总有机碳双效脱除装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种总有机碳双效脱除装置，包括电化去离子系统、超纯水箱和抛光混床，进水口通过EDI送水泵接一级TOC机的进水管，一级TOC机的出水管通过精密过滤器接电化去离子系统的进水端，电化去离子系统的出水端连接超纯水箱的输入端，超纯水箱的输出端通过纯水泵接二级TOC机的进水管，二级TOC机的出水管接抛光混床的输入端，抛光混床的输出端通过杀菌机和过滤器接出水口。本实用新型在电化去离子进水阶段设置一级TOC机，不仅有效去除水中TOC，还保护电化去离子进水系统避免树脂和选择透过性膜受有机污染；在末端抛光床阶段设置二级TOC机，可减少超纯水箱输入到抛光床过程中有机物的滋生，并对前端未处理过的TOC进行加效去除，使水质到达10ppb以下。
【专利说明】总有机碳双效脱除装置
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种脱除装置，尤其涉及一种总有机碳双效脱除装置，属于纯水 净化领域。
【背景技术】
[0002] 水中T0C，即总有机碳（Total Organic Carbon)，水中的有机物质的含量，以有机 物中的主要元素--碳的量来表示，称为总有机碳。纯水净化过程中采用T0C机净化水中的 总有机碳。
[0003] EDI (Electrodeionization)又称连续电除盐技术，它科学地将电渗析技术和离子 交换技术融为一体，通过阳、阴离子膜对阳、阴离子的选择透过作用以及离子交换树脂对水 中离子的交换作用，在电场的作用下实现水中离子的定向迁移，从而达到水的深度净化除 盐，EDI系统是一种纯水制造系统。
[0004] 电化去离子系统进水中如果有机物含量过高，会造成树脂和选择透过性膜的有机 污染，导致系统运行电压上升，产水水质下降；同时也容易在浓缩水通道形成有机胶体，堵 塞通道。
[0005] 现有的去除装置在纯水末端设置一级T0C机，纯水的纯度一般只能达到10ppb? 50ppb，而微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用达到10ppb以下的高纯水、超纯水清 洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越高，而这类用户对水质提出了 几近苛刻的要求：25°C时T0C含量要求为2?5ppb，如果超纯水T0C超标，后果将是毁灭性 的；将会导致生产线的产品直接报废，同时造成系统生产线有机物污染，从而给用户带来毁 灭性的经济损失。 实用新型内容
[0006] 本实用新型所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种总有机碳双 效脱除装置，能够有效降低电化去离子进水的有机碳含量，避免树脂和选择透过性膜的有 机污染导致系统运行电压上升，产水的水质下降，并且减少纯水箱到抛光床这段有机物的 滋生。
[0007] 为了解决以上技术问题，本实用新型提供一种总有机碳双效脱除装置，包括电化 去离子系统、超纯水箱和抛光混床，进水口通过EDI送水泵接一级T0C机的进水管，一级T0C 机的出水管通过精密过滤器接电化去离子系统的进水端，电化去离子系统的出水端连接超 纯水箱的输入端，超纯水箱的输出端通过纯水泵接二级T0C机的进水管，二级T0C机的出水 管接抛光混床的输入端，抛光混床的输出端通过杀菌机和过滤器接出水口。
[0008] 在电化去离子系统出水管设置一级T0C机，去除水中的高含量有机物，避免造成 树脂和选择透过性膜的有机污染使系统运行电压上升，产水水质下降；同时防止在浓缩水 通道形成有机胶体，堵塞通道。在末端抛光床阶段设置二级T0C机，可减少纯水从纯水箱传 输到抛光混床有机物的滋生，并对前端未处理过的T0C进行加效去除。
[0009] 本实用新型进一步限定的技术方案是：一级TOC机的进水管上设有一级进水阀 门，一级T0C机的出水管上设有一级出水阀门，一级T0C机的进水管通过一级T0C机旁通阀 接一级T0C机的出水管。
[0010] 进一步的，二级T0C机的进水管上设有二级进水阀门，二级T0C机的出水管上设有 二级出水阀门，二级T0C机的进水管通过二级T0C机旁通阀接二级T0C机的出水管。
[0011] 进一步的，二级T0C机的进水管与抛光混床的输出端上分别设有水质计。
