专利名称：用于内含大小两种不同粒径固相物质的废切削液的淘洗分滤装置的制作方法
技术领域：
用于内含大小两种不同粒径固相物质的废切削液的淘洗分；虑 ^fe技术领域[0001]本实用新型涉及一种内含固相物质液体的过滤装置，具体涉及一种用于内含大小两种不同粒径固相物质废切削液的淘洗分滤装置。属于工业废液处理技术。
背景技术：
[0002]在工业生产领域，常有内含固相物质的废液排放，这不但会造成环境污染，而且还会浪费可用资源。[0003]诸如硅片的工业生产，常用含有颗粒碳化硅和聚乙二醇组成的砂浆，作为硅片的切割液。而经过硅片切割后的所述切割液(砂浆)中，除了颗粒碳化硅之外，还含有颗粒晶体硅，从而使所述废切削液成为颗粒碳化硅、颗粒晶体硅和聚乙二醇三元二相液态混合物。[0004]而在所述三元二相液态混合物中，颗粒碳化硅的粒径一般在0. 06 0. 20um范围内，而颗粒晶体硅的粒径一般在0. 01 0. 05um范围内。也就是说晶体硅颗粒要比碳化硅颗粒细小得很多。[0005]由于碳化硅和聚乙二醇均具有重复利用的价值，因此，工业上常常会对所述废砂浆(切削液)实施提炼再生处理。已有再生处理技术是，先在废砂浆中加入一定量的净水后，进行淡化压滤，分离出碳化硅和晶体硅混合物；后加热蒸发除去极小量水分，再经浓缩提取聚乙二醇。[0006]已有的再生处理技术存在一个明显的不足是，在经分离出来的所述混合物中，含有较多含量的晶体硅，如果将分离出来的所述混合物，作为切割砂浆原料回用的话，那么由于晶体硅的存在，就会直接影响晶体硅片的切割(切削)效果和切割精度，这是工业硅片生产所不欢迎的，也是不能被接受的。[0007]为此，研发一种能够在废切削液(砂浆)中，分别有效分滤出碳化硅和晶体硅的废切削液分滤装置，便成为业内的期待。发明内容[0008]本实用新型旨在提供一种用于内含大小两种不同粒径固相物质的废切削液的淘洗分滤装置，以有效克服已有技术的不足。[0009]本实用新型实现其目的所采取的技术方案是[0010]一种用于内含大小两种不同粒径固相物质的废切削液的淘洗分滤装置，包括电动搅拌器和架座，而其还包括[0011]一淘洗分滤筒；所述淘洗分滤筒包括具有第一上法兰和第一下法兰且周壁呈格栅状的圆柱形的淘洗筒体，以及覆贴固定在淘洗筒体表面的用来阻断废切削液中大颗粒固相物质通过的第一滤网，和用来让废切削液中小颗粒固相物质通过的第二滤网；第一滤网的网孔孔径，小于所述大颗粒固相物质的粒径，第二滤网的网孔孔径，大于所述小颗粒固相物质的粒径；所述第一滤网布置在废切削液流向的上游，而第二滤网紧随第一滤网之后布置；[0012]一废液分滤筒；所述废液分滤筒包括具有第二上法兰和第二下法兰且下端呈圆锥状的滤液筒体，固定在滤液筒体内表面且沿滤液筒体轴向有间距分开布置的凸条，和覆贴在凸条表面且与滤液筒体固定连接的滤液网；所述滤液网的网孔孔径，小于废切削液中大颗粒固相物质的粒径；在滤液筒体的下部，设有用来排出已被处理的废切削液的排液口。