基板湿制程剥膜废料处理装置的制作方法

文档序号:4986597阅读:183来源:国知局
专利名称:基板湿制程剥膜废料处理装置的制作方法
技术领域
本实用新型关于一种基板湿制程剥膜废料处理装置,特别关于一种可将在基板湿 制程加工过程中所产生的干膜废料由化学药液中分离出来的剥膜废料处理装置。
背景技术
现有技术的电路基板在制作的过程中,必须利用显影设备及剥膜设备将成型于该 基板的线路表面的干膜以喷洗的方式去除,但因为该干膜不溶解于化学药液中,所以在将 该含有剥落后的干膜废料的化学药液重复抽取、重复对基板进行喷洒时,该化学药液内所 含的杂质不但会大大地影响基板上线路的成形效果,也会大幅缩短该化学药液更换的间隔 时间。此外,淘汰后的含有干膜废料的化学药液若直接丢弃,将会严重污染环境;若再另外 进行将化学药剂与干膜废料分离的加工程序,又会增加加工成本。所以现有技术的处理含 有干膜废料的化学药液的方式,有待进一步改进。

实用新型内容鉴于前述现有技术的缺点,本实用新型提供一种基板湿制程剥膜废料处理装置, 以此设计解决干膜废料会影响基板线路成形效果,且对于含有干膜废料的化学药液的处理 方式会污染环境或增加加工成本的缺点。为了达到上述的目的,本实用新型所利用的技术手段是使一基板湿制程剥膜废料 处理装置包括一槽体;多个第一支撑组件及多个第二支撑组件,所述第一、第二支撑组件分别设于所述 槽体的两相对内壁面上,且所述第一支撑组件顶部的支撑点的高度位置高于所述第二支撑 组件顶部的支撑点的高度位置;—过滤架,其两相对侧分别架设于所述槽体两侧的第一、第二支撑组件上,使得所 述过滤架朝向第二支撑组件方向呈向下倾斜状的设计;一震动马达,其架设并固定于所述过滤架上;一输送管,其为一断面为弧形的半管体,所述输送管垂直于所述过滤架而架设在 所述槽体的另外两相对内壁面上,且位于靠近所述第二支撑组件的一侧以及所述过滤架底 部,所述输送管的一输出端进一步突伸至所述槽体外侧;一螺杆,其可转动地架设于所述槽体上,且沿轴向穿设于所述输送管中,螺杆的外 环壁上环绕成型有一螺旋刀。所述螺杆的杆体可由细渐粗,所述螺杆的螺旋刀的螺牙牙距可从杆体较细的一端 朝杆体较粗的一端由大渐小,且所述螺杆的杆体较粗且螺旋刀的螺牙牙距较小的一端对应 所述输送管的输出端。所述第一、第二支撑组件中,每一支撑组件可包含一承架及一弹性件,所述承架固 设于所述槽体的内壁面上,所述弹性件设于所述承架上。[0013]所述过滤架可包含一框体以及覆盖于所述框体上的一滤网,所述框体的一侧间隔 设有多根延伸杆,所述延伸杆设于所述第二支撑组件的弹性件上。所述第一、第二支撑组件的承架与弹性件之间可进一步设有一缓冲垫。在槽体旁侧对应所述输送管的输出端处可进一步设有一收集筒。本实用新型的优点在于,所述剥膜废料处理装置可在对基板进行湿制程加工的同 时,将加工过程中所产生的干膜废料由化学药液中分离而出,除了可维持该化学药液的加 工效果,并延长该化学药液更换的间隔时间之外,还可将该干膜废料集中处理,以免污染环 境,并避免后续处理含有干膜废料的化学药液所产生的加工成本。

图1为本实用新型在使用状态的侧视示意图。图2为本实用新型的过滤架的俯视图。图3为本实用新型的另一侧视图。图4为本实用新型的部分组件的放大侧视图。
具体实施方式
