一种硅片废水回收再利用系统的制作方法

文档序号:12181474阅读:386来源:国知局

本实用新型涉及硅片废水处理循环再利用技术利用领域,特别涉及一种硅片废水回收再利用系统。



背景技术:

现有的硅片废水回用,通过处理后只能简单的用于绿化和线切车间的工件板冲洗,不能大量用于预清洗和切磨车间使用。切磨车间使用不能断水,否则会影响生产,造成事故。另外供水压力不稳定,持续性较差。在废水处理合格后,通过池体将本来要排放的废水收集起来,通过PLC集中控制水泵,过滤装置,供应生产车间、厂区使用。供应压力稳定,是非常关键的指标,需要通过变频和恒压控制的办法,保障各个区域使用的压力值达到。



技术实现要素:

本实用新型提供一种硅片废水回收再利用系统,适用于硅片行业废水深度处理、集中回用。

本实用新型技术方案:

一种硅片废水回收再利用系统,包括排放水池,所述排放水池通过管道与多介质过滤器连接,所述多介质过滤器通过管道与回用水池连接,所述回用水池通过管道与真空抽水设备连接,

所述真空抽水设备通过管道与回用水使用线路连接。

优选地,所述排放水池通过管道与多介质过滤器之间设有进水泵,

所述多介质过滤器与回用水池之间还设有反洗泵。

优选地,所述真空抽水设备通过管道与回用水使用线路之间设有变频控制器、压力传感器、回用水泵。

优选地,所述回用水泵设有两个。

优选地,所述排放水池中的水为经过一级生化处理、二级生化处理后的水。

本实用新型有益效果如下:

1、本系统借助原废水处理系统,通过一级物化、两级生化处理、多介质过滤器深度净化后,COD约40mg/L,SS10mg/l,远远低于废水一级排放标准,通过前期测试,可用于厂区的绿化、切磨车间、线切车间预清洗、工件清洗回用使用;

2、通过回用水池集中将水储蓄后,配套回用水泵、恒压供水控制系统、变频系统、压力监控;保障稳定的供应使用,回用水泵采用一用一备,送水流量60吨/小时,可以将压力值恒定在0.45Mpa,在压力值低于0.35Mpa时,另外一台水泵便自动启动,防止用水量不足,掉压的情况出现。整套系统管网使用镀锌钢管,压力等级1.0Mpa,可防止爆管等情况出现。

3、硅片废水经过深度处理后,可用于厂区的绿化、切磨车间、线切车间回用使用,在通过恒压供水控制系统集中控制后,能够稳定的供应生产车间使用,并且在车间使用末端可进行压力监控,从前端废水的处理到回用至各个区域,水质、水量均能够满足要求。

4、反洗泵5的作用是对多介质过滤器反洗,在保证多介质过滤器的运行效率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明:

图1为本实用新型的结构示意图;

图中:排放水池1、进水泵2、多介质过滤器3、回用水池4、反洗泵5、变频控制器6、压力传感器7、回用水使用线路8、回用水泵9、真空抽水设备10 。

具体实施方式

下面结合实施例来进一步说明本实用新型,但本实用新型要求保护的范围并不局限于实施例表述的范围。

实施例1

一种硅片废水回收再利用系统,包括排放水池1,所述排放水池1通过管道与多介质过滤器3连接,所述多介质过滤器3通过管道与回用水池4连接,所述回用水池4通过管道与真空抽水设备10连接,

所述真空抽水设备10通过管道与回用水使用线路8连接。

优选地,所述排放水池1通过管道与多介质过滤器3之间设有进水泵2,

所述多介质过滤器3与回用水池4之间还设有反洗泵5。

优选地,所述真空抽水设备10通过管道与回用水使用线路8之间设有变频控制器6、压力传感器7、回用水泵9。

优选地,所述回用水泵9设有两个。

优选地,所述排放水池1中的水为经过一级生化处理、二级生化处理后的水。

上述的实施例仅为本发明的优选技术方案,而不应视为对于本发明的限制,本申请中的实施例及实施例中的特征在不冲突的情况下,可以相互任意组合。本发明的保护范围应以权利要求记载的技术方案,包括权利要求记载的技术方案中技术特征的等同替换方案为保护范围。即在此范围内的等同替换改进,也在本发明的保护范围之内。

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