专利名称：用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种半导体材料加工设备浆料过滤装置，尤其是用于开槽双 面研磨机浆料终端过滤，去除研磨浆料中大颗粒杂质的一种过滤装置。
背景技术：
随着半导体材料加工技术的快速发展，早期半导体双面研磨机为平板磨盘， 研磨速率很低，产能小，晶片旋转阻力大，研磨过程中容易产生碎片，而且仅适
合加工3~6英寸小尺寸晶片，伴随半导体晶片尺寸增加和产能提升需求和开槽 双面研磨机还具有研磨浆料均匀分布在晶片与研磨盘之间，荷重较为均勻；沟槽 可以用来排出研磨屑与研磨浆料；减少晶片与研磨盘之间的吸附力，利于研磨晶 片的取出等优点，因此平板双面研磨机渐渐被开槽双面研磨机所代替。
由于开槽双面研磨机磨一般放在普通工作环境里，配制浆料和浆料输送时很 难必免有大颗粒杂质进入浆料里，这样会导致研磨出来有划痕的不良晶片，既影 响研磨加工良率同时又浪费研磨加工原辅材料。
鉴于此，实有必要设计一种新的用于过滤开槽双面研磨机上浆料的装置，'用 于去除与晶片接触的浆料中的大颗粒终端过滤装置。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于提供一种用于过滤开槽双面研磨机浆料 的装置，在浆料与加工晶片接触的终端加装该过滤装置，即可避免浆料配制时产 生大颗粒杂质风险，也避免双面开槽磨片机浆料搅拌初4成系统磨损时大颗粒杂质 进入浆料输送系统的风险。
为了解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案
一种用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置，包括上接头、下接头、置于上 接头与下接头中间的过滤网、以及套接下接头与上接头连接的连接件。
进一步地，所述连接件包括底面和由底面边缘向上延伸的侧壁，底面中部设 有通孔，侧壁内设有内螺紋。进一步地，所述下接头的顶端设有凸台，所述下接头的底端可从连接件上方 穿过连接件，从连接件底面的通孔伸出，其凸台卡置于连接件的底面上。
作为本实用新型的优选方案，所述下接头还包括自顶端向底端依次变细的中 间部分和接头部分。
进一步地，所迷上接头的底端设有底座，所述底座设有与所述连接件的内螺 紋相配合的外螺紋，通过螺紋配合安装于连接件内。
作为本实用新型的优选方案，所述上接头还包括自底座向顶端依次变细的中 间部分和接头部分。
进一步地，所述下接头及上接头中部都设有通孔，两通孔对接连通，过滤网 持于两通孔对接处。
作为本实用新型的优选方案，所述装置还包括与过滤网相匹配的垫圈，所述 上接头的底面设有凹槽，所述垫圏部分收容于凹槽内。
作为本实用新型的优选方案，所述垫圏为环形，过滤网收容于垫圏内。所述 垫圈优选为圆环形，所述过滤网优选为圆形。
作为本实用新型的优选方案，所述过滤网3的材质为不4秀钢，规j各为140~ 280目，厚度为0. 2~ 0. 6mm。
相较于现有技术，本实用新型所述的用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置， 其有益效果在于
本实用新型通过采用一种在浆料输送终端加装过滤装置，滤掉浆料中的大颗 粒杂质，减少研磨加工产生的划痕，提高硅晶片研磨良率的同时节约加工使用的 原辅材料。
双面开槽研磨^L浆料由搅拌桶通过蠕动泵输送到集液盘，再由集液盘通过多 根浆料管均匀输送到晶片与开槽磨盘之间进行晶片研磨加工。整个研磨浆料供应 系统如果有大颗粒杂质进入，不增加终端过滤装置，势必会导致大颗粒杂质与浆 料一起参与上下磨盘与晶片研磨加工，就会产生大量研磨晶片划痕。在浆料与晶 片接触前进行过滤去除浆料中的大颗粒杂质，便可以防止大颗粒在研磨加工中对 晶片产生划痕，提高研磨晶片的良率和减少研磨加工原辅材料的消耗。
本实用新型所述的浆料过滤装置运用了整体可拆卸式设计，容易组装且方便过滤网及时清洗，故其还具有结构简单、拆卸方便、可用水清洗、使用寿命长等特点。
图1为本实用新型所述用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置的剖面爆炸图； 图2为所述垫圈结构示意图； 图3为所述过滤网结构示意图4为本实用新型所述用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置使用示意图。 图中标记"^兌明
