硅晶片烘干设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种硅晶片烘干设备。
【背景技术】
[0002]硅晶片在生产过程中，有清洗的工序，在清洗之后再通过烘干设备将硅晶片烘干，现有市面上的硅晶片烘干设备的出料口是敞开的，这样，烘干设备内的热量容易散失，从而影响烘干效率及效果。
【实用新型内容】
[0003]对此，本实用新型旨在提供一种能有效提高烘干效率及效果的硅晶片烘干设备。
[0004]实现本实用新型目的的技术方案是:
[0005]—种硅晶片烘干设备，其烘干腔内设有传送链条，所述烘干腔的出料口处安装有门板和用于控制所述门板开启和关闭的驱动装置。
[0006]上述技术方案中，所述驱动装置包括气缸，所述气缸的气缸杆端部与所述门板连接；
[0007]所述出料口侧边框处设有与所述门板侧边缘配合的导槽，在所述门板的下方设有控制所述气缸工作的感应开关。
[0008]上述技术方案中，所述气缸通过气缸固定座固定在所述烘干腔外壳顶部；
[0009]所述气缸固定座包括与气缸本体固定连接的固定部和与所述烘干腔外壳固定连接的安装部，所述固定部上设有通过螺栓与所述气缸本体固定连接的固定孔、适于与所述气缸本体固定端部相配合的定位槽以及适于所述气缸杆穿过的穿孔，所述安装部上设有通过螺栓与机体固定连接的安装孔。
[0010]上述技术方案中，所述固定部与所述安装部连接构成的所述气缸固定座为L形。
[0011]本实用新型具有积极的效果:(1)本实用新型中的硅晶片烘干设备的结构合理，在烘干过程中，通过关闭门板能有效防止烘干腔内热量从出料口散失，从而提高了硅晶片的烘干效率及烘干效果，具有很好的使用效果。(2)本实用新型中的驱动装置在工作时，感应开关感应到硅晶片临近时控制气缸动作打开门板，硅晶片撤去后感应开关控制气缸动作关闭门板，从而实现门板自动化控制，无须人工操作。(3)本实用新型中，气缸固定座的结构合理，能够可靠的将气缸固定到位，具有很好的使用效果。
【附图说明】
[0012]图1为本实用新型的硅晶片烘干设备的正向视图；
[0013]图2为本实用新型中气缸固定座的结构示意图。
[0014]图中所示附图标记为:1_烘干腔；2-传送链条；3-出料口；4-门板；5-气缸；51-气缸杆；52-气缸本体；6-感应开关；7-气缸固定座；71-固定部；72-安装部；73-固定孔；74-定位槽；75-穿孔；76-安装孔。
【具体实施方式】
[0015]下面结合说明书附图对本实用新型中硅晶片烘干设备的具体结构做以说明:
[0016]—种硅晶片烘干设备，如图1所示，其烘干腔1内设有传送链条2，所述烘干腔1的出料口 3处安装有门板4和用于控制所述门板4开启和关闭的驱动装置。本实施例中的硅晶片烘干设备的结构合理，在烘干过程中，通过关闭门板4能有效防止烘干腔1内热量从出料口 3散失，从而提高了硅晶片的烘干效率及烘干效果，具有很好的使用效果。
[0017]本实施例中，所述驱动装置包括气缸5，所述气缸5的气缸杆51端部与所述门板4连接;所述出料口 3侧边框处设有与所述门板4侧边缘配合的导槽，在所述门板4的下方设有控制所述气缸5工作的感应开关6。通过上述驱动装置在工作时，感应开关6在感应到硅晶片临近时控制气缸5动作打开门板4，硅晶片撤去后感应开关6控制气缸5动作关闭门板4，从而实现门板自动化控制，无须人工操作;上述驱动装置为气动装置，在实践操作中，也可采用其它常见的驱动装置，如手动装置，或电动装置。
[0018]进一步，所述气缸5通过气缸固定座7固定在所述烘干腔1外壳顶部;如图2所示，所述气缸固定座7包括与气缸本体52固定连接的固定部71和与所述烘干腔1外壳固定连接的安装部72，所述固定部71上设有通过螺栓与所述气缸本体52固定连接的固定孔73、适于与所述气缸本体52固定端部相配合的定位槽74以及适于所述气缸杆51穿过的穿孔75，所述安装部72上设有通过螺栓与机体固定连接的安装孔76，本实施例中的所述固定部71与所述安装部72连接构成的所述气缸固定座7为L形。该气缸固定座7的结构简化合理，能够可靠的将气缸5固定到位，具有很好的使用效果。
[0019]显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而这些属于本实用新型的实质精神所引伸出的显而易见的变化或变动仍属于本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种硅晶片烘干设备，其烘干腔(1)内设有传送链条(2)，其特征在于，所述烘干腔(1)的出料口(3)处安装有门板(4)和用于控制所述门板(4)开启和关闭的驱动装置。2.根据权利要求1所述的硅晶片烘干设备，其特征在于，所述驱动装置包括气缸(5)，所述气缸(5)的气缸杆(51)端部与所述门板(4)连接； 所述出料口(3)侧边框处设有与所述门板(4)侧边缘配合的导槽，在所述门板(4)的下方设有控制所述气缸(5)工作的感应开关(6)。3.根据权利要求2所述的硅晶片烘干设备，其特征在于，所述气缸(5)通过气缸固定座(7)固定在所述烘干腔(1)外壳顶部； 所述气缸固定座(7)包括与气缸本体(52)固定连接的固定部(71)和与机体固定连接的安装部(72)，所述固定部(71)上设有通过螺栓与所述气缸本体(52)固定连接的固定孔(73)、适于与所述气缸本体(52)固定端部相配合的定位槽(74)以及适于所述气缸杆(51)穿过的穿孔(75)，所述安装部(72)上设有通过螺栓与烘干腔(1)外壳固定连接的安装孔(76)。4.根据权利要求3所述的硅晶片烘干设备，其特征在于，所述固定部(71)与所述安装部(72)连接构成的所述气缸固定座(7)为L形。
【专利摘要】本实用新型公开了一种硅晶片烘干设备，其烘干腔内设有传送链条，所述烘干腔的出料口处安装有门板和用于控制所述门板开启和关闭的驱动装置；所述驱动装置包括气缸，所述气缸的气缸杆端部与所述门板连接；本实用新型中的硅晶片烘干设备的结构合理，在烘干过程中，通过关闭门板能有效防止烘干腔内热量从出料口散失，从而提高了硅晶片的烘干效率及烘干效果，具有很好的使用效果。
【IPC分类】F26B15/12, F26B25/00
【公开号】CN205138128
【申请号】CN201520948998
【发明人】王勇
【申请人】浙江恒都光电科技有限公司
【公开日】2016年4月6日
【申请日】2015年11月25日