[0013]一用来排出大颗粒固相物质的排物阀；所述排物阀与滤液筒体的第二下法兰连接；打开排物阀，存在于滤液筒体内的大颗粒固相物质，经由第二下法兰的内孔排出；[0014]一淘洗筒体盖；所述淘洗筒体盖与淘洗筒体的第一上法兰密封连接；淘洗筒体盖设有待处理废切削液进口管和由废液分滤筒的排液口排出的已被处理的废切液进口管；[0015]一接料盘；所述接料盘的内圆与淘洗筒体的外圆相密合配置，接料盘的底面与淘洗筒体的第一下法兰连接；所述接料盘设有用来排出内含小颗粒固相物质废切削液的出料管；[0016]而所述淘洗筒体的第一下法兰与滤液筒体的第二上法兰同中心密封对接且与机座固定连接；[0017]而所述电动搅拌器的电动机固定在淘洗筒体盖上，与电动机同轴连接的搅拌轴， 沿淘洗筒体和滤液筒体中心线布置；搅拌桨叶的外侧端圆周运动的轨迹，靠近淘洗分滤筒和废液分滤筒的内圆壁面；所述电动机通过开关实现倒顺双向旋转。[0018]由以上所给出的技术方案结合晶体硅废切削液的处理可以明了，当加入净水的所述废切削液(砂浆)进入本实用新型的淘洗分滤筒和废液分离筒内后，在搅拌器的搅拌翻动下，被处理液中的细颗粒晶体硅(粒径为0.01 0.05um)受到反复不断的淘洗，且在搅拌桨叶的推动下，穿过比颗粒晶体硅粒径大而比颗粒碳化硅粒径小的网孔的第一滤网，经由与颗粒晶体硅粒径等同的网孔的第二滤网排出，然后进入回收池再经压滤得到颗粒晶体硅；而被第一滤网阻断的颗粒碳化硅、经反复淘洗后，在淘洗掉被其粘附在表面的颗粒晶体硅之后，沉降到废液分离筒内，其所含有的液相物质，通过排液口排入回收池；而失水的碳化硅则由排物阀排出，从而从废切削液(砂浆)中成功地分离出颗粒晶体硅和颗粒碳化硅， 实现了本实用新型的目的。[0019]出于进一步改善工作现场环境和实现有效管理，以及最大限度地降低颗粒碳化硅含液量的考虑，本实用新型还主张，在上述技术方案中，还具有包括抽液泵和贮液筒在内的设在废液分滤筒底部位置的已被处理的废切削液引出管路系统；贮液筒顶端通过第一管路与废液分滤筒的排液口连接贯通，贮液筒的底端通过第二管路与抽液泵的入口连接贯通， 抽液泵的出口通过排液总管与回收池连接贯通，贮液筒的上部通过旁路管与排液总管连接贯通，接料盘的出料管与排液总管连接贯通；由接料盘经其出料管排出的内含小颗粒固相物质的废切削液，和由废液分滤筒经其排液口排出的内含小颗粒固相物质的废切削液，分别流入排液总管汇合流入回收池，再经压滤后实现小颗粒固相物质与废切削液分离。实施该技术方案后，当关闭自流管路阀启动抽液泵，可对颗粒碳化硅实施强制脱水。[0020]本实用新型的进一步创新点还在于[0021]所述淘洗分滤筒的第一滤网和第二滤网，覆贴固定在淘洗筒体的内表面，或者覆贴固定在淘洗筒体的外表面；当固定在淘洗筒体的内表面时，所述第二滤网覆贴在淘洗筒体的内表面，而所述第一滤网覆贴在第二滤网的表面；当固定在淘洗筒体的外表面时，所述第一滤网覆贴在淘洗筒体的外表面，而所述第二滤网覆贴在第一滤网的表面。该技术方案所提供的两种滤网的布置方式，都是可行的。前者由于滤网布置在所述淘洗筒体的内表面， 而可能比较牢靠，但维护保养和更新换网比较麻烦；而后者由于滤网布置在所述淘洗筒体的外表面，而其维护保养和更新换网比较方便，还可以在所述滤网表面再加设环箍，使滤网与淘洗筒体连接得更加牢靠。