一种新型外延炉石英件清洗机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及石英件清洗机，特别是涉及一种新型外延炉石英件清洗机。
【背景技术】
[0002]在半导体行业中，用于硅晶圆片和碳化硅晶圆片批量生产的外延炉的内腔因为耐高温、透光、无物质沾污的需求，基本使用高纯度石英材料制作，除了石英钟罩作为密闭腔体内用途外，为了保证晶体表面生长的气流均匀性和温度一致性，另外还会在腔体内放置各种形状的石英件。石英件的表面在一定次数的外延过程后，表面会沉积多种残留物质。这些残留物质在设备维护保养过程中定期清洗，否则会严重影响硅晶圆片和碳化硅晶圆片的外延层生长质量。
[0003]以往的石英件清洗方式一般使用一种酸液或多种酸液混合，通过浸泡或冲淋的方式进行清洗。但是这两种清洗方式均无法根据残留物沉积程度进行酸液的控制，对石英件的表面会造成一定的腐蚀(特别是石英件表面残留物较少的地方），在多次清洗后，由于表面腐蚀严重，导致石英件和石英钟罩的厚度变薄，透明度下降，无法继续使用而报废。另外在清洗过程中，会消耗大量的酸液，并散发出含多种化学物质的废气和酸雾，对外界环境和生产所需的超净化环境产生污染。
【实用新型内容】
[0004]实用新型目的:本实用新型的目的是提供一种能够根据残留物沉积程度进行酸液控制的封闭式的新型外延炉石英件清洗机。
[0005]技术方案:为达到此目的，本实用新型采用以下技术方案：
[0006]本实用新型所述的新型外延炉石英件清洗机，包括机体，机体前部设有正门，机体后部封闭，机体侧部设有第一侧门和第二侧门，正门、第一侧门和第二侧门均采用耐酸透明材质，第一侧门上设有可供人的手臂伸入的孔，孔上朝机体内部的方向套设有防酸橡胶手套，机体内部设有喷淋装置和可前后抽拉的托盘，托盘上设有防滑凹槽，机体内部还设有用于控制喷淋装置的电气控制装置，机体顶部设有照明装置，机体底部设有用于存储酸液的存储箱和用于输送酸液的栗，第二侧门的位置与存储箱的位置相对应，机体前部正门上方还设有操作按钮和触摸屏，操作按钮用于启动或者关闭电气控制装置和照明装置，触摸屏用于对喷淋装置和栗进行操作。
[0007]为使清洗机在不进行人工喷洒时达到封闭的效果，在所述孔外设有孔盖，孔盖能够相对于第一侧门转动，以打开和盖合孔。
[0008]进一步，所述孔盖能够相对于第一侧门水平转动，以打开和盖合孔。
[0009]进一步，所述孔盖为圆形薄盖，其尺寸大于孔的尺寸，孔盖上设有与孔的尺寸相适配的窗口，孔盖相对于第一侧门水平转动的过程中能够将窗口与孔对准，也能够将窗口与孔完全错开ο
[0010]进一步，所述孔盖能够相对于第一侧门垂直转动。
[0011]进一步，所述孔盖通过设置在第一侧门上的水平转轴与第一侧门连接，孔盖能以水平转轴为轴相对于第一侧门垂直转动翻开，从而打开和盖合孔。
[0012]进一步，所述第一侧门包括左侧门和右侧门，左侧门和右侧门上均设有孔。
[0013]进一步，所述喷淋装置包括酸液喷枪、纯水喷枪和氮气喷枪。
[0014]为保证圆形石英钟罩在清洗过程中能够轻松旋转且不会掉落，在所述托盘上还设有支撑滚轮。
[0015]进一步，所述机体上还设有排风装置，排风装置包括设于机体后部的废气收集箱和与废气收集箱相连的废气排放管。
[0016]有益效果:本实用新型与现有技术相比，具有如下的有益效果：
[0017](I)本实用新型的清洗机第一侧门上设有孔，操作者可将手臂穿过孔伸入清洗机内部的防酸橡胶手套中，根据石英件表面残留物的沉积程度对喷淋装置进行控制，从而有效改善了石英件表面腐蚀的问题，大大缩短了清洗时间，提高了生产效率；