[0012] 进一步的，一级T0C机的进水管与二级T0C机的进水管上分别设有压力表。
[0013] 本实用新型的有益效果是：在电化去离子进水阶段设置一级T0C机，不仅有效去 除水中T0C，还保护电化去离子进水系统避免树脂和选择透过性膜受有机污染，延长其使用 寿命；在末端抛光床阶段设置二级T0C机，可减少超纯水箱输入到抛光床过程中有机物的 滋生，并对前端未处理过的T0C进行加效去除，使水质到达lOppb以下。
【专利附图】
【附图说明】
[0014] 图1为本实用新型的连接示意图。
【具体实施方式】
[0015] 实施例1
[0016] 本实施例提供的一种总有机碳双效脱除装置，包括电化去离子系统5、超纯水箱6 和抛光混床9,进水口 1通过EDI送水泵2接一级T0C机3的进水管，一级T0C机3的出水 管通过精密过滤器4接电化去离子系统5的进水端，电化去离子系统5的出水端连接超纯 水箱6的输入端，超纯水箱6的输出端通过纯水泵7接二级T0C机8的进水管，二级T0C机 8的出水管接抛光混床9的输入端，抛光混床9的输出端通过杀菌机10和过滤器11接出水 □ 12。
[0017] 在电化去离子系统出水管设置一级T0C机，去除水中的高含量有机物，避免造成 树脂和选择透过性膜的有机污染使系统运行电压上升，产水水质下降；同时防止在浓缩水 通道形成有机胶体，堵塞通道。在末端抛光床阶段设置二级T0C机，可减少纯水从纯水箱传 输到抛光混床有机物的滋生，并对前端未处理过的T0C进行加效去除。
[0018] 一级T0C机3的进水管上设有一级进水阀门13, 一级T0C机3的出水管上设有一 级出水阀门14, 一级T0C机3的进水管通过一级T0C机旁通阀15接一级T0C机3的出水 管。
[0019] 二级T0C机8的进水管上设有二级进水阀门16,二级T0C机8的出水管上设有二 级出水阀门17,二级T0C机8的进水管通过二级T0C机旁通阀18接二级T0C机8的出水 管。
[0020] 二级T0C机8的进水管与抛光混床9的输出端上分别设有水质计19。
[0021] 一级T0C机3的进水管与二级T0C机8的进水管上分别设有压力表20。
[0022] 本实施例中杀菌机10为UV杀菌机，过滤器11为0. 1UM过滤器。
[0023] 本实用新型预处理总有机碳双效脱除装置的优点是：1、设置两级T0C机，可达到 双效去除效果，使水质到达lOppb以下；2、电化去离子进水阶段设置一级T0C机，不仅有效 去除水中T0C，还保护电化去离子进水系统避免树脂和选择透过性膜受有机污染，延长其使 用寿命；在末端抛光床阶段设置二级TOC机，可减少超纯水箱输入到抛光床过程中有机物 的滋生。
[0024] 除上述实施例外，本实用新型还可以有其他实施方式。凡采用等同替换或等效变 换形成的技术方案，均落在本实用新型要求的保护范围。
【权利要求】
1. 一种总有机碳双效脱除装置，包括电化去离子系统、超纯水箱和抛光混床，其特征在 于，进水口通过EDI送水泵接一级TOC机的进水管，所述一级TOC机的出水管通过精密过滤 器接所述电化去离子系统的进水端，所述电化去离子系统的出水端接所述超纯水箱的输入 端，所述超纯水箱的输出端通过纯水泵接二级TOC机的进水管，所述二级TOC机的出水管接 所述抛光混床的输入端。
2. 根据权利要求1所述的一种总有机碳双效脱除装置，其特征在于，所述一级TOC机的 进水管上设有一级进水阀门，所述一级TOC机的出水管上设有一级出水阀门，所述一级TOC 机的进水管通过一级TOC机旁通阀接所述一级TOC机的出水管。
3. 根据权利要求1所述的一种总有机碳双效脱除装置，其特征在于，所述二级TOC机的 进水管上设有二级进水阀门，所述二级TOC机的出水管上设有二级出水阀门，所述二级TOC 机的进水管通过二级TOC机旁通阀接所述二级TOC机的出水管。
4. 根据权利要求1所述的一种总有机碳双效脱除装置，其特征在于，所述二级TOC机的 进水管与所述抛光混床的输出端上分别设有水质计。
5. 根据权利要求1所述的一种总有机碳双效脱除装置，其特征在于，所述一级TOC机的 进水管与所述二级TOC机的进水管上分别设有压力表。
【文档编号】C02F9/08GK203878013SQ201420235015
【公开日】2014年10月15日 申请日期:2014年5月8日 优先权日:2014年5月8日
【发明者】蒋建伟 申请人:南京奥特净化工程有限公司