以下配合附图及本实用新型的优选实施例,进一步阐述本实用新型为达成预定实 用新型目的所采取的技术手段。参见图1所示,本实用新型的剥膜废料处理装置1设置并连接于一基板湿制程加 工设备80的旁侧,基板湿制程加工设备80具有一混合液槽81及一第一泵浦84 混合液槽 81上方架设有一集液槽82,集液槽82上方又进一步架设有多个输送轮组83,待加工的基板 设置于输送轮组83之间且受输送轮组83的带动而移动;第一泵浦84上设有一输入管841 及两喷管842,输入管841与混合液槽81相连通,两喷管842的出口端分别对应于输送轮 组83的上、下侧。以此抽取混合液槽81内的化学药液,并同时对该基板的上、下两侧进行 喷洒。进一步参见图3所示,本实用新型的剥膜废料处理装置1包括一槽体10、多个第一 支撑组件20A、多个第二支撑组件20B、一过滤架30、一震动马达40、一输送管50、一螺杆60 及一收集筒70,其中第一、第二支撑组件20A、20B分别设于槽体10的两相对内壁面上,第一支撑组件 20A顶部的支撑点的高度位置高于第二支撑组件20B顶部的支撑点的高度位置,每一支撑 组件20A、20B包含一承架21A、21B及一弹性件22A、22B,承架21A、21B固设于槽体10的内 壁面上,弹性件22A、22B设于承架21A、2IB上,且承架21A、21B与弹性件22A、22B之间设有 一缓冲垫23A、23B ;参见图1所示,过滤架30的两相对侧分别架设于槽体10两侧的第一、第二支撑组 件20A、20B上,使得过滤架30朝向第二支撑组件20B的方向呈向下倾斜状的设计,进一步 参见图2所示,过滤架30包含一框体31以及覆盖于框体31上的一滤网32,框体31的一侧 间隔设有多根延伸杆33,延伸杆33设于第二支撑组件20B的弹性件22B上;震动马达40架设并固定于过滤架30的框体31上,当震动马达40启动时,会产生 震动以带动过滤架30—同连动,接着再通过第一、第二支撑组件20A、20B的弹性件22A、22B与缓冲垫23A、2!3B缓冲其动能,以避免槽体10也会产生震动;输送管50是一断面为弧形的半管体,其垂直过滤架30而架设在槽体10的另外两 相对内壁面上,位于靠近第二支撑组件20B的一侧以及过滤架30的底部,且对应过滤架30 的延伸杆33,输送管50的一输出端51进一步突伸至槽体10的外侧;进一步参见图4所示,螺杆60可转动地架设于槽体10上,且沿轴向穿设于输送管 50中,螺杆60的杆体由细渐粗,螺杆60的外环壁上环绕成型有一螺旋刀61,螺旋刀61的 螺牙牙距从杆体较细的一端朝杆体较粗的一端由大渐小,螺杆60的杆体较粗且螺旋刀61 的螺牙牙距较小的一端对应输送管50的输出端51,且也突伸至槽体10的外侧;收集筒70设于槽体10的旁侧,且位于对应输送管50的输出端51处。参见图1所示,对基板进行喷洒后,混合有剥落的干膜废料的化学药液会先集中 在集液槽82之中,此时,首先利用一导管85将集液槽82内的化学药液输送到本实用新型 的剥膜废料处理装置1的过滤架30高度较高的一侧,由过滤架30的滤网32分离该干膜废 料与化学药液,如此一来,一方面可使该分离后的化学药液集中于槽体10的底部,再由一 第二泵浦86将该化学药液抽回混合液槽81内继续循环利用,另一方面则利用震动马达40 所产生的震动,使滤网32上的干膜废料朝过滤架30高度较低的一侧移动,使该干膜废料掉 入输送管50中;进一步参见图4所示,接着,再又进行转动的螺杆60的螺旋刀61将干膜废料朝输 送管50的输出端51推送,直到掉入并集中于收集筒70之中。其中,由于螺杆60的杆体由 细渐粗且螺旋刀61的螺牙螺距由大渐小,还可进一步将该干膜废料中的水分挤干,省去之 后需对该干膜废料进行干燥的步骤。通过上述的设计,本实用新型的剥膜废料处理装置可在对基板进行湿制程加工的 同时,将加工过程中所产生的干膜废料由化学药液中分离而出,除了可维持该化学药液的 加工效果,并延长该化学药液更换的间隔时间之外,还可将该干膜废料集中处理,以免污染 环境,并避免后续处理含有干膜废料的化学药液所产生的加工成本。