[0022]所述排物阀包括阀板和密封圈；阀板的一侧与滤液筒体的第二下法兰相动连接， 而阀板的相对于动连接点的另一侧设有通孔，阀板通过通孔经由螺钉与所述第二下法兰连接；密封圈设在第二下法兰与阀板之间且位于通孔与所述动连接点之间的部位。但不局限于此。其它诸如闸阀和插板阀等都是可以的。[0023]所述电动搅拌器的搅拌桨叶，与搅拌杆的轴线呈倾斜结构布置；搅拌桨叶在顺转或倒转的条件下，令存在于淘洗筒体内的废切削液上、下翻滚淘洗。这一技术方案，可以使被处理切削液，在时顺转时倒转的呈倾斜状结构布置的搅拌浆叶的搅动下上下翻动，从而有效提高对颗粒晶体硅淘洗的效果。[0024]存在于滤液筒体内的搅拌桨叶呈顺向螺旋状布置；当驱动搅拌轴顺向旋转时，所述螺旋状搅拌桨液，推动存在于滤液筒体内的大颗粒固相物质经由排物阀排出。[0025]在以上所述技术方案中，如若采用PLC可编程控制器，分别控制搅拌电动机和废切削液引入管路的阀门以及已被处理的废切削液引出管路系统的阀门，则本实用新型有望实现处理过程的自动化。[0026]上述技术方案得以实施后，本实用新型所具有的结构合理，占地面积小，废液循环回用。无三废排放，两种大小不同颗粒固相物质分滤效果好等特点，是显而易见的。
[0027]图1是本实用新型一种具体实施方式
的主视示意图；[0028]图2是图1的俯视图；[0029]图3是图2的A-A剖视图；[0030]图4是图3的B-B剖视图；[0031]图5是图3的C-C剖视图；[0032]图6是图3的D-D剖视图；[0033]图7是图3的E-E剖视图；[0034]图8是如同图7所示的排物阀打开状态参考图。
具体实施方式
[0035]一种典型的具体实施方式
；如附图1 8所示，且以处理晶体硅废切削液为例。[0036]一种用于内含大小两种不同粒径固相物质的废切削液的淘洗分滤装置，包括电动搅拌器1和架座2，而其还包括[0037]一淘洗分滤筒3 ；所述淘洗过滤筒3包括具有第一上法兰3-1-1和第一下法兰 3-1-2且周壁呈格栅状的圆柱形的淘洗筒体3-1，以及覆贴固定在淘洗筒体3-1表面的用来阻断废切削液中大颗粒碳化硅固相物质通过的第一滤网3-2，和用来让废切削液中小颗粒晶体硅固相物质通过的第二滤网3-3 ；第一滤网3-2的网孔孔径，小于所述大颗粒碳化硅固相物质的粒径，第二滤网3-3的网孔孔径，大于所述小颗粒晶体硅固相物质的粒径；所述第一滤网3-2布置在废切削液流向的上游，而第二滤网3-3紧随第一滤网3-2之后布置；[0038]一废液分滤筒4 ；所述废液分滤筒4包括具有第二上法兰4-1-1和第二下法兰 4-1-2且下端呈圆锥状的滤液筒体4-1，固定在滤液筒体4-1内表面且沿滤液筒体4-1轴向有间距分开布置的凸条4-2，和覆贴在凸条4-2表面且与滤液筒体4-1固定连接的滤液网 4-3 ；所述滤液网4-3的网孔孔径，小于废切削液中大颗粒碳化硅固相物质的粒径；在滤液筒体4-1的下部，设有用来排出已被处理的废切削液的排液口 5。