[0018](2)孔盖的设置使清洗机在不进行人工喷洒时达到了封闭的效果；
[0019](3)正门、第一侧门和第二侧门均采用耐酸透明材质，能够透过各个门观察到清洗机内部的情形，从而实现对清洗过程的实时监控；
[0020](4)托盘上设置的支撑滚轮保证了圆形石英钟罩在清洗过程中能够轻松旋转且不会掉落；
[0021](5)与现有技术中的酸液浸泡方式相比较，酸液消耗量仅为其1/5—1/10，有效降低了成本，具有显著的经济效益。
【附图说明】
[0022]图I为本实用新型清洗方形石英钟罩时的结构示意图；
[0023]图2为本实用新型清洗圆形石英钟罩时的结构示意图。
【具体实施方式】
[0024]下面结合附图，对本实用新型的技术方案做进一步的阐述。
[0025]本实用新型提供了一种新型外延炉石英件清洗机，图I是本实用新型清洗方形石英钟罩11时的结构示意图，它包括机体I，机体I前部设有正门，机体I后部封闭，机体I侧部设有第一侧门和第二侧门18，正门、第一侧门和第二侧门18均采用耐酸透明材质，第一侧门包括左侧门121和右侧门122，左侧门121和右侧门122上均设有可供人的手臂伸入的孔13，孔13上朝机体I内部的方向套设有防酸橡胶手套，机体I内部设有喷淋装置和可前后抽拉的托盘19，托盘19上设有防滑凹槽，机体I内部还设有用于控制喷淋装置的电气控制装置，机体I顶部设有照明装置113，机体I底部设有用于存储酸液的存储箱和用于输送酸液的栗，第二侧门18的位置与存储箱的位置相对应，机体I前部正门上方还设有操作按钮16和触摸屏17，操作按钮16用于启动或者关闭电气控制装置和照明装置113，触摸屏17用于对喷淋装置和栗进行操作。喷淋装置包括酸液喷枪、纯水喷枪和氮气喷枪。机体I上还设有排风装置，排风装置包括设于机体I后部的废气收集箱112和与废气收集箱112相连的废气排放管111。
[0026]为使清洗机在不进行人工喷洒时达到封闭的效果，在孔13外设有一个孔盖14，孔盖14通过设置在第一侧门上的水平转轴15与第一侧门连接，孔盖14能以水平转轴15为轴相对于第一侧门垂直转动翻开，从而打开和盖合孔13。
[0027]由于圆形石英钟罩12在清洗过程中需要人工旋转至不同角度进行清洗，为了保证圆形石英钟罩12在清洗过程中能够轻松旋转且不会掉落，在托盘19上还设有支撑滚轮110，如图2所示。
[0028]下面介绍一下使用本实用新型清洗石英件的过程：
[0029]首先，打开位于清洗机前部的正门，拉出托盘19，将待清洗的石英钟罩放置于托盘19上，托盘19上的防滑凹槽能够固定钟罩防止其滑动，将钟罩放置好后，缓慢推动托盘19进入清洗机内，关闭正门。然后，按下操作按钮16启动电气控制装置和照明装置113，操作触摸屏17将正门锁死，电气控制装置控制氮气喷枪向清洗机内部喷洒高纯度氮气。接着，操作触摸屏17开启栗，操作人员将双手从机体I一侧的孔13处伸入机内，套上防酸橡胶手套，使用酸液喷枪将配比好的酸液喷洒在石英钟罩表面，喷洒的时间、次数、位置可根据石英钟罩表面残留物的沉积量进行调节。之后，使用纯水喷枪和氮气喷枪对石英钟罩进行纯水冲洗与干燥工作。在整个清洗过程中，排风装置一直产生负压，吸走产生的废气与酸雾。清洗结束前，再对正门、第一侧门进行一段时间的纯水与氮气冲洗，保证门内侧无酸液残留，然后将门打开，取走清洗完成的石英钟罩。
【主权项】
