专利名称：一种石英密封炉门的制作方法
技术领域：
本实用新型属于光电技术领域，具体涉及一种太阳能电池片掺杂生产 过程中的高密封性闭管扩散炉用石英炉门。
背景技术：
在太阳能电池片生产中，需要将P型衬底硅片表面通过高温扩散方式
形成一薄层N型层，从而形成太阳能电池所必须的PN结。目前常用的工艺 方式是高温(90(TC)密闭N型杂质掺杂扩散。由于在高温反应过程中产生 较多对人体及环境有害的副产物，为了避免副产物从反应室泄漏影响到人 体健康及环境，需要设置石英炉门，现有的开口式扩散石英炉门与石英反 应腔容易发生碰撞导致损坏。 发明内容
本实用新型的目的是针对现有技术的不足，提供一种石英密封炉门。
本实用新型包括圆盖形的石英炉门本体，在石英炉门本体一侧的表面 沿圆周开有燕尾槽，耐高温硅氟密封圈设置在燕尾槽内；石英炉门本体开 有正方孔，SiC桨固定在正方孔上。圆柱形密封筒垂直固定在石英炉门本 体另一侧的表面，圆柱形密封筒的端面与正方孔位置对应。
本实用新型结构简单，不仅密封可靠而且避免了碰撞损坏。
图1为本实用新型的结构示意图2为图1的平面结构示意图。
具体实施方式
如图1和2所示， 一种石英密封炉门包括圆盖形的石英炉门本体1， 在石英炉门本体1一侧的表面沿圆周开有燕尾槽，耐高温硅氟密封圈3设 置在燕尾槽内；石英炉门本体1开有正方孔2， SiC桨固定在正方孔上。 圆柱形密封4筒垂直固定在石英炉门本体1另一侧的表面，圆柱形密封筒 的端面与正方孔位置对应。
权利要求1、一种石英密封炉门，包括圆盖形的石英炉门本体，其特征在于在石英炉门本体一侧的表面沿圆周开有燕尾槽，耐高温硅氟密封圈设置在燕尾槽内；石英炉门本体开有正方孔，圆柱形密封筒垂直固定在石英炉门本体另一侧的表面，圆柱形密封筒的端面与正方孔位置对应。
专利摘要本实用新型涉及一种石英密封炉门。现有的开口式扩散石英炉门与石英反应腔容易发生碰撞导致损坏。本实用新型包括圆盖形的石英炉门本体，在石英炉门本体一侧的表面沿圆周开有燕尾槽，耐高温硅氟密封圈设置在燕尾槽内；石英炉门本体开有正方孔，圆柱形密封筒垂直固定在石英炉门本体另一侧的表面，圆柱形密封筒的端面与正方孔位置对应。本实用新型结构简单，不仅密封可靠而且避免了碰撞损坏。
文档编号F27D1/18GK201402049SQ20092011831
公开日2010年2月10日 申请日期2009年4月23日 优先权日2009年4月23日
发明者何天力, 何旭梅, 向小龙, 蔡未央, 郦晓苗 申请人:浙江弘晨光伏能源有限公司