[0039]一用来排出大颗粒固相物质的排物阀6 ；所述排物阀6与滤液筒体4-1的第二下法兰4-1-2连接；打开排物阀6，存在于滤液筒体4-1内的大颗粒碳化硅固相物质，经由第二下法兰4-1-2的内孔排出；[0040]一淘洗筒体盖7 ；所述淘洗筒体盖7与淘洗筒体3-1的第一上法兰3-1-1密封连接；淘洗筒体盖7设有待处理废切削液进口管7-1和由废液分滤筒4的排液口 5排出的已被处理的废切液进口管7-2;[0041]一接料盘8 ；所述接料盘8的内圆与淘洗筒体3-1的外圆相密合配置，接料盘8的底面与淘洗筒体3-1的第一下法兰3-1-2连接；所述接料盘8设有用来排出内含小颗粒固相物质废切削液的出料管8-1 ；[0042]而所述淘洗筒体3-1的第一下法兰3-1-2与滤液筒体4_1的第二上法兰4_1_1同中心密封对接且经由螺栓与机座2固定连接；[0043]而所述电动搅拌器1的电动机1-1固定在淘洗筒体盖7上，与电动机1-1同轴连接的搅拌轴1-2，沿淘洗筒体3-1和滤液筒体4-1中心线布置；搅拌桨叶1-3的外侧端圆周运动的轨迹，靠近淘洗分滤筒3和废液分滤筒4的内圆壁面；所述电动机1-1通过开关实现倒顺双向旋转。[0044]而其还具有包括抽液泵9-1和贮液筒9-2在内的设在废液分滤筒4底部位置的已被处理的废切削液引出管路系统9 ；贮液筒9-2顶端通过第一管路9-3与废液分滤筒4的排液口 5连接贯通，贮液筒9-2的底端通过第二管路9-4与抽液泵9-1的入口连接贯通，抽液泵9-1的出口通过排液总管9-5与回收池9-6连接贯通，贮液筒9-2的上部通过旁路管 9-7与排液总管9-5连接贯通，接料盘8的出料管8-1与排液总管9-5连接贯通；由接料盘 8经其出料管8-1排出的内含小颗粒固相物质的废切削液，和由废液分滤筒4经其排液口 5 排出的内含小颗粒固相物质的废切削液，分别流入排液总管9-5汇合流入回收池9-6，再经压滤后实现小颗粒固相物质与废切削液分离；压滤后的废液可经由淘洗筒体盖7的废切削液进口管7-2，加入淘洗分滤筒3和废液分滤筒4内，作为淘洗液。[0045]且所述淘洗分滤筒3的第一滤网3-2和第二滤网3-3，覆贴固定在淘洗筒体3-1的内表面，且所述第二滤网3-3覆贴在淘洗筒体3-1的内表面，而所述第一滤网3-2覆贴在第二滤网3-3的表面。[0046]而述排物阀6包括阀板6-1和密封圈6-2 ；阀板6_1的一侧与滤液筒体4_1的第二下法兰4-1-2相动连接，而阀板6-1的相对于动连接点的另一侧设有通孔6-3，阀板6-1通过通孔6-3经由螺钉与所述第二下法兰4-1-2连接；密封圈6-2设在第二下法兰4-1-2与阀板6-1之间且位于通孔6-3与所述动连接点之间的部位。[0047]而所述电动搅拌器1的搅拌桨叶1-3与搅拌杆1-4的轴线呈倾斜结构布置；搅拌桨叶1-3在顺转或倒转的条件下，令存在于淘洗筒体3-1内的废切削液上、下翻滚淘洗。[0048]而存在于滤液筒体4-1内的搅拌桨叶1-3’呈顺向螺旋状布置；当驱动搅拌轴1-2 顺向旋转时，所述螺旋状搅拌桨液1-3'，推动存在于滤液筒体4-1内的大颗粒碳化硅固相物质经由排物阀6排出。[0049]具体实施方式
之二，请参读附图1 8。[0050]一种用于内含大小两种不同粒径固相物质的废切削液的淘洗分滤装置，其所述滤网设在淘洗筒体3-1的外表面，且所述第一滤网3-2覆贴在淘洗筒体3-1的外表面，而所述第二滤网3-3覆贴在第一滤网3-2的表面。除此之外，其它均如同具体实施方式
