ICP尾气处理系统除结晶装置的制作方法

文档序号:14882690发布日期:2018-07-07 10:13阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了ICP尾气处理系统除结晶装置,外壳的上端连接有电磁阀底座,电磁阀底座上安装有电磁阀,电磁阀的右端连接有脉冲管道,脉冲管道通过弯头与主体的左侧相连接,主体设于外壳内,主体的右侧通过弯头连接有进气管道,本实用新型的优点是ICP尾气处理系统除结晶装置结构简单,电磁阀粉碎结晶彻底,工作效率高,节约人力,保证了ICP尾气处理的流畅性,提高了尾气处理的时效性。

技术研发人员:杨仕品
受保护的技术使用者:昆山市智程自动化设备有限公司
技术研发日:2017.11.24
技术公布日:2018.07.06

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