公司