之一。[0051]应当说明的是，在所述搅拌轴1-2过长的条件下，可以在其中段例如在淘洗筒体 3-1与滤液筒体4-1相对接的部位，加设搅拌轴轴座，且所述搅拌轴轴座与架座2连接。[0052]而所述淘洗分滤筒3和废液分滤筒4，可以是整体结构，也可以是由若干块滤板拼装的组合结构。而所述淘洗分滤筒3，可以是一节或是多节对接组合结构。且在淘洗分滤筒 3的周边部位，可设置维修保养窗。[0053]本实用新型初样试用效果是很好的。[0054]本实用新型的使用范围不受本说明书描述的限制。在对所述滤网的网孔和滤网的层数进行有针对性的调整后，可以适用于其它多元二相废液的淘洗分滤处理。
权利要求1.一种用于内含大小两种不同粒径固相物质的废切削液的淘洗分滤装置，包括电动搅拌器(1)和架座O)，其特征在于，还包括一淘洗分滤筒(3)；所述淘洗分滤筒C3)包括具有第一上法兰(3-1-1)和第一下法兰 (3-1-2)且周壁呈格栅状的圆柱形的淘洗筒体(3-1)，以及覆贴固定在淘洗筒体(3-1)表面的用来阻断废切削液中大颗粒固相物质通过的第一滤网(3-2)，和用来让废切削液中小颗粒固相物质通过的第二滤网(3-3)；第一滤网(3-2)的网孔孔径，小于所述大颗粒固相物质的粒径，第二滤网(3-3)的网孔孔径，大于所述小颗粒固相物质的粒径；所述第一滤网 (3-2)布置在废切削液流向的上游，而第二滤网(3- 紧随第一滤网(3- 之后布置；一废液分滤筒；所述废液分滤筒(4)包括具有第二上法兰G-1-1)和第二下法兰 (4-1-2)且下端呈圆锥状的滤液筒体G-1)，固定在滤液筒体内表面且沿滤液筒体 (4-1)轴向有间距分开布置的凸条G-2)，和覆贴在凸条(4-2)表面且与滤液筒体G-1)固定连接的滤液网G-3)；所述滤液网(4-3)的网孔孔径，小于废切削液中大颗粒固相物质的粒径；在滤液筒体的下部，设有用来排出已被处理的废切削液的排液口(5)；一用来排出大颗粒固相物质的排物阀(6)；所述排物阀(6)与滤液筒体的第二下法兰(4-1-2)连接；打开排物阀(6)，存在于滤液筒体内的大颗粒固相物质，经由第二下法兰G-1-2)的内孔排出；一淘洗筒体盖(7)；所述淘洗筒体盖(7)与淘洗筒体(3-1)的第一上法兰(3-1-1)密封连接；淘洗筒体盖(7)设有待处理废切削液进口管(7-1)和由废液分滤筒的排液口 (5)排出的已被处理的废切液进口管(7-2)；一接料盘(8)；所述接料盘(8)的内圆与淘洗筒体(3-1)的外圆相密合配置，接料盘 (8)的底面与淘洗筒体(3-1)的第一下法兰(3-1- 连接；所述接料盘(8)设有用来排出内含小颗粒固相物质废切削液的出料管(8-1)；而所述淘洗筒体(3-1)的第一下法兰(3-1-2)与滤液筒体的第二上法兰 (4-1-1)同中心密封对接且与机座O)固定连接；而所述电动搅拌器(1)的电动机(1-1)固定在淘洗筒体盖(7)上，与电动机(1-1)同轴连接的搅拌轴(1-2)，沿淘洗筒体(3-1)和滤液筒体中心线布置；搅拌桨叶(1-3) 的外侧端圆周运动的轨迹，靠近淘洗分滤筒C3)和废液分滤筒(4)的内圆壁面；所述电动机 (1-1)通过开关实现倒顺双向旋转。
