一种碳化硅板的制作方法

文档序号:12193087阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种碳化硅板,包括板体,其特征是,所述板体的内部设有至少一条将板体贯穿的热气通道;所述热气通道与所述板体的上表面平行;所述热气通道的直径为板体厚度的1/3~1/2;所述的板体为长方形,所述的热气通道沿板体的长轴线方向延伸,所述热气通道的轴线为直线或者曲线。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅板,其特征是,所述板体的厚度为30mm以内。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅板,其特征是,所述的热气通道设有若干条。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅板,其特征是,若干条所述热气通道之间相互平行且间隔相等。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅板,其特征是,所述热气通道的横截面呈矩形。

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