技术总结
本实用新型涉及一种Sweep型内置吹气喷嘴硅片干燥设备，所属硅片干燥设备技术领域，包括硅片干燥组件，硅片干燥组件外侧设有空气烘干机，空气烘干机上端设有与硅片干燥组件上端相法兰式管路连通的抽气管，空气烘干机下端与硅片干燥组件侧端间设有进气管。硅片干燥组件包括硅片干燥箱体，硅片干燥箱体内设有硅片网格挂箱，硅片网格挂箱两侧下端均设有滚轮架，滚轮架内侧与硅片网格挂箱间均设有若干支撑滚轮，硅片网格挂箱与进气管间设有若干与进气管相连通的进气分管，硅片干燥箱体上端设有与抽气管相法兰式管路连通的出气管。具有结构简单、干燥效率高和运行稳定性好的特点。解决了硅片上水分残留的问题。提高产品品质，达到较好的清洁及干燥效果。好的清洁及干燥效果。好的清洁及干燥效果。
技术研发人员：杉原一男
受保护的技术使用者：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
技术研发日：2019.12.31
技术公布日：2021/2/8