1.一种新型外延炉石英件清洗机，其特征在于:包括机体（I)，机体（I)前部设有正门，机体(I)后部封闭，机体(I)侧部设有第一侧门和第二侧门（18)，正门、第一侧门和第二侧门(18)均采用耐酸透明材质，第一侧门上设有可供人的手臂伸入的孔（13)，孔（13)上朝机体(I)内部的方向套设有防酸橡胶手套，机体（I)内部设有喷淋装置和可前后抽拉的托盘(19)，托盘（19)上设有防滑凹槽，机体（I)内部还设有用于控制喷淋装置的电气控制装置，机体（I)顶部设有照明装置（113)，机体（I)底部设有用于存储酸液的存储箱和用于输送酸液的栗，第二侧门（18)的位置与存储箱的位置相对应，机体（I)前部正门上方还设有操作按钮（16)和触摸屏（17)，操作按钮（16)用于启动或者关闭电气控制装置和照明装置（113)，触摸屏（17)用于对喷淋装置和栗进行操作。2.根据权利要求I所述的新型外延炉石英件清洗机，其特征在于:所述孔(13)外设有孔盖(14)，孔盖(14)能够相对于第一侧门转动，以打开和盖合孔(13)。3.根据权利要求2所述的新型外延炉石英件清洗机，其特征在于:所述孔盖（14)能够相对于第一侧门水平转动，以打开和盖合孔(13)。4.根据权利要求3所述的新型外延炉石英件清洗机，其特征在于:所述孔盖（14)为圆形薄盖，其尺寸大于孔（13)的尺寸，孔盖（14)上设有与孔（13)的尺寸相适配的窗口，孔盖（14)相对于第一侧门水平转动的过程中能够将窗口与孔(13)对准，也能够将窗口与孔(13)完全错开。5.根据权利要求2所述的新型外延炉石英件清洗机，其特征在于:所述孔盖（14)能够相对于第一侧门垂直转动。6.根据权利要求5所述的新型外延炉石英件清洗机，其特征在于:所述孔盖（14)通过设置在第一侧门上的水平转轴（15)与第一侧门连接，孔盖(14)能以水平转轴（15)为轴相对于第一侧门垂直转动翻开，从而打开和盖合孔(13)。7.根据权利要求I所述的新型外延炉石英件清洗机，其特征在于:所述第一侧门包括左侧门（121)和右侧门（122)，左侧门（121)和右侧门（122)上均设有孔(13)。8.根据权利要求I所述的新型外延炉石英件清洗机，其特征在于:所述喷淋装置包括酸液喷枪、纯水喷枪和氮气喷枪。9.根据权利要求I所述的新型外延炉石英件清洗机，其特征在于:所述托盘（19)上还设有支撑滚轮(110)。10.根据权利要求I所述的新型外延炉石英件清洗机，其特征在于:所述机体（I)上还设有排风装置，排风装置包括设于机体（I)后部的废气收集箱（112)和与废气收集箱（112)相连的废气排放管（111)。
【专利摘要】本实用新型公开了一种新型外延炉石英件清洗机，包括机体，机体前部设有正门，机体后部封闭，机体侧部设有第一侧门和第二侧门，正门、第一侧门和第二侧门均采用耐酸透明材质，第一侧门上设有可供人的手臂伸入的孔，孔上朝机体内部的方向套设有防酸橡胶手套，机体内部设有喷淋装置和可前后抽拉的托盘，托盘上设有防滑凹槽，机体内部还设有用于控制喷淋装置的电气控制装置，机体顶部设有照明装置，机体底部设有用于存储酸液的存储箱和用于输送酸液的泵，第二侧门的位置与存储箱的位置相对应，机体前部正门上方还设有操作按钮和触摸屏，操作按钮用于启动或者关闭电气控制装置和照明装置，触摸屏用于对喷淋装置和泵进行操作。
【IPC分类】B08B3/02, B08B3/08, F26B21/00
【公开号】CN205146772
【申请号】CN201520922410
【发明人】黄政, 施国政, 马利行
【申请人】南京国盛电子有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年11月18日