以上所述仅是本实用新型的优选实施例而已,并非对本实用新型做任何形式上的 限制,虽然本实用新型已以优选实施例披露如上,然而并非用以限定本实用新型,任何本领 域的技术人员,在不脱离本实用新型技术方案的范围内,应当可以利用上述揭示的技术内 容作出些许改变或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本实用新型技术方案的内 容,依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍 属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1.一种基板湿制程剥膜废料处理装置,其包括一槽体、多个第一支撑组件、多个第二支 撑组件、一过滤架、一震动马达、一输送管及一螺杆,其特征在于所述第一、第二支撑组件分别设于所述槽体的两相对内壁面上,第一支撑组件顶部的 支撑点的高度位置高于所述第二支撑组件顶部的支撑点的高度位置;所述过滤架的两相对侧分别架设于所述槽体两侧的第一、第二支撑组件上,所述过滤 架朝向第二支撑组件方向呈向下倾斜状;所述震动马达架设并固定于所述过滤架上;所述输送管为一断面为弧形的半管体,其垂直于所述过滤架而架设在所述槽体的另外 两相对内壁面上,位于靠近所述第二支撑组件的一侧以及所述过滤架底部,所述输送管的 一输出端进一步突伸至所述槽体外侧;所述螺杆可转动地架设于所述槽体上,且沿轴向穿设于所述输送管中,所述螺杆的外 环壁上环绕成型有一螺旋刀。
2.如权利要求1所述的基板湿制程剥膜废料处理装置,其特征在于所述螺杆的杆体 由细渐粗,所述螺杆的螺旋刀的螺牙牙距从杆体较细的一端朝杆体较粗的一端由大渐小, 且所述螺杆的杆体较粗且螺旋刀的螺牙牙距较小的一端对应所述输送管的输出端。
3.如权利要求1所述的基板湿制程剥膜废料处理装置,其特征在于在所述第一、第二 支撑组件中,每一支撑组件包含一承架及一弹性件,所述承架固设于所述槽体的内壁面上, 所述弹性件设于所述承架上。
4.如权利要求2所述的基板湿制程剥膜废料处理装置,其特征在于在所述第一、第二 支撑组件中,每一支撑组件包含一承架及一弹性件,所述承架固设于所述槽体的内壁面上, 所述弹性件设于所述承架上。
5.如权利要求3所述的基板湿制程剥膜废料处理装置,其特征在于所述过滤架包含 一框体以及覆盖于所述框体上的一滤网,所述框体的一侧间隔设有多根延伸杆,所述延伸 杆设于所述第二支撑组件的弹性件上。
6.如权利要求4所述的基板湿制程剥膜废料处理装置,其特征在于所述过滤架包含 一框体以及覆盖于所述框体上的一滤网,所述框体的一侧间隔设有多根延伸杆,所述延伸 杆设于所述第二支撑组件的弹性件上。
7.如权利要求3至6中任一项所述的基板湿制程剥膜废料处理装置,其特征在于所 述第一、第二支撑组件的承架与弹性件之间进一步设有一缓冲垫。
8.如权利要求1至6中任一项所述的基板湿制程剥膜废料处理装置,其特征在于在 所述槽体旁侧对应所述输送管的输出端处进一步设有一收集筒。
9.如权利要求7所述的基板湿制程剥膜废料处理装置,其特征在于在所述槽体旁侧 对应所述输送管的输出端处进一步设有一收集筒。
专利摘要本实用新型为一种基板湿制程剥膜废料处理装置,其包括一槽体、设于所述槽体的两相对内壁面上的多个支撑组件、倾斜地架设于所述支撑组件上的一过滤架、架设于所述过滤架上的一震动马达、架设在于所述槽体的另外两相对内壁面上的一输送管、以及穿设于所述输送管间的一螺杆;本实用新型的剥膜废料处理装置可在对基板进行湿制程加工的同时,将加工过程中所产生的干膜废料由化学药液中分离而出,以维持化学药液的加工效果,并延长化学药液更换的间隔时间,此外还可将干膜废料集中处理,以免污染环境,并避免后续处理含有干膜废料的化学药液所产生的加工成本。
文档编号B01D29/05GK201840920SQ20102054935
公开日2011年5月25日 申请日期2010年9月30日 优先权日2010年9月30日
发明者徐美华 申请人:徐美华
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