2.根据权利要求1所述的废切削液的淘洗分滤装置，其特征在于，还具有包括抽液泵 (9-1)和贮液筒(9- 在内的设在废液分滤筒(4)底部位置的已被处理的废切削液引出管路系统(9)；贮液筒(9- 顶端通过第一管路(9- 与废液分滤筒的排液口( 连接贯通，贮液筒(9-2)的底端通过第二管路(9-4)与抽液泵(9-1)的入口连接贯通，抽液泵 (9-1)的出口通过排液总管(9- 与回收池(9-6)连接贯通，贮液筒(9- 的上部通过旁路管(9-7)与排液总管(9-5)连接贯通，接料盘(8)的出料管(8-1)与排液总管(9-5)连接贯通；由接料盘(8)经其出料管(8-1)排出的内含小颗粒固相物质的废切削液，和由废液分滤筒⑷经其排液口(5)排出的内含小颗粒固相物质的废切削液，分别流入排液总管(9-5) 汇合流入回收池(9-6)。
3.根据权利要求1或2所述的废切削液的淘洗分滤装置，其特征在于，所述淘洗分滤筒(3)的第一滤网(3- 和第二滤网(3-3)，覆贴固定在淘洗筒体(3-1)的内表面，或者覆贴固定在淘洗筒体(3-1)的外表面；当固定在淘洗筒体(3-1)的内表面时，所述第二滤网 (3-3)覆贴在淘洗筒体(3-1)的内表面，而所述第一滤网(3- 覆贴在第二滤网(3- 的表面；当固定在淘洗筒体(3-1)的外表面时，所述第一滤网(3- 覆贴在淘洗筒体(3-1)的外表面，而所述第二滤网(3- 覆贴在第一滤网(3-2)的表面。
4.根据权利要求1所述的废切削液的淘洗分滤装置，其特征在于，所述排物阀(6)包括阀板(6-1)和密封圈(6-2)；阀板(6-1)的一侧与滤液筒体G-1)的第二下法兰(4-1-2) 相动连接，而阀板(6-1)的相对于动连接点的另一侧设有通孔(6-3)，阀板(6-1)通过通孔 (6-3)经由螺钉与所述第二下法兰(4-1- 连接；密封圈(6- 设在第二下法兰(4-1-2)与阀板(6-1)之间且位于通孔(6-3)与所述动连接点之间的部位。
5.根据权利要求1所述的废切削液的淘洗分滤装置，其特征在于，所述电动搅拌器(1) 的搅拌桨叶(1-3)与搅拌杆(1-4)的轴线呈倾斜结构布置；搅拌桨叶(1-3)在顺转或倒转的条件下，令存在于淘洗筒体(3-1)内的废切削液上、下翻滚淘洗。
6.根据权利要求5所述的废切削液的淘洗分滤装置，其特征在于，存在于滤液筒体 (4-1)内的搅拌桨叶(1-3’ )呈顺向螺旋状布置；当驱动搅拌轴(1-2)顺向旋转时，所述螺旋状搅拌桨叶(1-3’)，推动存在于滤液筒体内的大颗粒固相物质经由排物阀(6)排出ο
专利摘要本实用新型所公开的是一种用于内含大小两种不同粒径固相物质的废切削液的淘洗分滤装置，包括电动搅拌器和架座，以其还包括淘洗分滤筒；废液分滤筒，排物阀，淘洗筒盖，接料盘为主要特征。且通过淘洗分滤筒分离出较小一种固相颗粒物质，而通过废液分滤筒分离出较大一种固相颗粒物质。具有结构合理，占地面积小，节能环保和固液相物质分滤效果好等特点。
文档编号B01D29/86GK202277729SQ201120432528
公开日2012年6月20日 申请日期2011年11月4日 优先权日2011年11月4日
发明者夏培根, 潘惠民, 黄国华 申请人:夏培根