一种硅料清洗方法和装置与流程

文档序号:12734471阅读:来源:国知局
技术总结
本申请公开了一种硅料清洗方法和装置,该方法包括对硅料的表面进行喷砂和打磨;对所述硅料进行酸洗和水漂洗;对所述硅料进行超声清洗并进行干燥;在对所述硅料进行水漂洗之后,超声清洗之前,还包括对所述硅料进行高压冲洗,该装置包括设置于冲洗槽内的支撑平台,所述支撑平台上固定有硅料夹具,所述硅料夹具的上方固定有高压冲洗部件,所述高压冲洗部件的喷射部对准固定在所述硅料夹具上的硅料。上述硅料清洗方法和装置,能够提高清洗效果且可以减少酸碱使用量。

技术研发人员:肖贵云;陈伟;李林东;陈志军;王海涛;闫灯周;陈养俊;金浩
受保护的技术使用者:晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司
文档号码:201611075926
技术研发日:2016.11.29
技术公布日:2017.01.25

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