2垫圈 5连接件
12上接头的中间部分 15凹槽
42下接头的接头部分 51内螺紋
a本实用新型所述用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置 b集液盘
c浆料管具体实施方式
以下结合附图进一步详细说明本实用新型的具体实施例
参看图l， 一种用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置，该装置包括上接头 1、下接头4、置于上接头1与下接头4中间的过滤网3、以及套接下接头4与上 接头1连接的连接件5。
所述连接件5包括底面和由底面边缘向上延伸的侧壁，底面中部设有通孔 50,侧壁内设有内螺紋51。
所述下接头4的顶端设有凸台40,所述下接头4的底端可从连接件5上方
1上接头4下接头
11底座
14上接头通孔
41下接头的中间部分
50底面通孔
3过滤网 10外螺紋
13上接头的接头部分 40凸台
43下接头通孔穿过连接件5，从连接件5底面的通孔50伸出，其凸台40卡持于连接件5的底 面上。
所述下接头4还包括自顶端向底端依次变细的中间部分41和接头部分42。 所迷上接头1的底端设有底座11,所述底座11设有与所述连接件5的内螺
紋51相配合的外螺紋10，通过螺紋配合安装于连接件5内。
所述上接头1还包4舌自底座向顶端依次变细的中间部分12和4妄头部分13。 所述下接头4中部设有通孔43，上接头1中部设有通孔14,两通孔对接连
通，过滤网3置于两通孔对接处。
所述装置还包括与过滤网3相匹配的垫圏2，所述上4妄头1的底面设有凹槽
15，所迷垫圈2部分收容于凹槽15内。
所述垫圈2为环形，过滤网3收容于垫圈2内。
所述过滤网3的材质为不锈钢，规格为140 ~ 280目，厚度为0. 2 ~ 0. 6咖。 本实施例中所述过滤浆料的装置是适合开槽双面磨片机(USB-22B)的，其 具体尺寸如下
上接头1各部分优选为圓柱状，其接头部分13横截面的直径为19~12mra (3/4， ~1/2， inch)，本实施例中采用16mm(5/8， inch),其通孔14横截面的 直径尺寸为16~6mm (5/8， ~1/4， inch),本实施例中采用12咖(1/2， inch), 其底座外螺紋10尺寸为36mm。
连接件5优选为圆柱状，其外直径为45,,内螺紋51尺寸为36mm，底面通 孔50的直径可为30 - 34mm,本实施例优选为32mm。
下接头4的凸台40为圆柱状台阶，凸台40横截面的直径应小于连接件内螺 紋的直径并大于底面通孔的直径，本实施例为小于36mm并大于32 mm,使之能 套接于连接件5内并卡于连接件5的底面上，下接头4的中间部分41横截面的 直径应小于底面通孔50的直径，使之能穿过底面通孔50,其直径尺寸可为17 ~ 33mm,本实施例采用31腿，其接头部分42横截面的直径为19-12mm(3/4， ~ 1/2， inch),本实施例中采用16mtn (5/8， inch),其通孔43横截面的直径为16 ~ 6mm(5/8' ~1/4， inch),本实施例中采用12mm(l/2， inch)。如图2、 3所示，垫圈2优选为圆环形，其内直径为16mm，外直径为21mm， 垫圈2圈体厚度为2mm，材质为橡胶或聚四氟乙烯；过滤网3优选为圓形，其规 格为140 - 280目，直径为16mm,厚度为0. 2 ~ 0. 6mm,本实施例中采用200目， 材质为不锈钢。
本过滤装置整体采用PVC或CPVC材质，优选为PVC材质，该材质具有较好 的硬度、良好的耐腐蚀性，管壁光洁且不易磨损，成本低廉等优点。过滤网材质 采用不锈钢，该材质具有很好的强度、易清理和使用寿命长等特点。
图4为该浆料过滤装置使用时的示意图。其中，本装置a安装于集液盘b 的终端，使浆料通过本装置a过滤后输送到集液盘b,再由集液盘b通过多根浆 料管c均匀输送到晶片与开槽磨盘之间进行晶片研磨加工。这样便可以在浆料与 晶片接触前进行过滤去除浆料中的大颗粒杂质，防止大颗粒在研磨加工中对晶片 产生划痕，提高研磨晶片的良率和减少研磨加工原辅材料的消耗。
