一种半自动炉管清洗机的制作方法

本实用新型涉及半导体清洗领域，具体为一种半自动炉管清洗机。

背景技术：

随着科技的进步，社会的发展，我国的电子制造及加工技术得到了快速的发展，随之而来的是半导体技术的快速发展。在半导体生产加工过程中，需要对炉管进行清洗，现有的清洗技术，是将炉管在清洗槽内浸泡清洗，再用清水冲洗后晾干。然而，上述方法中，炉管浸泡过程中炉管是静止不动的，清洗效果较差。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半自动炉管清洗机，该清洗机可以在清洗时使得炉管转动且能够上下摆动，改善清洗效果，有效解决背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半自动炉管清洗机，其特征在于：包括化学腐蚀槽，所述的化学腐蚀槽整体呈长方体状，内底面沿长度方向排列设有若干与炉管配合的被动滚轮，被动滚轮的一端设有与炉管配合的主动滚轮，主动滚轮一侧设有第一齿轮，第一齿轮与上方的第二齿轮通过链条相连接，第二齿轮固定于滚动电机的电机轴上，滚动电机固定于化学腐蚀槽顶部；

所述的化学腐蚀槽顶部两侧分别设有上喷淋管路，所述的上喷淋管路朝向炉管设有若干喷嘴，所述的化学腐蚀槽内底面一侧沿长度方向设有下注液管路，下注液管路上设有注水口，所述的化学腐蚀槽内底面中间位置沿长度方向设有氮气鼓泡管路，所述的氮气鼓泡管路上侧壁设有若干鼓泡出口；

所述的化学腐蚀槽的上喷淋管通过第一连接管与纯水箱相连接，第一连接管上左右排列设有抽水泵和冲洗阀，下注液管路通过第二连接管与化学液配液柜的出液口相连接，第二连接管上下排列设有出液阀和酸泵，所述的化学液配液柜上方的进液口与第三连接管底部相连接，第三连接管上端部与化学液腐蚀槽底部相连接，所述的第三连接管上设有进液阀，进液阀上侧的第三连接管上设有排液口，所述的排液口上设有排液阀。

优选的，所述的上喷淋管路下侧的化学腐蚀槽侧壁沿长度方向排列设有若干溢流口，所述化学腐蚀槽的外周设置有收集溢流口流出的溢流收集槽。

优选的，所述的化学液配液柜底部设有手动排液口，手动排液口上设有手动阀。

优选的，所述的化学腐蚀槽为pp槽，外表面包覆有不锈钢层。

优选的，所述的喷嘴为pvdf赛钢喷嘴。

优选的，所述的链条为pp链条。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种半自动炉管清洗机，具备以下有益效果：

1.本实用新型通过操作人员人工将炉管放入化学液腐蚀槽，利用化学液腐蚀炉管表面淀积物，然后用纯水冲洗干净，达到清洁炉管的目的，且清洗过程中炉管一直保持旋转状态，以确保炉管被均匀浸泡；通过底部的氮气鼓泡管路起到鼓泡作用，进而使得炉管上下摆动，有助于炉管内外壁上积垢的脱离。

2.本实用新型操作简单，是专门为清洗6寸炉管(石英管和sic管)而设计，且具有向下兼容能力，可清洗4寸、5寸、6寸炉管。本实用新型清洗效率高，清洗质量一致，适应工厂化生产，性能可靠。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1的右视结构示意图。

图中标示：

1.化学腐蚀槽；11.溢流口；12.快排阀；13.被动滚轮；14.主动滚轮；141.第一齿轮；15.氮气鼓泡管路；151.鼓泡出口；16.溢流收集槽；2.上喷淋管；21.喷嘴；3.下注液管路；4.炉管；5.链条；6.滚轮电机；61.第二齿轮；7.化学液配液柜；71.进液口；72.出液口；73.手动排液口；731.手动阀；8.纯水箱；81.第一连接管；811.抽水泵；812.冲洗阀；9.第二连接管；91.出液阀；92.酸泵；10.第三连接管；101.进液阀；102.排液口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1、图2所示，一种半自动炉管清洗机，包括化学腐蚀槽1，所述的化学腐蚀槽1整体呈长方体状，内底面沿长度方向排列设有若干与炉管4配合的被动滚轮14，被动滚轮14的一端设有与炉管4配合的主动滚轮14，主动滚轮14一侧设有第一齿轮141，第一齿轮141与上方的第二齿轮61通过链条5相连接，第二齿轮61固定于滚动电机6的电机轴上，滚动电机6固定于化学腐蚀槽1顶部。

上述实施例中，具体的，所述的化学腐蚀槽1顶部两侧分别设有上喷淋管路2，所述的上喷淋管路2朝向炉管4设有若干喷嘴21，所述的化学腐蚀槽1内底面一侧沿长度方向设有下注液管路3，下注液管路3上设有注水口(图中未示出)，所述的化学腐蚀槽1内底面中间位置沿长度方向设有氮气鼓泡管路15，所述的氮气鼓泡管路15上侧壁设有若干鼓泡出口151。

上述实施例中，具体的，所述的化学腐蚀槽1的上喷淋管通过第一连接管81与纯水箱8相连接，第一连接管81上左右排列设有抽水泵811和冲洗阀812，所述的下注液管路3通过第二连接管9与化学液配液柜7的出液口72相连接，第二连接管9上下排列设有出液阀91和酸泵92，所述的化学液配液柜7上方的进液口71与第三连接管10底部相连接，第三连接管10上端部与化学液腐蚀槽1底部相连接，所述的第三连接管10上设有进液阀101，进液阀101上侧的第三连接管10上设有排液口102，所述的排液口102上设有设有快排阀。

上述实施例中，更为具体的，所述的上喷淋管路2下侧的化学腐蚀槽1侧壁沿长度方向排列设有若干溢流口11(扁平的矩形结构)，所述化学腐蚀槽的外周设置有收集溢流口流出的溢流收集槽16。

上述实施例中，更为具体的，所述的化学液配液柜7底部设有手动排液口73，手动排液口73上设有手动阀731。

上述实施例中，更为具体的，所述的化学腐蚀槽1底部设有快排阀12。

上述实施例中，更为具体的，所述的化学腐蚀槽1为pp槽，外表面包覆有不锈钢层。

上述实施例中，更为具体的，所述的喷嘴21为pvdf赛钢喷嘴。

上述实施例中，更为具体的，所述的链条5为pp链条。

工作原理：将炉管4置于化学腐蚀槽1内，将出液阀91打开，其它阀门关闭，启动酸泵92将清洗液泵入化学腐蚀槽1内，然后关闭出液阀91，启动滚动电机6，则主动滚轮14带动炉管4在被动滚轮13上旋转，利于浸泡的均匀性，同时启动氮气鼓泡管路15，通过鼓泡出口151进行鼓泡，则炉管4可以上下摆动，有助于炉管4内外壁上积垢的脱离。浸泡结束，打开快排阀12将酸洗液排掉(也可以打开进液阀101回收进入化学液配液柜7，便于后期集中处理)，然后将冲洗阀812打开，其它阀门关闭，启动抽水泵811，则可以通过上喷淋管2对炉管4起到喷淋冲洗作用，同时可以打开滚动电机6，实现炉管4滚动冲洗的效果，冲洗结束，可以打开快排阀12将污水排掉。

本实用新型中使用的部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理均为本领域技术人员所熟知。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。