ICP尾气处理系统除结晶装置的制作方法

文档序号:14882690发布日期:2018-07-07 10:13阅读:来源:国知局

技术特征:

1.ICP尾气处理系统除结晶装置,其特征在于,包括:外壳(1),电磁阀底座(2)、电磁阀(3)、脉冲管道(4)、弯头(5)、主体(6)、进气管道(7),所述外壳(1)的上端连接有电磁阀底座(2),所述电磁阀底座(2)上安装有电磁阀(3),所述电磁阀(3)的右端连接有脉冲管道(4),所述脉冲管道(4)通过弯头(5)与主体(6)的左侧相连接,所述主体(6)设于外壳(1)内,所述主体(6)的右侧通过弯头(5)连接有进气管道(7)。

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