本实用新型的描述和应用是说明性的，并非想将本实用新型的范围限制在上 述实施例中。这里所披露的实施例的变形和改变是可能的，对于那些本领域的普 通技术人员来说实施例的替换和等效的各种部件是公知的。本领域技术人员应该 清楚的是，在不脱离本实用新型的精神或本质特征的情况下，本实用新型可以以 其他形式来实现。在不脱离本实用新型范围和精神的情况下，可以对这里所披露 的实施例进行其他变形和改变。
权利要求1.一种用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置，其特征在于，包括上接头(1)、下接头(4)、置于上接头(1)与下接头(4)中间的过滤网(3)、以及套接下接头(4)与上接头(1)连接的连接件(5)。
2. 根据权利要求1所述的用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置，其特征在于 所述连接件(5)包括底面和由底面边缘向上延伸的侧壁，底面中部设有通 孔(50),侧壁内设有内螺紋(51)。
3. 根据权利要求1所述的用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置，其特征在于 所述下接头(4)的顶端设有凸台(40)，所述下接头(4)的底端可从连接 件(5 )上方穿过连接件(5 )，从连接件(5 )底面的通孔(50 )伸出，其 凸台(40)卡持于连接件(5)的底面上。
4. 根据权利要求3所述的用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置，其特征在于 所述下接头(4)还包括自顶端向底端依次变细的中间部分(41)和接头部 分(42)。
5. 根据权利要求1所述的用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置，其特征在于 所述上接头(1)的底端设有底座(11),所迷底座(11)设有与所迷连接 件(5)的内螺紋(51)相配合的外螺紋(10),通过螺紋配合安装于连接 件(5)内。
6. 根据权利要求1所述的用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置，其特征在于 所述上接头(1)还包括自底座向顶端依次变细的中间部分(12)和接头部 分(13)。
7. 根据权利要求l所述的用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置，其特征在于所述下接头(4)中部设有通孔(43)，上接头(1)中部设有通孔(14), 两通孔对接连通，过滤网(3)置于两通孔对接处。
8. 根据权利要求1所述的用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置，其特征在于 还包括与过滤网(3)相匹配的垫圏(2)，所述上"l姿头(1)的底面设有凹 槽(15 )，所述垫圏(2 )部分收容于凹槽(15 )内。
9. 根据权利要求8所述的用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置，其特征在于 所述垫圈(2)为环形，过滤网(3)收容于垫圈(2)内。
10. 根据权利要求1所述的用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置，其特征在于 所述过滤网(3 )的材质为不锈钢，规格为140 ~ 280目，厚度为0. 2 ~ 0. 6mm。
专利摘要本实用新型公开了一种用于开槽双面研磨机浆料终端过滤，去除研磨浆料中大颗粒杂质的过滤装置。该用于过滤开槽双面研磨机浆料的装置，包括下接头、上接头、置于下接头与上接头中间的过滤网、以及套接下接头与上接头连接的连接件。在浆料与加工晶片接触的终端加装该过滤装置，即可避免浆料配制时产生大颗粒杂质风险，也避免双面开槽磨片机浆料搅拌机械系统磨损时大颗粒杂质进入浆料输送系统的风险。
文档编号B01D35/02GK201419358SQ20092007627
公开日2010年3月10日 申请日期2009年6月15日 优先权日2009年6月15日
发明者强 李, 栾兴伟, 洪羿达, 谢江华, 黄春峰 申请人:上海合晶硅材料有限公司